Geïntegreerde oplossing vir halfgeleierverpakking Mikrogolfplasma-fotoresist-verwyderingsmasjien, China Geïntegreerde oplossing vir halfgeleierverpakking Mikrogolfplasma-fotoresistverwyderingsmasjien vervaardigers, verskaffers, fabriek

Produk Beskrywing

Mikrogolf Plasma Fotoresist Verwyder Masjien

Plasma-geïntegreerde oplossing vir halfgeleierverpakking

Geïntegreerde oplossing vir halfgeleierverpakking

Mikrogolf plasma fotoresist verwydering masjien is 'n lae-spanning mikrogolf plasma fotoresist verwydering stelsel spesifiek ontwerp vir halfgeleiers. Deur 'n frekwensie van 2.45GHz mikrogolf aan die venster op die wand van die vakuumkamer toe te pas, word 'n groot en aaneenlopende hoeveelheid Plasma gegenereer, wat die kamer binnegaan vir prosesskoonmaak van die skyfie. Dit is geskik vir verskillende groottes materiaalbokse, dit kan aan verskillende behoeftes voldoen en pasgemaakte oplossings bied.

Geïntegreerde oplossing vir vervaardiging van halfgeleierverpakking Mikrogolfplasma-fotoresistverwyderingsmasjien

Geïntegreerde oplossing vir halfgeleierverpakking Mikrogolfplasma-fotoresistverwyderingsmasjienfabriek

Geïntegreerde oplossing vir halfgeleierverpakking Mikrogolfplasmafotoresistverwyderingsmasjienbesonderhede

Spesifikasie

PLASMA bron	mikrogolf
krag	0-1250W
werkruimte	6 tydskrifreekse (tydskrifgroottereeks: L260mmxW95mmxH190mm)
verwerkingskapasiteit	35um Pitch/40um Bump15x15mm maksimum Die grootte
Uiterlike afmetings	480mmx470mmx500mm
Stelselbeheer	Industriële beheerstelsel
Outomatisering vlak	handleiding