MDHS-AL8 8" Volledig outomatiese eenkantige lithografie masjien , China MDHS-AL8 8" Volledig outomatiese eenkantige lithografie masjien Manufacturers, Suppliers, Factory

Produkbeskrywing

MDHS-AL8 8" Volledig outomatiese eenkantige lithografie masjien

1. Werkmodus: Die laairobot laai outomaties wafers van die A-B (herbruikbaar) waferdoos na die voorspoedige posisie

werkbank, en deur die aanpassing van die kamera posisionering wafer en outomatiese rotasiestelsel word die voorposisie van die wafer bereik; Die insetrobot laai dan die voorposisioneerde wafers op die uitlijnbank. Deur rekenaar beeldherkenning en outomatiese uitlynstelsel aanpassing kan die outomatiese uitlyn van die grafiek op die masker en die wafers bereik word. Dit is ook moontlik om een blootstelling te voltooi sonder om die grafieke uit te lyn. Nadat die oorbloubestelsel outomaties geëksposeer het, plaas die uitlei-robot die wafers outomaties in die C-D (herbruikbaar) waferkis.
2. Blootstellingsgebied: 160 × 160mm;
3. Ongelyke blootstellingsverligting: ≤ 3%;
4. Blootstellingsintensiteit: 0~≥ 40mw/cm2 instelbaar (straalhoek 2 °);
5. UV straalhoek: ≤ 3 °;
6. Sentrale golflengte van ultraviole lig: 365nm;
7. UV ligbron lewensduur: ≥ 20000 ure;
8. Skeidingvermoë: 0~≥ 1000um instelbaar;
9. Uitlynakkuraatheid: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Blootstellingnaukeurigheid: Kontakblootstelling ± 1 μ m. Naby blootstelling skeiding van 20 μ M straalhoek 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Blootstellingsmetodes: harde kontak, sagte kontak en naby blootstelling;
12. Blootstellingsmodus: Jy kan kies tussen eenmalige blootstelling of verskuifde blootstelling
13. Voorposisie beeldherkenning en outomatiese rotasiesisteem (insluitend voorposisiewerkbank): rotasiehoek Q ≥ ± 180 °, rotasieakkuraatheid Q ≤ 0.01 °;
14. Beeldherkenning en outomatiese uitlijningsisteem (insluitend UVW-uitsig werkbank): uitlijningbereik X Y ≥ ± 5mm, rotasiehoek Q ≥ ± 3 °, en twee lensse van die mikroskoop word deur twee XYZ elektriese platforms beheer.
15. Maskootgrootte: 5 "× 5" en 7" × 7 ";
16. Wafergrootte: 4 "en 6";
17. Bovenaan en onderaan filmkassiewerkbanke: dubbelwerkbanke;
18. Voetkussing luchtkussen
19. Laai- en aflaaisDubbelearmrobotsarm: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Aantal wafers in die wafer-doos: bepaal op grond van die aantal wafers in die kliënt se wafer-doos;
21. Posisietabel optyging: Z ≥ ± 25mm;
22. Uitsettingstyd: aanpasbaar van 0 tot 999.9 sekondes;
23. Produksieritme:> 120 stukke per uur;
24. Spanning: enkelfase AC220V 50Hz, energieverbruik ≤ 3KW;
25. Rein lugdruk: ≥ 0.4MPa;
26. Vakuumgraad: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Formaat: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Gewig: ongeveer 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Hierdie masjien bestaan uit 'n LED ultra-violetpositiehoof, 'n beeldherkenning- en outomatiese draaisisteem, 'n voorspoedige werkbank, en 'n prentsoortgelyke herkenning- en outomatiese aligmentsisteme, aligmentwerkbanke, laairobots, ontlaairobots, rakke, en elektriese beheer wat uit toerusting, reservetoerusting, ens. bestaan.

Spesifikasie

1. Uitsettingkop: Een LED ultraviolette uitsettingkop (365nm);
2. Beeldherkenning en vooraf-uitsigingswerkbank:
1) 1 kamera (1.3 miljoen pixels)
2) Sentrumposisie-vastmaking
3) 1 stel draaiende platform (met servo-motor)
4) 1 stel posisiesisteem
3. Beeldherkenning en outomatiese uitsigingstelsel:
1) 2 kamere (5 miljoen pixels hoë raamtempo)
2) 2 lensse (4x hoë-definisie-lens)
3) Een bedryfsrekenaar
4) Een bedieningseenheid (bestuurs deur PLC)
5) Een stel van uitlijningsplatform (gebruik makend van 'n 5-fase stapmotor)
6) 'n Stel bewegingstelsel
7) Die boeteltoestel maak gebruik van 'n motor vir optakeling en afsetting
7) Die sagteware maak gebruik van die nuutste weergawe van LabVIEW Professional Edition
4. Laai- en aflaai-meganiese arm:
1) X Y. 'n Stel van Z outomatiese bewegingsmechanisme
2) Dubbel-arm robotarm (laai- en aflaai-arms)
5. Wafer-doos vaste mechanisme:
1) AB is die vasgestelde posisie van die voerfilm-doos
2) CD is die vaste posisieering van die snyfilmkis
3) G is die vaste posisieering van die NG-posisiefilmkis
6. Kamera vaste platform:
7. Twee stelle Y.Z elektriese afrigtingsmekanismes (beheer deur servomotors)
8. Raamwerk en elektriese beheerroetelefoon:
1) 1 industriële rekenaar
2) Een stel PLC;
3) Een stel elektromagnetventile en beheersisteem
4) 'n Stel digitale pneumatiese instrumente
5) Een stel beheerroetelefoon
8. Reserve aanhangsels:
1) Traheale: 15 meter
2) 2 solenoïde kleppes
3) Vakuum pomp: 1 eenheid
9. Tegniese data:
1) Een gebruikershandleiding
2) Een akte van ooreenstemming
10. Addisionele
Die toerusting se sagteware moet uitgerus wees met die SECS kommunikasieprotokol, en die koper verskaf 'n dinamiese biblioteek met die funksie om te verbind met die koper se MES-stelsel, outomaties die produk batch nommer, taaknommer en bedryfsstatus te rekord en dit op te laai. Gelyktydig het dit die funksie om die maskerplaat QR-kode te identifiseer, dit te vergelyk met die MES-stelsel se maskerplaat QR-kode, en te voorkom dat die verkeerde maskerplaat geneem word.

Verpaking & Levering