Induktiewe koppelplasma-etsstelsel (ICP) Halfgeleiertoerusting , China Induktiewe koppelplasma-etsstelsel (ICP) Halfgeleiertoerusting Vervaardigers, verskaffers, Fabriek

Produk Beskrywing

Induktiewe koppeling plasma-ets (icp) stelsel

Induktiewe koppelplasma-etsstelsel (ICP) Besonderhede van halfgeleiertoerusting

Induktiewe koppelplasma-etsstelsel (ICP) Verskaffer van halfgeleiertoerusting

Induktiewe koppelplasma-etsstelsel (ICP) Halfgeleiertoerustingfabriek

Prosesresultaat

Kwarts / silikon / rasper ets

Deur BR-masker te gebruik om kwarts- of silikonmateriale te ets, het die rasterreekspatroon die dunste lyn tot 300nm en die sywandsteilheid van die patroon is naby aan > 89°, wat toegepas kan word op 3D-vertoning, mikro-optiese toestelle, opto-elektroniese kommunikasie, ens

Saamgestelde / halfgeleier-ets

Akkurate beheer van monsteroppervlaktemperatuur kan die etsmorfologie van GaN-gebaseerde, GaAs-, InP- en metaalmateriale goed beheer. Dit is geskik vir blou LED-toestelle, lasers, optiese kommunikasie en ander toepassings.

Induktiewe koppelplasma-etsstelsel (ICP) Vervaardiging van halfgeleiertoerusting

Silikon-gebaseerde materiaal ets

dit is geskik vir die ets van silikongebaseerde materiale soos Si, SiO2 en SiNx. Dit kan silikoonlyn-ets bo 50nm en silikon diepgat-ets onder 100um realiseer

Spesifikasie

Projekkonfigurasie en masjienstruktuurdiagram

item	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Produk grootte	≤6 duim	≤8 duim	≤6 duim	≤8 duim	Pasgemaak ≥12 duim
SRF Kragbron	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
BRF Kragbron	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Molekulêre pomp	Nie-korrosief: 600 /1300 (L/s)/ Pasgemaak			Anti-roes: 600 /1300 (L./s) / Pasgemaak		600/1300 (L/s) / Pasgemaak
Voorlyn pomp	Meganiese pomp / droë pomp			Droë pomp teen korrosie		Meganiese pomp / droë pomp
Voorpomppomp	Meganiese pomp / droë pomp			Meganiese pomp / droë pomp
Proses druk	Onbeheerde druk/0-0.1/1/10Torr-beheerde druk
Tipe gas	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Tot 12 kanale, geen korrosiewe en giftige gas)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Pasgemaak (tot 12 kanale)
Gasreeks	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Ja / Nee			Ja
Voorbeeld van temperatuurbeheer	10°C~Kamertem/ -30°C~150°C /Gepasmaak			-30°C~200°C/Gepasmaak
Terug helium verkoeling	Ja / Nee			Ja
Verwerk holtevoering	Ja / Nee			Ja
Spotmuur tem beheer	Nee/Kamertemp-60/120°C			Kamertemperatuur~60/120°C
Control System	Outo/pasgemaak
Etsmateriaal	Silikonbasis: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Organiese materiale: PR/Organies film......			Silikonbasis: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnetiese materiaal / legeringsmateriaal Metaal materiaal: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Organiese materiale: PR/Organiese film...... Silikon diep ets

Verpakking en aflewering

Besigheids Profiel

Ons het 16 jaar ondervinding in toerustingverkope. Ons kan u 'n professionele oplossing vir eenstop-halfgeleier-voor- en agterkantpakkettoerusting uit China bied.