MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner , China MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner vervaardigers, verskaffers, fabriek

Produk Beskrywing

Hierdie toerusting word hoofsaaklik gebruik vir die ontwikkeling en vervaardiging van klein en mediumgrootte geïntegreerde stroombane, halfgeleierkomponente en akoestiese oppervlak-golftoestelle. As gevolg van die gevorderde nivelleringsmeganisme en lae nivelleringskrag, is hierdie masjien nie net geskik vir die blootstelling van verskeie tipes substrate nie, maar ook vir die blootstelling van maklik gefragmenteerde substrate soos kaliumarsenied en fosfaatstaal, sowel as die blootstelling van nie sirkelvormige en klein substrate.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner vervaardiging

Spesifikasie

Belangrikste tegniese parameters

1. Beligtingstipe: enkelkantblootstelling
2. Blootstellingsarea: 110X110mm;
3. Blootstelling eenvormigheid: ≥ 97%;
4. Blootstellingsintensiteit: 0-30mw/cm2 verstelbaar;
5. UV-straalhoek: ≤ 3 °
6. Sentrale golflengte van ultraviolet lig: 365nm;
7. UV-ligbron lewensduur: ≥ 20000 uur; (2 jaar waarborg)
8. Aanneming van elektroniese sluiter;
9. Blootstellingsresolusie: 1 μ M
10.Camara-aansigreeks: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Belyningsreeks: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q：±3°.
12. Belyningsakkuraatheid: 1um (onder goeie omgewingstoestand)
13. Skeidingsafstandreeks: 0-50um verstelbaar.
14.Blootstellingsmetode: kontakblootstelling.(hard/sag/mikroaanraking)
15.Balansmetode: Lugflotasie.
16. Mikroskopiese stelsel: dubbele gesigsveld CCD-stelsel, objektieflens 1.6X~10X, rekenaarbeeldverwerkingstelsel, 19 "LCD-monitor; Totale vergroting 91-570x. afstand van objektief: 50-120mm.
17. Maskergrootte: 127*127mm;102*102mm
18. Substraatgrootte: Φ102mm；Φ76mm
19. Substraat dikte: ≤1mm
20.Blootstellingstyd: 0-999.9 sekondes verstelbaar.
21.Drywing: 220V 50Hz 1.5kw.
22.lugbron?0.4Mpa
23.Vakuumgraad: -0.07MPa~-0.09Mpa

Verpakking en aflewering

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner besonderhede

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner fabriek

Besigheids Profiel

Ons het 16 jaar ondervinding in toerustingverkope. Ons kan u 'n professionele oplossing vir eenstop-halfgeleier-voor- en agterkantpakkettoerusting uit China bied.