1.Energie benodig vir toerusting: Hoofstroomvoorsiening: 220V, 50HZ, stroomverbruik≤1.5KW;
2.Verstrekkend met 'n vakuumpomp met 'n voorsiening van 220V;
3.Grootte en gewig: Grootte:1200(lengte)×720(breedte)×1500(hoogte). Gewig ≤170kg;
4.Plas die masjienvoet op 'n gespesialiseerde werkbord;
5.Uitsetsoort: kontaksoort, plaatuitskakeling, tweesydige uitsetting;
6.Uitsetarea:φ100mm;
7.Onregmatige uitsetting: ≤±3%;
8.Uitsetintensiteit: ≥5mw/cm2;
9.Afbelingsresolusie: 2μm;
10.Afbelingstipe: Dubbelkantige gelyktydige afbeling;
11.Uitlijningsbereik: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Graveerakkuraatheid: 2μm;
13.Rotasieberik: Q-richting rotasieaanpassing≤±5°;
14.Mikroskoopstelsel: dubbel veld van sigte CCD-stelsel, objektiwens lens 1.6X~10X, rekenaarbeeldverwerkingstelsel, 19"LCD-toonbeeldskerm;
15.Maskerformaat: In staat om vakuumadsorpsie te doen