MDHS-AL8 8" Volledig outomatiese enkelzijdige litografiemasjien, China MDHS-AL8 8" Volledig outomatiese enkelsydige litografiemasjien Vervaardigers, verskaffers, Fabriek

Produk Beskrywing

MDHS-AL8 8" Ten volle outomatiese enkelsydige litografiemasjien

1. Werksmodus: Die laairobot laai outomaties wafers van die AB (herwinbare) waferboks na die voorafposisionering

werkbank, en deur die aanpassing van die kameraposisioneringswafer en outomatiese rotasiestelsel, word die pre-posisionering van die wafer bereik; Die laairobot laai dan die vooraf geposisioneerde wafers op die belyningswerkbank. Deur rekenaarbeeldherkenning en outomatiese belyningstelselaanpassing kan die outomatiese belyning van die grafika op die masker en die wafers bereik word. Dit is ook moontlik om een blootstelling te voltooi sonder om die grafika in lyn te bring. Na outomatiese blootstelling deur die oorbeligtingstelsel plaas die aflaairobot die wafers outomaties in die CD (herwinbare) waferboks.
2. Blootstellingsarea: 160 × 160mm;
3. Ongelyke blootstelling beligting: ≤ 3%;
4. Blootstellingsintensiteit: 0~≥ 40mw/cm2 verstelbaar (straalhoek 2 °);
5. UV-straalhoek: ≤ 3 °;
6. Middelgolflengte van ultravioletlig: 365nm;
7. UV-ligbron lewensduur: ≥ 20000 uur;
8. Skeiding kapasiteit: 0~≥ 1000um verstelbaar;
9. Belyningsakkuraatheid: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Blootstelling akkuraatheid: Kontakblootstelling ± 1 μ m. Naby blootstelling skeiding van 20 μ M straalhoek 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Blootstellingsmetodes: harde kontak, sagte kontak en nabygeleë blootstelling;
12. Blootstellingsmodus: Jy kan kies tussen eenmalige blootstelling of verrekenblootstelling
13. Voorposisionering van beeldherkenning en outomatiese rotasiestelsel (insluitend voorposisioneringswerkbank): rotasiehoek Q ≥ ± 180 °, rotasie-akkuraatheid Q ≤ 0.01 °;
14. Beeldherkenning en outomatiese belyningstelsel (insluitend UVW-belyningswerkbank): belyningsreeks XY ≥ ± 5 mm, rotasiehoek Q ≥ ± 3 °, en twee lense van die mikroskoop word deur twee XYZ elektriese platforms beheer.
15. Maskergrootte: 5 " × 5 "en 7" × 7 ";
16. Wafer grootte: 4 "en 6";
17. Boonste en onderste filmbokswerkstasies: dubbele werkstasies;
18. Voetkussinglugsak
19. Laai en aflaai dubbelarm robotarm: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Aantal wafers in die wafer box: bepaal op grond van die aantal wafers in die klant se wafer box;
21. Posisioneer tafel lig: Z ≥ ± 25mm;
22. Blootstellingstydsberekening: verstelbaar van 0 tot 999.9 sekondes;
23. Produksieritme:>120 stukke per uur;
24. Kragtoevoer: enkelfase AC220V 50Hz, kragverbruik ≤ 3KW;
25. Skoon lugdruk: ≥ 0.4MPa;
26. Vakuumgraad: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Grootte: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Gewig: Ongeveer 400kg

Hierdie masjien bestaan uit 'n LED ultraviolet blootstelling kop, 'n beeld herkenning en outomatiese rotasie stelsel, 'n vooraf geposisioneerde werkbank, en 'n prentjie Soos herkenning en outomatiese belyning stelsels, belyning werkbanke, laai robotte, aflaai robotte, rakke, en elektriese beheer Bestaande uit toerusting , spaar bykomstighede, ens.

Spesifikasie

1. Blootstellingskop: Een LED ultraviolet-blootstellingskop (365nm);
2. Beeldherkenning en voorbelyning werkbank:
1) 1 kamera (1.3 miljoen pixels)
2) Sentrale posisionering bevestiging
3) 1 stel roterende platform (met servomotor)
4) 1 stel posisioneringstelsel
3. Beeldherkenning en outomatiese belyningstelsel:
1) 2 kameras (5 miljoen pixel hoë raamtempo)
2) 2 lense (4x hoë-definisie lens)
3) Een industriële rekenaar
4) Een beheerder (beheer deur PLC)
5) Een stel belyningsplatform (met 5-fase stepper motor)
6) 'n Stel sportstelsel
7) Die boonste plaattoestel gebruik 'n motor om op te lig en te laat sak
7) Die sagteware neem die nuutste weergawe van LabVIEW Professional Edition aan
4. Laai en aflaai meganiese arm:
1) X Y. 'n Stel Z outomatiese bewegende meganisme
2) Dubbelarm robotarm (laai- en aflaai-arms)
5. Wafer box fixing meganisme:
1) AB is die vaste posisionering van die voerfilmboks
2) CD is die vaste posisionering van die snyfilmboks
3) G is die vaste posisionering van die NG posisie film boks
6. Kamera vaste platform:
7. Twee stelle YZ elektriese verstellingsmeganismes (beheer deur servomotors)
8. Rak en elektriese beheerkonsole:
1) 1 industriële rekenaar
2) Een stel PLC;
3) Een stel solenoïedkleppe en beheerstelsel
4) 'n Stel digitale pneumatiese instrumente
5) Een stel beheerkonsole
8. Spaar aanhangsels:
1) Trageale: 15 meter
2) 2 solenoïde kleppe
3) Vakuumpomp: 1 eenheid
9. Tegniese data:
1) Een gebruikershandleiding
2) Een sertifikaat van ooreenstemming
10. Bykomend
Die toerustingsagteware moet toegerus wees met SECS-kommunikasieprotokol, en die koper verskaf 'n dinamiese biblioteek met die funksie om met die koper se MES-stelsel te koppel, outomaties die produk-joernaalnommer, posnommer en bedryfstatus aan te teken en dit op te laai. Terselfdertyd het dit die funksie om die maskerplaat QR-kode te identifiseer, dit met die MES-stelsel se maskerplaat QR-kode te vergelyk en te verhoed dat die verkeerde maskerplaat geneem word.

Verpakking en aflewering