Outomatiese CMP Post Clean , China Outomatiese CMP Post Clean Vervaardigers, verskaffers, fabriek

Produk Beskrywing

Skoonmaak toerusting na Wafer Chemiese Meganiese Polering

CMP Pos Chean

Masjien funksies

Sterk prosesvermoë
Dubbelkamer borsel, met 'n wye reeks prosestoepasbaarheid
Die toerusting beslaan 'n klein area, met afmetings van 2200 * 800 * 2200 (mm)

Aansoek Fields

6-8 duim CMP na borsel
Skoonmaak na maal SIC of ander substrate

Tegniese parameters

Skoonmaak na 4-duim en 6-duim CMP
Dubbelkamerontwerp, onafhanklike kamerwerking Maak in en droog uit of droog in en droog uit
Hoëspoed spindroog SRD

LoadPort-eenheid, laai-eenheid

LoadPort is die laai-eenheid van hierdie toestel

Nat kassetvoeding
Het sproeibevogtigende funksie

Borsel eenheid, Wafer skoonmaak eenheid

Dubbelkamer-eenheid, in staat om twee verskillende skoonmaakoplossings te ondersteun
Die borselposisie kan volgens die resep Bandvervoerband aangepas word

SRD-eenheid, Wafer-droogeenheid

Wafelklem tipe spindroging, met 'n maksimum spoed van 4000RPM
Kan AS skoonmaak op wafeloppervlak uitvoer en DIW spuit

LAAID eenheid, sny eenheid

Die UnLoad-eenheid het 'n onafhanklike FFU om die netheid van wafer-uitset te verseker

Vervoerband

Nat area is bandvervoerband

Droë area vir robot teleportasie

Borsel eenheid beskrywing

Soos in die linker figuur getoon, bestaan die borseleenheid van hierdie toestel uit twee borseleenhede, naamlik BU1 BU2.

Die borseldruk van elke eenheid kan afsonderlik aangepas word (soos gespesifiseer in die resep), en elke borsellem-eenheid kan afsonderlik met verskillende chemiese skoonmaakoplossings gewas word.

Die kwas van die masjien gebruik PVA-kwas, wat 'n algemeen gebruikte tipe in die mark is.
Die oordrag tussen holtes is bandvervoerband. Daar is 'n DIW SPOEL binne die holte

SRD eenheid

Die SRD-eenheid is toegerus met 'n klem CHUCK en 'n AS ARM, wat die wafeloppervlak verder fisies kan skoonmaak en droogdraai.

Spesifikasie

Toerusting grootte:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Laai- en aflaaimetodes	droog in/nat in/droog uit
Aantal borseleenhede	2
Aantal SRD-eenhede	1
Vervoer metode	Nat sone gordel vervoer, droë sone robot vervoer
Die grootte van die toerusting met 'n borselkamer van 1 is 1850 * 800 * 2200

Verpakking en aflewering

Besigheids Profiel

FAQ

1. Oor prys:
Al ons pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel na gelang van die kompleksiteit van die konfigurasie en aanpassing van jou toestel.

2. Oor Voorbeeld:
Ons kan voorbeeldproduksiedienste vir u verskaf, maar u kan 'n paar fooie voorsien.

3. Oor betaling:
Nadat die plan bevestig is, moet u eers 'n deposito aan ons betaal, en die fabriek sal begin om die goedere voor te berei. Na die
toerusting gereed is en jy betaal die balans, ons sal dit stuur.

4. Oor aflewering:
Nadat die vervaardiging van toerusting voltooi is, sal ons vir jou die aanvaardingsvideo stuur, en jy kan ook na die werf kom om die toerusting te inspekteer.

5. Installasie en ontfouting:
Nadat die toerusting by u fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en te ontfout. Ons sal u 'n aparte kwotasie vir hierdie diensfooi voorsien.

6. Oor waarborg:

Ons toerusting het 'n waarborgperiode van 12 maande. Na die waarborgtydperk, indien enige onderdele beskadig is en vervang moet word, sal ons slegs die kosprys hef.