Hierdie toerusting word hoofsaaklik gebruik vir die ontwikkeling en produksie van klein en mediumgrootte geïntegreerde skakelinge, halweerweure komponente, en oppervlak akusetiese golftoestelle. As gevolg van die gevorderde vlakmechanisme en lae vlakkrag, is hierdie masjien nie net geskik vir die beligting van verskeie tipes substraatte, maar ook vir die beligting van maklik gebreekbare substraatte soos kalium arsenide en fosfaatstaal, asook die beligting van nie sirkulêre en klein substraatte.