Hierdie toerusting is 'n presisielithografiemasjien wat deur ons maatskappy ontwikkel is spesifiek vir die gebruikskenmerke van lithografiemasjiene in verskillende kolleges en navorsingsinstellings. Dit word hoofsaaklik gebruik vir die ontwikkeling en produksie van klein en mediumgrootte geïntegreerde skakels, halwegeleierkomponente, opto-elektriese toestelle en oppervlakklanktoestelle. Op die voorspoed van die oorspronklike hoof tegniese indikatore van die toerusting, het ons sommige strukture en komponente van die toerusting geoptimaliseer, vermindering in sommige onnodige meganiese aksies gedoen, en verseker dat die foutpunte van die toerusting so min as moontlik is, terwyl die bedrywing van die toerusting ook baie stabiel en betroubaar is.
Spesifikasie
Hoof tegniese parameters
1.Afbelingstipe: enkelsydig. 2.Afbelingsgebied: 110×110mm. 3.Onelydigheid van afbelingsverligting: ≤±3%. 4.Afbelingsintensiteit: 0-30mw/cm2 aanpasbaar. 5.UV-straalhoek: ≤3°. 6.Midde-waavelength van ultraviooltlig: 365nm. 7.UV-ligbron leeftyd: ≥500 ure. 8.Gebruik van elektroniese skutter. 9.Afbelingsresolusie: 1 μm; 10.Mikroskopiese skandeerbereik: X:±15mm Y:±15mm; 11.Uitlijnbereik: X,Y-aanpassing ±4mm; Q-richting aanpassing ±3°; 12.Graveerkenningsakkwatese: 1 μ Die akkuraatheid van die gebruiker se "weergawe" en "chip" moet ooreenstem met nasionale voorskrifte, en die omgewing, temperatuur, vochtigheid, en stof kan streng beheer word. Geïmporteerde positiewe fotore sist word gebruik, en die dikte van die uniforme fotore sist kan streng beheer word. Verder is die vorentoe en agtertoe prosesse gevorderd; 13.Skeidingstyd: 0~50 μm aanpasbaar; 14.Aanligtingsmetode: noue aanligting, wat harde kontak, sagte kontak, en mikro-kragskontak aanligting kan bereik; 15.Vierkantvindformule: lug
Verpaking & Levering
Bedryfsprofiel
Ons het 16 jaar ervaring in toerustingverkope. Ons kan jou verskaf met een-stop Semiconductor Vorentoe en Agtertoe Verpakkinglyn toerusting professionele oplossing van China.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
