Wafer grootte
|
4”~ 8” wafer
|
Waferdikte
|
100~750 mikron
|
Wafer tipe
|
Si, SiC, GaN of ander materiaalle
|
Film tipe
|
Blou film, UV film
Breedte: 230 ~ 300 mm Lengte: 100 m Dikte: 0.05 ~ 0.2 mm |
Wafer draagring
|
6”, 8” DISCO
|
Inlaai- en uitlaaimetode
|
Handmatige wafer/draagring plaasings en verwydering
|
Filmposisieakkuraatheid
|
±0.5mm
Standaard 6” en 8” waferplate vir 6” en 8” wafers |
vakuumpomp
|
Minder-Hightech
|
Antistatiese beheer
|
Deionisasiefan
|
Beheer eenheid
|
Gebaseer op PLC-beheer, met 'n 10” raakskerm
|
Veiligheidsbeskerming
|
Ingerig met ligteskermbeveiliging en noodstopknoppie
|
Spanningsvoerbron
|
Enkelfase AC 220V, 16A
|
Samgeperste Lucht
|
0.45~0.6MPa, vloedwyse 70L/min
|
Masjienhuis
|
Wit plastiekgespoten metale kasing
|
Volume
|
850mm (wydte)*1750mm (diepte)*1970mm (hoogte)
|
NET Gewig
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved