MCXJ-MLS8 maskerlose litografiestelsel , China MCXJ-MLS8 maskerlose litografiestelselvervaardigers, verskaffers, fabriek

Produk Beskrywing

Voorbeeld:

MCXJ-MLS8 Maskerlose litografie Stelsel vervaardiging

Toerustingstruktuurdiagram

MCXJ-MLS8 Maskerlose litografie Stelselverskaffer

Spesifikasie

Blootstelling gasheer struktuur diagram

struktuur	illustreer
Ontbloot die toonbank	Blootstellingsarea: toonbank, substraatplasingsarea
Optiese stelsel	Laser emissie giet area
Omgewingsbeheerstelsel	Beheer die interne temperatuur en positiewe druk van die toestel
Platform stelsel	Beheer die beweging van die blootstellingstabel om die werking van die blootstellingspad te voltooi
Beheer stelsel	Beheerstelsel van die hele toerusting

Let wel: Omdat die opgradering van die masjien die werklike voorkoms kan verander, die spesifieke onderwerp aan die werklike produk.

Aantal	omgewing	vereis
1	Ligbron omgewing	Geel lig
2	temperatuur	22 ℃ ± 2 ℃
3	Humiditeit	50% ± 10%
4	Mooi	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa，200LPM, droë, skoon lug
6	Kragtoevoer	220~240V、50/60Hz、2.5KW；Die gronddraad moet geaard wees，
7	koel water	Temp.: 10℃ ~ 20℃ Druk: 0.3MPa ~ 0.5MPa Vloeitempo: 20L/min Drukverskil:0.3MPa以上 Neem kaliber oor:Rc3/8
8	Plek	vlak:±3mm/3000mm skud:VC-B-lager:750kg/㎡
10	Internet	Een netwerkpoort
11	grootte masjien	1300 * 1100 * 2100mm
12	Toestelgewig	1500kg

Aantal	Project	Spec.	Opmerking
1	resolusie	0.6um/of ander vereiste	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Substraatdikte	0.2mm ~ 4mm
4	Datum rooster akkuraatheid	60nm
5	Overlay	± 500nm	130mmx130mm
6	Stik akkuraatheid	± 200nm	AZ703
7	MAX blootstelling grootte	190X190mm
8	deurset	≥300mm2/min	≤50mj/cm2；
9	Ligbron	LD 375nm
10	ligte krag	6W
11	Energie eenvormigheid	≥ 95%
12	ligte lewe	10000hr

Verpakking en aflewering

Besigheids Profiel

Ons het 16 jaar ondervinding in toerustingverkope. Ons kan u 'n professionele oplossing vir eenstop-halfgeleier-voor- en agterkantpakkettoerusting uit China bied.