ASKING DESCUM fotoresist verwydering ICP Droë Plasma Fotoresist Removal Machine , China VRA DESCUM fotoresist verwydering ICP Droë Plasma Fotoresist verwydering masjien vervaardigers, verskaffers, fabriek

Produk Beskrywing

ICP Droë Plasma Fotoresist Verwyderingsmasjien

ICP droë plasma fotoresist verwydering masjien word hoofsaaklik gebruik vir die verwydering van polimere, ASHING, DESCUM, fotoresist verwydering na ioon inplanting, en oppervlak residu verwydering. Die holte is geskik vir 4-8 duim monsters, met 1-2 stukke verwerk in 'n enkele proses.

VERAS
Polimeer verwydering
Droë verwydering van harde maskerlaag
Fotoweerstand verwydering na ioon inplanting
Fotoweerstand verwydering in BAW/SAW proses
Droogskoonmaak van anti-reflektiewe grafiese filmlaag
Oppervlakresidu verwydering
Oppervlakskoonmaak na ets
DESCUM

VRA DESCUM fotoresist verwydering ICP Dry Plasma Fotoresist Removal Machine besonderhede

VRA DESCUM fotoresist verwydering ICP Dry Plasma Fotoresist Removal Machine fabriek

Spesifikasie

PLASMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		VOORDEDIGING	600w (opsie)	600w (opsie)
Toepaslike omvang			4~8寸	4~8寸
Enkele verwerking sny telling			1	2
Uiterlike afmetings			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Stelselbeheer			Industriële beheerstelsel	Industriële beheerstelsel
Outomatisering vlak			outomatiese	outomatiese