model |
MDTS-WT2200 |
Aantal uitdunningsasse |
2 |
Aantal werkbanke |
3, Indeks metode |
Slypwiel spil |
Aantal lugspille: 2 Spilmotor: 7.5kW veranderlike frekwensiemotor Spoed: 0 ~ 6000rpm, traploos verstelbaar Slypwiel spesifikasie: Φ203mm Slypwiel tipe: diamant slypwiel |
Slypwiel voeding stelsel |
Hoeveelheid: 2 stelle Voerstelselbeheermetode: LM-geleiderail en balskroef kombinasie Aandryfmotor: servomotor Minimum voerspoed: 0.1um/sek Maksimum voerspoed: 50 mm/sek |
Werkbank |
Hoeveelheid: 3, Indeksmodus Spilmotor: Servomotor Spoed: 0 ~ 300rpm, traploos verstelbaar Adsorpsiemetode: Vakuumadsorpsie |
Werkbank draaitafel |
Rymodus: servomotor Draaibereik: 0~240° Posisioneringsvorm: sensorondersteunde posisionering |
Outomatiese dikte meetstelsel |
Meetmetode: IPG kontak aanlyn intydse meting Aantal meetkoppe: 2 Meetsensor: 0.1um vlaksensor |
Outomatiese laai/ aflaai stelsel |
Doostipe: 6-8 duim-kasset, 25 lae Outomatiese laai/aflaai metode: wafer manipulator word gebruik om te verseker dat dun wafers sonder skade vervoer word Wafel dikte: 150um-1000um |
Werkbank skoonmaak funksie |
Skoonmaakmetode: Olieklip poleer & DI water + lug twee-vloeistof spoel |
Outomatiese skoonmaak/ droogstelsel |
Skoonmaak: DIW spuitpunt skoonmaak Droogmetode: Blaas + droogmaak Spoed: max1000rpm traploos verstelbaar |
Statiese eliminasie stelsel |
Ion bar orion waaier |
Spilverkoeler |
Temperatuur: 18-22 ° C Vloeitempo: 4~8L/min |
Beheer stelsel |
Beheerstelsel: PC-beheerstelsel, aanraakskerm 3-kleuralarmlig Chinese/Engelse mens-masjien-koppelvlak |
Maksimum wafer grootte |
Maksimum versoenbaar met 8 duim |
Spoedreeks |
0 ~ 6000 RPM |
Z-as reis |
160mm |
Z-as toevoerspoed |
0.1~100um/sek |
Z-as vinnige terugtrek spoed |
50mm / sek |
Z-as resolusie |
0.1um |
Aanlyn dikte meting reeks |
0 ~ 1800um |
Aanlyn dikte meting resolusie |
0.1um |
Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou