Aligner / Alignment Machine fotolitografie , China Aligner / Alignment masjien fotolitografie vervaardigers, verskaffers, fabriek

Produkte Beskrywing

Maskerbelyningslitografiemasjien

Mask Aligner word hoofsaaklik gebruik in die ontwikkeling en vervaardiging van klein- en mediumskaalse geïntegreerde stroombane, halfgeleierkomponente, opto-elektroniese toestelle, oppervlak-akoestiese golftoestelle, dunfilmstroombane en kragelektroniese toestelle
Maskerbelyning Ook bekend as: maskerbelyningsblootstellingsmasjien, blootstellingstelsel, litografiestelsel, ens., is die kerntoerusting vir die vervaardiging van skyfies. Dit gebruik die tegnologie soortgelyk aan fotodrukwerk om die fyn patrone op die masker op die silikonwafel te druk deur ligblootstelling
Hoofsaaklik saamgestel uit: hoë-presisie-belyningswerkbank, binokulêr geskeide gesigsveld vertikale mikroskoop, binokulêr geskeide gesigsveld horisontale mikroskoop, digitale kamera, rekenaarbeeldgeheuestelsel, meerpuntligbron (vliegoog) blootstellingskop, PLC beheerstelsel, pneumatiese stelsel, vakuumstelsel, direk gekoppelde vakuumpomp, sekondêre anti-vibrasie werkbank en toebehore boks

Vervaardiging van fotolitografiese belynings-/belyningsmasjien

Aligner / Alignment Machine fotolitografie fabriek

Kenmerkende

1. Hoë eenvormigheid vlieg-oog blootstelling kop / lug flotasie nivellering meganisme / betroubare vakuum klem blootstelling. hoë resolusie.
2. Belyning metode deur masker hou stabiel en substraat voeding, wat seker maak dat die konsekwentheid van die gids swaartekrag en die krag.
3. Gebruik gaplose reguit gids, hoë presisie, vinnige spoed.
4. Alle modelle wat geskik is om met alle standaard fotoweerstande te werk. soos AZ, Shipley, US 8.
5. Alle model Die patroonkwaliteit wat deur die stelsel na die substraat 5-maskertoepassings oorgedra word, moet dieselfde wees as die patroonkwaliteit na die toepassing van die eerste masker.
6. Blootstellingstyd verstelbaar tussen 1 sekonde en 1 uur. Belyningsakkuraatheid 1 µm

Verskaffer van fotolitografiese belyningsmasjien / Alignment Machine

Belynings-/Belyningsmasjien-fotolitografiebesonderhede

Spesifikasie

model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Tipe blootstelling	Die een kant			Dubbele kantbelyning en dubbele kantblootstelling
Blootstelling modus	Kontak harde, sagte en nie-kontak nabyheid
Blootstelling kop hoeveelheid	1 Blootstelling kop			2 Blootstelling kop
Tipe ligbron	GCQ350 sferiese kwiklamp						LED UV blootstelling kop
koel metode	lug verkoeling
Blootstellingsarea	Φ100mm	110 × 110 mm	Φ100mm		150mm × 150mm
Blootstelling modus	Versoenbaar met kontak hard, sag
Blootstellingsongelykheid	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Beligtingsresolusie	2μm	1 um
Straalintensiteit (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0~30mw/cm2
Straal-inhomogeniteit	≤ ± 4%	≤ ± 3%
UV-lig maksimum afwykingshoek	4 °	3 °
Beligtingsreeks	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Voor en agter ≥ Φ115mm
Wigfoutvergoedingsmodus	Hemisferiese outomatiese kompensasie			Outomatiese uitskakeling		3-punt outomatiese vergoeding
Die beweging van die X- en Y-asse	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 mm
Die reis van die θ	± 3 °	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
XYZ substraat verplasing resolusie	0.5μm	0.3μm	0.3μm		0.01μm
Mikroskoop stelsel	Twee enkelvatmikroskope/Twee CCD-kameras
grootte vertoon	15 duim
Beeldstelsel resolusie	2μm	1.5μm	1.5μm		1.5μm
Masker en die substraatmetingsafstand	0.5 μm	0.3 μm
Diagonale afmeting van CCD-teikenoppervlak	1/3, (6 mm)						40mm ~ 110mm
Dektafelgrootte	≤ Vierkante 5 * 5 duim (pasmaakbare spesifikasies)
Substrate grootte	Φ 100mm of 100*100mm vierkant	60*49.5mm vierkant	2 ”-4”		1"x1"-5"x5"
Substraatdikte	1-3mm	≤ 5 mm	1-3mm		≤ 5 mm
Vakuumpomp	Olievry stom（-0.07～－0.08MPα）
Maak saamgeperste lug skoon	≥0.4MPα
Kragtoevoer	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Skoon kamer graad	Klas 100
Maak kamertemperatuur skoon	25 ℃ ± 2 ℃
Relatiewe humiditeit van skoon kamer	≤60%
Vibrasie-amplitude van skoon kamer	≤4μm
Toerusting grootte	1300 × 720 × 1600 mm				1500 × 800 × 1600 mm
Toerusting gewig	200kg				280kg

Die vervaardiging van hoë-presisie-belyningstelsel moet byna perfekte presisie-meganiese proses hê. Nog 'n tegniese probleem van belyningstelsel is belyningsmikroskoop. Ten einde die gesigsveld van mikroskoop te verbeter, gebruik baie hoë-end litografie-masjiene LED-beligting. Daar is twee stelle belyningstelsels met fokusfunksie. Dit bestaan hoofsaaklik uit twee oë en twee gesigsvelde wat na die hoofliggaam van die mikroskoop mik, een paar oogstuk en een paar objektiewe lens (litografiemasjien verskaf gewoonlik oogstuk en objektieflens met verskillende vergroting vir gebruikers). Die funksie van CCD-belyningstelsel is om die belyningsmerke van masker en monster te vergroot en dit op die monitor te beeld.

Die werkstuk stadium is 'n belangrike deel van die litografie masjien, wat bestaan uit die masker monster algehele beweging stadium (XY), die masker monster relatiewe beweging stadium (XY), die rotasie stadium, die monster nivellering meganisme, die monster fokus meganisme , die wafer stadium, die masker klem en die uittrek masker stadium. Die monster nivelleringsmeganisme bestaan uit 'n balsitplek en 'n halfrond. In die nivelleringsproses word eerstens druklug op die balsitplek en halfrond toegepas, en dan beweeg die balsitplek, halfrond en monsterstuk opwaarts deur die fokushandwiel, sodat die monsterstuk teen die masker gelykgemaak kan word, en dan die twee posisie drie-rigting solenoïde klep skakel die bal sitplek en halfrond na vakuum vir sluiting om die nivellering toestand te handhaaf.

Minder-Hightech bring vir jou 'n gevorderde tegnologie vir fotolitografie deur Aligner/Alignment Machine.

Sukkel jy met nie genoeg akkuraatheid terwyl jy stroombane op jou elektroniese produkte druk nie? Met Minder-Hightech se Aligner/Alignment-masjien kan jy rus met die wete dat jy hoëvlak-presisie op jou gedrukte stroombaanproduksie sal bereik.

Met hierdie revolusionêre item kan jy 'n hoë-resolusie beeld naatloos op 'n produk oordra deur gebruik te maak van fotolitografie. Hierdie masjien waarborg akkuraatheid deur 'n operasionele stelsel om die materiaal in lyn te bring met die beeld.

Nadat die prente gedruk en opgelaai is, bereken die masjien die hoeveelheid blootstelling wat benodig word en hoe die materiaal in lyn is met die vermelding van die prente. Hierdie berekening word gedoen deur die nuutste rekenaarsagteware te gebruik wat opgedateer kan word om te voldoen aan die tegnologiese ontwikkeling in die produksiebedryf.

Dit sal jou toelaat om 'n wye reeks te maak, insluitend mikrobane, radiofrekwensie (RF) stroombane en ingeboude stroombane. Die eenheid kan die beste etsdiepte, spoorwydte en laag-tot-laag-belyning produseer deur die byvoeging van verskeie komplementêre prosedures, soos chemiese ets en elektroplatering.

Ons produk se voordeel lê in sy vermoë om hoë belyning te produseer, wat waarborg dat patrone met groot presisie op die materiaal geplaas word. Jy kan baie ingewikkelde ontwerpe maklik druk sonder enige misvormings.

Dit is gebruikersvriendelik, kompak en doeltreffend, wat dit geskik maak vir verskeie vervaardigingsfasiliteite of maatskappy se grootte. Boonop kom ons toestel met 'n handmatige instandhouding en opleiding ter plaatse met ons span tegniese ondersteuningspersoneel.

Minder-Hightech se Aligner/Alignment Machine gebruik fotolitografietegnologie om jou te help om die beste resultate te behaal terwyl jy jou stroombane druk. Ervaar 'n nuwe vlak van tegnologie wat jou hoë akkuraatheid en presisie bied wat nie deur tradisionele drukmetodes geëwenaar kan word nie. Minder-Hightech se Aligner/Alignment Machine is wat jou vervaardigingsmaatskappy nodig het om 'n stap voor die kompetisie te bly. Kontak ons vandag nog om die voordele van die beste Aligner/Alignment Machine-tegnologie in die mark te geniet.

What is This

Wie is Ons

MH Toerusting

Oplossing

Oorsese gebruikers

Video

Kontak Ons

Belyningsmasjien / Belyningsmasjien fotolitografie

Meer Products

MD-FS-reeks Kapasitor-wikkelmasjien

MD-FDS-reeks outomatiese kapasitor-wikkelmasjien

MD-EFS reeks Kapasitor Opwindmasjien

MD-EDFS-reeks filmkapasitor-wikkelmasjien

ondersoek

Artikels

produkte

Kontak