Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kry Prys

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Tuisblad
Oor Ons
MH Equipment
Oplossing
Gebruikers buite lande
Video
Kontak Ons
Tuis> MH Equipment> Sny-en Poliermasjien
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging
  • Outomatiese CMP Navorse Reiniging

Outomatiese CMP Navorse Reiniging

Kry 'n Gratis Offerte
Produkbeskrywing

Skoonmaaktoerusting na Wafer Chemiese Mekaniese Polishing

CMP Navorse Chean

Masjien kenmerke

Sterk prosesvermoë
Dubbelkamer borstel, met 'n wyd verspreide proses toepasbaarheid
Die toerusting neem 'n klein area in, met afmetings van 2200 * 800 * 2200 (mm)

Aansoekvelde

6-8 duim CMP navorse borstel
Skoonmaak na slypen van SIC of ander substraate

Tegniese parameters

Skoonmaak na 4-telle en 6-telle CMP
Dubbelkamerontwerp, onafhanklike kamerbewerking Nat in en droog uit of droog in en droog uit
Hoogsnelheid draai droog SRD

LoadPort-eenheid, laai-eenheid

LoadPort is die laai-eenheid van hierdie toestel
Vloeistofkassette voeding
Het spuit-vervoegingsfunksie

Borsel-eenheid, Wafer skoonmaak-eenheid

Dubbelkamereenheid, in staat om twee verskillende skoonmaakoplossings te ondersteun
Die borstelposisie kan volgens die resep aangepas wordBelt Conveyor

SRD-eenheid, Wafer-droog eenheid

Wafer klemtype draai droog, met 'n maksimum spoed van 4000RPM
Kan AS-reiniging op wafer-oppervlak en spuit DIW uitvoer

UNLOAD-eenheid, sny-eenheid

Die UnLoad-eenheid het 'n onafhanklike FFU om die reinheid van wafer-uitset te verseker

Vervoerband

Natte gebied is riemtransporteur
Droë gebied vir Robot teleportasie

Beskrywing van Borsteleenheid

Soos in die linkermarg figuur getoon, bestaan die borsteleenheid van hierdie toestel uit twee borstelingseenhede, naamlik BU1 BU2.
Die borsdruk van elke eenheid kan apart aangepas word (soos gespesifiseer in die resep), en elke borsblaaie-eenheid kan apart met verskillende chemiese skoonmaakoplossings gewas word.
Die bors van die masjien gebruik 'n PVA-bors, wat 'n algemeen gebruikte tipe is op die mark.
Die oordrag tussen kamers is 'n riemkonveyor. Daar is 'n DIW SPOEL binne die kamer.

SRD-eenheid

Die SRD-eenheid is uitgerus met 'n klem CHUCK en 'n AS ARM, wat die waferoppervlak verdere fisies kan skoonmaak en droogspin.
Spesifikasie
Toestelgrootte:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Laai- en aflaaimetodes
droog in/vlug in/droog uit
Aantal bors-eenhede
2
Aantal SRD-eenhede
1
Vervoermetode
Natte gebied riemvervoer, droe gebied robotvervoer
Die grootte van die toerusting met 'n borstelkamer van 1 is 1850 * 800 * 2200
Verpaking & Levering
Bedryfsprofiel
VRG
1. Oor Prys:
Al onze pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel afhanklik van die konfigurasie en aanpassingskompleksiteit van jou toestel.

2. Oor Steekproef:
Ons kan steekproefproduksiedienste vir jou verseker, maar jy moet moontlik sommige rekeninge betaal.

3. Oor Betaling:
Nadat die plan bevestig is, moet jy ons eers 'n voorschot betaal en die fabriek sal begin om die goeder te voorberei. Nadat die
toerusting gereed is en jy die balans betaal, sal ons dit verstuur.

4. Oor Levering:
Nadat die toerustingvervaardiging voltooi is, sal ons jou die akseptasievideo stuur, en jy kan ook na die plek kom om die toerusting te inspekteer.

5. Installasie en Afsteling:
Nadat die toerusting by jou fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en af te stem. Ons sal jou 'n aparte offerte vir hierdie diensreeks verskaf.

6. Oor Garantie:

Ons toerusting het 'n 12-maande garantieperiode. Na die garantieperiode, as enige onderdele geskade is en vervang moet word, sal ons slegs die kosteprys vra.

Meer Produkte

Vraag

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privaatheidsbeleid

Vraag Email Whatsapp WeChat
Top
×

Kom in Kontak