Massaproductie Vlies-En Poliervaardigheidstelsel , China Massaproductie Vlies-En Poliervaardigheidstelsel Manufacturers, Suppliers, Factory

Produkbeskrywing

MDAM-CMPA200
Massaproductie Vlies-En Poliervaardigheidstelsel

Die funksionele parameters van die toerusting word deur 'n onafhanklike veral-afstandsbedienstelsel beheer. Die afstandsbedienstelsel kan na die spesifieke vereistes van die gebruikersproses kies tussen draadlose of met-draad-modus om die gasheer te bedien. Die bedienstelsel kan volgens die prosesvereistes van die gebruiker die afstand van die toerusting se gasheer kies. Hierdie konfigurasie verbeter nie net die beskermingsvlak van die gesondheid en veiligheid van die operateurs tydens die chemiese poetsproses nie, maar voorkom ook die korrosie van die bedienstelsel deur die afval van die poemsvloeistof wat tydens die poemsproses voortkom.
MDAM-CMPA200 maal- en poleringsuitrusting het 'n toesteltydfunksie, wat kontinu vir 10 ure kan werk. Gelyktydig het die toerusting die funksie van voorgestelde werktyd. Wanneer die voorgestelde tyd bereik word, sal die toerusting outomaties stop, wat die outomatiseringfunksie van die toerusting en die prosesstandaardoperasie aansienlik verbeter.

Toepaslike Materialen

1. Silisium-gebaseerde materiaalle (Si, a-Si2, poly Si)
2. III-V materiaalle (GaAs, InP, GaSb, InSb, ens.)
3. Derdemagte halwegeleiersmateriaalle (SiC, GaN, ens.)
4. Vierde-magte halwegeleiersmateriaalle (Diamant, Ga2O3, ens.)
5. Infrarood materiaalle (CZT, MCT, ens.)
6. Foto-elektriese materiaalle (LiNbO3, LiTaO3, SiO2, ens.)
7. Metaalmateriaalle (Au, Cu, Al, Mo, TC4, ens.)
8.MEMS
9.Halwegeleiersapparaat
10.Halvgeleier substraat
11.Verpakking

Toerusting Funkies

1.MDAM-CMPA200 is 'n ideaal sny- en poliertsisteem vir hoë-volume sny- en polier van verskeie materiaalwafers (SiC, Saffier, GaN, AlN...) komponente, soos filtermateriaal, wigmateriaal, LCD-panele, ens.
2.Vier motorstuurings en vier buitegewone groot polierhoofde laat toe dat tot 48 2" wafers gelyktydig gepolier kan word. Dus, die MP reeks masjien is ideaal vir gebruik in 'n volbelaaide produksieomgewing.
3.Die masjiene se outomatiese beheerpaneel gebruik 'n draagbare raakskermbeheer, en prosesparameters kan vrywillig ingevoer en verander word.
4.Automaatiese beheer en intelligente laai/ontlaai-stelsels kan vinnig wafers na epitaksiale voorbereidingsvlakke polier. Hierdie stelsel is veral nuttig vir die hantering van harde substraatmateriaal, en dit kan ook wafers van tot 8" ø hanter.
5.MDAM-CMPA200 presisie sleep- en poliervaartuig sluit 'n gasheer, afstandbedieningstelsel, vaste apparaat, vakuumstelsel, vulmiddelstelsel, sleep- en polieringe skijwe, ens. in.
6.MDAM-CMPA200 presisie sleep- en poliervaartuig, die gasheer en al die reservaatdele word gemaak van hoog korrosiebestande materiaal, die hele masjien is korrosiebestand, en is geskik vir chemiese meganiese sleep en poliering van verskeie halvgeleiersmateriaale.
7.Deur 'n onafhanklike afstandbedieningstelsel kan meer-masjiene saamverband beheer ook bereik word. Deur 'n beheerterminaal kan verskeie sleep- en poliervaartuie beheer word, wat handig is tydens die proses om prosesparameters te verander. Dit kan ook presies numeriese beheer van verskeie prosesse gelyktydig bereik, wat werk-effektiwiteit en prosesakkuraatheid drasties verbeter.
8. Die outomatiese invulstelsel kan die druppelspoed volgens verskillende prosesvereistes aanpas, en skuif outomaties af wanneer die abrasiewe materiaal op is om skade aan die monster te voorkom wanneer daar geen abrasiewe materiaal meer is nie.
9. Die toerustingbeheerstelsel het 'n tydinstellingfunksie. Nadat die voorprogrammeerde tyd bereik is, skuif die stelsel outomaties af.

Toerusting kenmerke

1. Onafhanklike verre bedieningstelsel, verre bediening.
2. Multi-masjienverenigde beheer kan in een beheerterminal realiseer word.
3. Aanlyn reële tyd maak- en polstroond temperatuurbeheer en koelingfunksie.
4. Veeldoorsvoerstelsel.
5. Maak-, pol- en troonwasfunksie.
6. Die stelsel is uitgerus met universele wiele met sluitingsfunksie, wat beweging en vasmaak gemaklik maak.

Voordele van toerusting

1. Verlaag poltyd, elke polkop het 'n belasting van 0-50Kg, en die polityd kan deur 70% verminder word.
2. Veeldoelmatig en divers, dit kan 'n verskeidenheid materiaalle pol, wat genoegsaam hoër doeltreffendheid verskaf.
produseringsvermoë vir hoë-naukeurige polsering, en verskillende polstrypte kannegemaak word volgens die presiese vereistes van gebruikers om die beste resultate te bereik.
3. Hoë uitset kan tot 48 2-pond waferes tegelyk pols.
4. Gebruikskies paneelbeheer wat bewerkstelliging en instandhouding makliker maak. Alle parameter-instellings word op die paneel bedien, wat eenvoudig en duidelik is. Dit word ook toegerus met 'n intelligente laai/ontlaai-stelsel vir maklike bediening.
5. Maklik te beweeg, die hele stelsel word met almagwiele wat 'n vergrendelingsfunksie het geplaas, wat vasteplasing en beweging gemaklik maak.
6. Die toerusting het die funksie van reële tydsonlyne toepassingstoring van die oppervlakvorm van die skuur-en polskon tydens die proses, en kan die oppervlakvorm van die skuur-en polskon in reële tyd sonder onderbreking trim. Die skeivormkontrole noukeurigheid van die skoonoppervlak is 1um.

Bewerkbare Industrie Indeks

1. Die totale dikteverskil (TTV) van φ50mm wafer is binne ±1μm;
2. Die totale dikteafwyking (TTV) van die φ75mm-wafer is binne ±2μm;
3. Die totale dikteafwyking (TTV) van die φ100mm-wafer is binne ±3μm;
4. Die totale dikteafwyking (TTV) van die φ150mm-wafer is binne ±4μm;
5. Die totale dikteafwyking (TTV) van die φ200mm-wafer is binne ±5μm.

Spesifikasie

Aantal fikse	4 Plekke
Kragtoevoer	220V50Hz
Totale mag	3.5 KW
Diameter van groot plaat	760 mm
Plaattempo	Maksimum 120rpm
Klem swaaihoek	Maksimum 10 grade
Op en neer hefafstand	100mm
Klem spoed	Maksimum 80rpm
Klem grootte	Maksimum 208mm
Wafer vasmkery metode	Vakuum adsorpsie
Klem vakuumtak	Maksimum 4 kanale
Klem druk	0-50 Kg
Trom	4
Peristaltiese pompe	4
Weergave Skerm	12.1 duim
Vraag lugdruk	Meer as 7 bar
vakuum	benodig
Rein water	benodig
Skoonmaakwater pistool	ja
Skoonmaaklug pistool	ja
Metode vir die opening van deure	Voor- en agterdeure
Tafelblad deurpaneel	Volkome deursigtig

Verpaking & Levering

Bedryfsprofiel

Minder-Hightech is verkoop- en diensvertoner in die semikonductor- en elektroniese produkbedryf toerusting. Sedert 2014, is die maatskappy toegewyd om kliënte te verskaf met Uitstekende, Betroubare, en Een-Stap Oplossings vir masjinerie-toerusting.

VRG

1. Oor Prys:
Al onze pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel afhanklik van die konfigurasie en aanpassingskompleksiteit van jou toestel.

2. Oor Steekproef:
Ons kan steekproefproduksiedienste vir jou verseker, maar jy moet moontlik sommige rekeninge betaal.

3. Oor Betaling:
Nadat die plan bevestig is, moet jy ons eers 'n voorschot betaal en die fabriek sal begin om die goeder te voorberei. Nadat die
toerusting gereed is en jy die balans betaal, sal ons dit verstuur.

4. Oor Levering:
Nadat die toerustingvervaardiging voltooi is, sal ons jou die akseptasievideo stuur, en jy kan ook na die plek kom om die toerusting te inspekteer.

5. Installasie en Afsteling:
Nadat die toerusting by jou fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en af te stem. Ons sal jou 'n aparte offerte vir hierdie diensreeks verskaf.

6. Oor Garantie:
Ons toerusting het 'n 12-maande garantieperiode. Na die garantieperiode, as enige onderdele geskade is en vervang moet word, sal ons slegs die kosteprys vra.

tuisblad

Oor Ons

MH Equipment

Oplossing

Gebruikers buite lande

Video

Kontak Ons

Massaproductie Vlies-En Poliervaardigheidstelsel