MDLB-MC200 Fotomask reiniger

NE.

Projek

Spesifikasies

Aantekeninge

1

Toerustingsoorsig

Toestelnaam: Photomask Skoonmaker

Toerustingmodel: MDLB-MC200

Geheel afmetings (ongeveer): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

Hele masjiengewig (ongeveer): 300KG

Bedryfsbank hoogte: 900 ± 50mm

Substraatgrootte spesifikasies: geskik vir 2/4/5/6/8 duim vierkant maskerplate

Prosesvloei: handmatige wafer plaasering → skoonmaak (borstel, skoonmaakoplossing → hoë-drukwater → megasoniek water → deioniseerde water → stikstofgas droog) → handmatige wafer verwydering

Toerustingstipe: semi-automaties, manuele inset en uitlaai

2

Toerustingbou

Skil: roestvrye stael, glad, korrosiebestendig, maklik om te skoonmaak

Skoonmaakkamer: PP, glad, korrosiebestendig, maklik om te skoonmaak

Pipelyne: PU/PFA-pipelyne word gebruik

Werkverligting: anti-korrosie gele ligverligting

Deuropeningstyl: Dubbeldeur met deuropeningalarmfunksie

Rak萤幕: 10 duim volkleur rak萤幕 * 1

FFU: Klas 100

Lekvrye ondersteuning: beskikbaar

3

Hoë presisie servo-motor

Kwantiteit: 1

Spoed: -3000~3000rpm

Leeglast

Maksimum versnelling van spoeddraaiing: 3000rpm/S

Leeglast

Spoedakkuraatheid: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Spoedresolusie: 1rpm

4

Outomatiese swaaiarm

Kwantiteit: 3

Swaaiarmspoed: 1~30 °/S

5

Skoonmaakeenheid

Swaaiarm vir skoonmaak: 1 kanaal van deioniseerde water, 1 kanaal van stikstofgas

Megasoniese arm: 1 megasonie, 1 hoë drukwater

Borselarm: 1 borsel, 1 water, 1 skoonmaakoplossing

Skoonmaakmetode: outomatiese skoonmaak

Deioniseerde watersuksiefunksie: beskikbaar

Terugspoeling (deioniseerde water): 1 roete

Verskaffingsmetode: Skoonmaakoplossing: Dialeempomp

Deioniseerde water: direk deur die fabriek verskaf

Druktank met vloeistofvlakdeteksie

6

Borselborsel

Kwantiteit: 1 (met self-skoonmaakfunksie)

Spoed: tot 1000rpm, instelbare spoed

Hoogte handmatig instelbaar

7

Laai blaar

Kwantiteit: 5

Materiaal: PPS+roestvrye staal

Grootte: Geskik vir 2/4/5/6/8 duim vierkant maskerplaaties

Substraatvastmaakmetode: Klou-vastmaakmetode

8

Beheerstelsel

Beheersisteem: gebruik PLC-beheer

Program: 100 groepe, elke groep bestaande uit 100 stappe, met 'n maksimum enkelvoudige staptyd van 3000.0 sekondes

Resolusie: 0.1S

Die program kan gestoor, aangeroep, gewysig en verwyder word

Stel versleutelingsmagsverwysings in: vir toesteloperateurs, tegniciens, administrateurs en vervaardigers onderskeidelik

Seintoringtipe: rooi, geel, groen 3 kleure