item | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Produk grootte | ≤6 duim | ≤8 duim | ≤8 duim | ||
RF kragbron | 0-300W/500W/1000W Verstelbare, outomatiese passing | ||||
Molekulêre pomp | -/620(L/s)/1300(L/s)/Gepasmaak | Antisepties620(L/s)/1300(L/s)/Gepasmaak | |||
Voorlyn pomp | Meganiese pomp/droëpomp | Droë pomp | |||
Proses druk | Onbeheerde druk/0-1Torr beheerde druk | ||||
Tipe gas | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Gepasmaak (Tot 9 kanale, geen korrosiewe en giftige gas) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gasreeks | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Ja / Nee | Ja | |||
Voorbeeld van temperatuurbeheer | 10°C~Kamertemperatuur/-30°C~100°C/Gepasmaak | -30°C~100°C / Pasgemaak | |||
Terug helium verkoeling | Ja / Nee | Ja | |||
Verwerk holtevoering | Ja / Nee | Ja | |||
Spotmuur tem beheer | Nee/Kamertem~60/120°C | Kamertemperatuur -60/120°C | |||
Control System | Outo/pasgemaak | ||||
Etsmateriaal | Silikon-gebaseerde: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetiese materiale/legeringsmateriale Metaalmateriaal: Ni/Cr/Al/Au. Organiese materiaal: PR/PMMA/HDMS/Organiese film. | Silikon-gebaseerde: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magnetiese materiale/legeringsmateriale Metaalmateriaal: Ni/Cr/A1/Au. Organiese materiaal: PR/PMMA/HDMS/organiese film. |
Geskik vir mikrogolftoestelle, kragtoestelle, ens.
Die Minder-High-Tech Reactive Ion Etching (RIE) masjien is 'n moderne stuk tegnologie wat verskeie soorte materiale met ongelooflike presisie kan ets en ontleed. Hierdie masjien is ontwerp vir gebruik in verskeie industrieë waar mikrovervaardiging of ets gereeld benodig word. Dit is gemaak van materiaal van hoë gehalte wat dit duursaam, betroubaar maak en uitstekende resultate kan lewer.
Toegerus met 'n RF plasma generator is effektief. Die RIE-stelsel gebruik 'n koppeling wat induktief is om met plasma uit die voerpetrol vorendag te kom. Hierdie tegniek skep 'n plasma met 'n hoë digtheid wat die etstempo wat met produk geassosieer word, verhoog. Die etsproses van die RIE-masjien is effektief, akkuraat en hoogs beheerbaar, wat voorsiening maak vir 'n diepte wat spesifiek vir bereik moet word. Hierdie kenmerk is uniek, dit is 'n uitstekende keuse vir navorsing of bedryfswerke.
Die masjien het 'n wye reeks, insluitend mikro-elektronika, MEMS-vervaardiging en halfgeleiervervaardiging. Hierdie masjien speel 'n belangrike rol in ets en mikrobewerking van halfgeleiermateriale soos silikon, galliumarsenied en germanium in die halfgeleierbedryf. Die Minder-hoëtegnologie RIE-toestel is ook in die MEMS-industrie gevestig vir die vervaardiging van sagte en materiale wat hard is soos poliimied, silikondioksied en silikonnitried. Daarbenewens is dit toeganklik vir mislukkingsontleding in nywerhede wat verband hou met dienste en produkte wat elektronies is.
Sluit funksies in wat verskillende maak dit maklik om te gebruik. Dit is 'n sagteware wat gebruikersvriendelik bied die operateur volledige beheer oor die etsparameters wat in die toestel gebruik word. Die masjieninstellings word in sy geheue gestoor, is intern, dit kan meer as 100 stelle instellings stoor. Daar is 'n aanraakskerm wat die operateur toelaat om parameters soos gasbeweging, kragdikte en druk in te stel. Die Minder-High-tech RIE-masjien het ook 'n temperatuurbeheer-eienskap wat verseker dat die materiale by die regte temperatuur geëts word en skade daaraan stop.
Ideaal vir maatskappye wat 'n betroubare en doeltreffende masjien benodig, kan akkurate en presiese uitkomste verskaf. Hierdie toestel is ontwerp met top-notch tegnologie en 'n vlak is baie van. Sy veelsydigheid en gebruikersvriendelike kenmerke maak dit 'n keuse is baie goeie navorsing en industrie toepassings oor verskillende sektore.
Dit het ook 'n doeltreffende foutontledingstelsel wat die masjien in staat stel om enige meganiese probleme so gou moontlik op te spoor en reg te stel. Hierdie stelsel verseker dat die RIE-masjien hoë gehalte en betroubaarheid deur sy lewensiklus behou. Vir enige industrie wat presiese en doeltreffende ets of mikrovervaardiging vereis, is die Minder-High-tech RIE-masjien die perfekte oplossing.
Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou