1. Gebruik van 'n 355nm UV-laser, wat 'n produk met onafhanklike intellektuele eiendomregte is en 'n Amerikaanse uitvindingpatent besit, het stabiele prestasie, goeie vlekpatroon, en kan lankdurig stabiel werk.
2. Op-en-neer CCD-konfigurasie, geskik vir posisionering van deursigtige en halfdeursigtige wafers.
3. Die laserstraal fokus op 'n fyn vlek, met maksimum 4 μm en 'n diepte van ≥ 25 μ.
4. Betroubaar en hoë-naukeurige X-Y - θ 5. Effektiewe en vloeiende sagteware bedryfstelsel, intuïtiewe koppelvlak en maklik
bedryf.