Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kry Prys

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

tuisblad
Oor Ons
MH Equipment
Oplossing
Gebruikers buite lande
Video
Kontak Ons
Tuis> Wafersnitter
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP
  • Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP

Automatiese Enkeltabel Wafers Chemiese Mekaniese Polser CMP

Kry 'n Gratis Offerte
Produkbeskrywing
ATOM Enkel Platen CMP

Masjien kenmerke

Die toestel is buigsaam en kan meerdele ondersteun.
Die prosesvermoë van die uitrusting is byna gelyk aan die hoofstroommodelvlak van produkte van dieselfde grootte.
Goed inter-toestel-proseskonsekwensie.

Aansoekvelde

4-8 duim STI, ILD/IMD, TSV, TGV polising en oppervlakpolising van samestowwe soos SiC, LT, LN, GaAs, ens

Tegniese parameters

4-duim, 6-duim, 8-duim koppe, multi-sone beheer
Tipe van Φ20 duim 508MM Plat
Kopdrukbeheer noukeurigheid <0.05PSI
Kop en Plat roteersnelheidsbeheer noukeurigheid <2RPM

1. LoadPort-eenheid

Poort kan omgedraai word om Cassette in Qtank te verdwyn, om die vorming van Slurry-kristalle op die
gepolste oppervlak van die Wafer te vermy. Met Cassette Mapping-funksie uitgerus.

2. Robotmateriaalonttrekkingseenheid

Uitgerus met 'n 4-as robot wat outomaties wafers van Cassette na die poliseer-eenheid kan oorplaas.

3. Polier Eenheid

Hierdie eenheid is uitgerus met Platen * 1, Hoof * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, en EPD eindpunt
opsporing. Dit kan outomatiese wafer laai en aflaai, meeroneer hoofbeheer, Slurry
landingspunt verandering volgens Resep instellings, eindpunt opsporing en ander funksies uitvoer.
CMP Polier Hoof
Die Polier Hoofde wat op hierdie toestel geïnstalleer is, is almal onafhanklik ontwikkel, ontwerp en vervaardig deur ons maatskappy.
Daaronder is die 4-duim 3-kamerv Hoof 'n unieke produk wat deur ons maatskappy geskep is, wat die gaping van geen meeroneer 4-duim Hoof in China gevul het. Ons maatskappy kan die Hoof vinnig aanpas of aan spesifikasies aangepas volgens die eienskappe van die kliënt se produk. Tydens die ontwikkeling van TGV-dun film (200um) produkte, is die interne struktuur van die Hoof gewysig om die vereistes van dun film poliering te voldoen. Tydens die ontwikkeling van LN-oppervlak OX-polieringstegnologie, het ons maatskappy die 6-duim Hoof dikwels opgegradeer en suksesvol die kliënt se produkvereise ontmoet.
Toepassingsareas
Tradisionele IC-planarisering poleringsproses;
TGV/TSV-proses;
Smart Cut en Pre bonding CMP;
SIC-substraat poliering/gallium arsenide poliering.
Spesifikasie
Hawe
Kwantiteit * 1, met Q-tank
Robot
Kwantiteit * 1, vir wafer-oordrag
HCLU
Kwantiteit * 1, vir outomatiese laai en aflaai van wafers
Poleringskop
Kwantiteit * 13 holtebeheer, beheekkertheid van 0.1PSI, kan 400-1200 UM waferbewerkings ondersteun.
Polierkop spoed
5-150RPM
Polierdisk
Kwantiteit * 1 Polierdisk Formaat 508mm, Polierkussen Spoed 10-150rpm.
Afweringsarm
Kwantiteit * 1 polierkussen. Die polierkussen kan aanlyn (gelyktydig) of aflyn (na die poliering) gepolish word. Die afwerings
arm is uitgerus met 'n afweringsas wat kan draai en op-en-neer beweeg, en die spoed en neerwaartse krag kan beheer word. Die
afweringsinstrument is op die afweringsas geïnstalleer en kan vinnig
verwyder word. Volgens die verskillende tipes polierkussings word verskillende tipes afweringsinstrumente geconfigureer, insluitend afwerings
borstele, diamantsroepe, en diamantskyfies.
UPA polsteerkop lugdrukbeheer eenheid
Kwantiteit * 13Sone aanpasbaar vir beter oppervlakvlakkeer effek
Polsteervloeistofvoeringspomp
Kwantiteit * 2. Peristaltiese pompe word gebruik vir vloeistofvoer, met 2 peristaltiese pompe ingestel om verskillende polsteervloeistowwe te lewer
na die polsteerskyf. Elke pomp kan in enige stap van die proses gebruik word.
Slurry-arm
Kwantiteit * 1 kan die landingpunt van die slurry beheer en kan die polsteermatjies skoonmaak.
Die bedieningsbeheersisteem kan gebruikersnivo-beheer bereik, soos bedienermodus, onderhoudsmodus en tegnologiese modus, en ver
ander mode word deur wagwoordde beheer. Die sisteemprogrammatuur kan die prosesparameters van elke prosesstap redigeer en vlakkeer en
polster die dun laag op die chipoppervlak volgens die program. Dit kan die bedryfsstatus van die toerusting ooreenkomstig monitor
prosesparameters in realtyd, en die sagteware kan outomaties verskeie prosesdata opslag. Uitrusting met 'n noodstop
knoppie, wat gebruik word om onmiddellik toerustingbedrywighede te stop en beheerkrag te skei.
Verpaking & Levering
Bedryfsprofiel
VRG
1. Oor Prys:
Al onze pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel afhanklik van die konfigurasie en aanpassingskompleksiteit van jou toestel.

2. Oor Steekproef:
Ons kan steekproefproduksiedienste vir jou verseker, maar jy moet moontlik sommige rekeninge betaal.

3. Oor Betaling:
Nadat die plan bevestig is, moet jy ons eers 'n voorschot betaal en die fabriek sal begin om die goeder te voorberei. Nadat die
toerusting gereed is en jy die balans betaal, sal ons dit verstuur.

4. Oor Levering:
Nadat die toerustingvervaardiging voltooi is, sal ons jou die akseptasievideo stuur, en jy kan ook na die plek kom om die toerusting te inspekteer.

5. Installasie en Afsteling:
Nadat die toerusting by jou fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en af te stem. Ons sal jou 'n aparte offerte vir hierdie diensreeks verskaf.

6. Oor Garantie:
Ons toerusting het 'n 12-maande garantieperiode. Na die garantieperiode, as enige onderdele geskade is en vervang moet word, sal ons slegs die kosteprys vra.

Meer Produkte

Vraag

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privaatheidsbeleid

Vraag Email whatsapp WeChat
Top
×

Kom in Kontak