struktuur |
verduidelik |
Uitstraling van die tafel |
Uitstralingsgebied: tafel, substraatplaasgebied |
Optiese stelsel |
Laseruitstootvormingsgebied |
Omgewingsbeheerstelsel |
Beheer die interne temperatuur en positiewe druk van die toestel |
Platformstelsel |
Beheer die beweging van die uitskakelingstafel om die operasie van die uitskakelingpad te voltooi |
Beheerstelsel |
Beheersisteem van die hele apparatuur |
NE. |
Omgewing |
Vereis |
1 |
Ligbron-omgewing |
Geel lig |
2 |
Temperatuur |
22℃±2℃ |
3 |
Humiditeit |
50%±10% |
4 |
Skoonheid |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, droog, skoon lug |
6 |
Kragtoevoer |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Die gronddraad moet aangesluit wees |
7 |
Koelwater |
Temperatuur: 10℃~ 20℃ Druk: 0.3MPa ~ 0.5MPa Vloeiwyse: 20L/min Druksverskil: 0.3MPa of meer Aansluiting kaliber: Rc3/8 |
8 |
Venue |
vlakheid: ±3mm/3000mm skommel: VC-B Draaiingspunt: 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Een netwerkpoort |
11 |
Masjien grootte |
1300*1100*2100mm |
12 |
Toestelgewig |
1500kg |
NE. |
Projek |
Spesifikasies. |
Opmerking |
1 |
Besluit |
0.6um/of ander vereiste |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Substraat dikte |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Datumroosterakkuraatheid |
60nm |
|
5 |
Oplegging |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Naaiakuraatheid |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maksimum beligtingsgrootte |
190X190mm |
|
8 |
Deurset |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
ligbron |
LD 375nm |
|
10 |
ligkrag |
6W |
|
11 |
Energie-uniformiteit |
≥95% |
|
12 |
liglewe |
10000hr |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
