MDXN-25X Hoë Presisie Enkelkant Litografie masjien , China MDXN-25X Hoë Presisie Enkelkant Litografie Masjien Vervaardigers, Verskaffers, Fabriek

Produk Beskrywing

Hierdie toerusting is 'n presisie litografiemasjien wat spesifiek deur ons maatskappy ontwikkel is vir die gebruikseienskappe van litografiemasjiene in verskeie kolleges en navorsingsinstellings. Dit word hoofsaaklik gebruik vir die ontwikkeling en vervaardiging van klein en mediumgrootte geïntegreerde stroombane, halfgeleierkomponente, opto-elektroniese toestelle en akoestiese oppervlak-golftoestelle.

MDXN-25X Hoë Presisie Enkelkant Litografie Masjien fabriek

Spesifikasie

Belangrikste tegniese parameters

1. Die toestel kan 'n 5 "X5" vierkantige masker vakuum adsorbeer, met geen spesiale vereistes vir die dikte van die plaat (wat wissel van 1 tot 3 mm).
2. Die toestel kan toegepas word op ф 100mm sirkelvormige substraat;
3. Substraat dikte ≤ 5mm;
4. Verligting:
Ligbron: GCQ350Z ultrahoë druk kwik gelykstroom kwiklamp word gebruik.
Beligtingreeks: ≤ ф 117mm Blootstellingsarea: ф 100mm
bly ф Binne 'n omvang van 100 mm is die ongelykheid van blootstelling ≤ ± 3%, en die blootstellingsintensiteit is>6mw/cm2 (hierdie aanwyser word gemeet met 'n UV-ligbron I-lyn 365nm).
5. Hierdie toestel neem 'n ingevoerde tydrelais aan om die pneumatiese sluiter te beheer, wat akkurate en betroubare werking verseker.
6. Hierdie masjien is 'n kontakblootstellingsmasjien wat kan bereik:
7. Harde kontakblootstelling: Gebruik pyplynvakuum om hoë vakuumkontak te verkry, vakuum ≤ -0.05MPa
8. Sagte kontakblootstelling: Die kontakdruk kan die vakuum verhoog tot tussen -0.02MPa en -0.05MPa.
9. Mikrokontakblootstelling: minder as sagte kontak, vakuum ≥ -0.02MPa.
10. Blootstellingsresolusie: Die resolusie van harde kontakblootstelling van hierdie toestel kan 1 μ Bo m bereik (die akkuraatheid van die gebruiker se "plaat" en "skyfie" moet aan nasionale regulasies voldoen, en die omgewing, temperatuur, humiditeit en stof kan streng beheer word Ingevoerde positiewe fotoresist word gebruik, en die dikte van die eenvormige fotoresist kan ook streng beheer word.
11. Belyning: Die waarnemingstelsel bestaan uit twee CCD-kameras wat op twee enkelbuismikroskope gemonteer is en deur 'n videokabel aan die vertoonskerm gekoppel is.

Verpakking en aflewering

MDXN-25X Hoë Presisie Enkelkant Litografie Masjien verskaffer

MDXN-25X Hoë Presisie Enkelkant Litografie Masjien besonderhede

Besigheids Profiel

Ons het 16 jaar ondervinding in toerustingverkope. Ons kan u 'n professionele oplossing vir eenstop-halfgeleier-voor- en agterkantpakkettoerusting uit China bied.