Vermalbare wafer |
Grootte |
Duim |
4,5,6,8 |
Wafelkassette |
Nommer |
- |
2 |
Wrywyse |
- |
Vertikale duikvermalingmetode |
|
Vermalingswielaspel |
Tipes |
- |
Lugdragers |
Hoeveelheid |
- |
2 |
|
Spoed |
opm |
0~5000 |
|
Uitgangsvermoe |
Kw |
5.5/7.5 |
|
Slag |
mm |
150 |
|
Voer snelheid |
um/s |
0.01~100 |
|
Vooruitspoed snelheid |
mm/min |
300 |
|
Besluit |
um |
0.1 |
|
Werkstuk-as |
Tipe |
- |
Kuipdragters |
Hoeveelheid |
- |
3 |
|
Sugkop tipe |
- |
Mikroporeuse keramiek |
|
Wafer suksie metode |
- |
Vakuum adsorpsie |
|
Spoed |
opm |
0~300 |
|
Wafer oordrag |
- |
Robotarm |
|
- |
Draaiende skoot |
||
Ander funksies |
Wafer sentrerings |
- |
Mobiele pin uitlijning |
Waferskuifing |
- |
Water en lugreiniging, draai droogmaak |
|
Sugkoppieskuifing |
- |
Oliesweer reiniging |
|
Gemaak |
mm |
φ200 |
|
ONLINE meting |
Meting reeks |
um |
0~1800 |
Besluit |
um |
0.1 |
|
Herhaal akkuraatheid |
um |
±0,5 |
|
Bewerkings akkuraatheid |
Binne-waferakkuraatheid (TTV) |
um |
≤2 |
Tussen-waferakkuraatheid (WTW) |
um |
±3 |
|
Oppervlakruigheid (Ry) |
um |
0.13(2000# afwerking) |
|
Uiterlik |
Uiterlik kleur |
um |
Oranje patroon |
Afmetings(W×D×H) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Gewig |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved