Model |
MDTS-WT2200 |
Aantal verdunningsasse |
2 |
Aantal werkbanke |
3, Indeksmetode |
Vermalingswielaspel |
Aantal lugspindels: 2 Spindelmotor: 7,5kW veranderbare frekwensiemotor Spoed: 0~6000rpm, staploos aanpasbaar Slijpsielspesifikasie: Φ203mm Slijpsieltipe: diamantslijpsiel |
Slijpsielvoerstelsel |
Kwantiteit: 2 stelle Voedingsstelselbeheermetode: LM-gidsrail en bolspil kombinasie Aandrywemotor: servo-motor Minimumvoedingsgrootte: 0.1um/sec Maksimumvoedingsgrootte: 50mm/sec |
Werkbank |
Kwantiteit: 3, Indexmodus Asiemotor: Servo-motor Spoed: 0~300rpm, staploos aanpasbaar Adsorptiemetode: Vakuumadsorpsie |
Werkbank draaiskoot |
Aandrywemetode: servo-motor Wentelbereik: 0~240° Posisioneringsvorm: sensorgestuurde posisionering |
Outomatiese dikte metingsstelsel |
Meetmetode: IPG kontak online real-tyme meting Aantal meetkoppe: 2 Meetsensor: 0.1um vlak sensor |
Outomatiese insetting\/ uitladingstelsel |
Doos tipe: 6-8duim Cassette, 25 lagen Outomatiese insettings\/uitlaaiemetode: wafer manipulator word gebruik om te verseker dat dun wafers sonder skade vervoer word Waferdikte: 150um-1000um |
Werkbankreinigingsfunksie |
Reinigingsmetode: Oliesteen poliering & DI-water+lug tweefluidespoeling |
Outomatiese reiniging/ droogstelsel |
Reiniging: DIW-slangreiniging Droogingsmetode: Blas +droog Spoed: maks. 1000rpm voutelose aanpasbaar |
Statiese Eliminasie-stelsel |
Ionbalk ofionwaaier |
Spindelkoeler |
Temperatuur: 18-22°C Vloeiwyse: 4~8L/min |
Beheerstelsel |
Beheersisteem: PC-beheersisteem, raakskerm met 3-kleurwekligting Chinees/Engels mens-masjien grensoppervlak |
Maksimum plaatgrootte |
Maksimum kompatibel met 8 duim |
Spoedbereik |
0~6000 OPM |
Z-as reis |
160mm |
Z-as voedingspoed |
0.1~100um/sec |
Z-as vinnige terugtrekkingspoed |
50mm/sec |
Z-as resolusie |
0.1um |
Aanlyn dikte metingsbereik |
0~1800um |
Aanlyn dikte metingsresolusie |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved