Halfgeleier industrie Cassette tipe Batch plasma PR-verwyderaar vanlyn masjien Photoresist Residual Removal , China Halfgeleierindustrie Cassette tipe Batch plasma PR remover aflyn masjien Photoresist Residual Removal Vervaardigers, Verskaffers, Fabriek

Produk Beskrywing

Cassette tipe Batch plasma Fotoweerstand verwyderaar

DESCUM
Wafer skoonmaak
Verwyder oorblywende fotoweerstand na nat proses
Oppervlakresidu verwydering
Verwyder oorblywende fotoweerstand na blootstelling en ontwikkeling

Halfgeleierindustrie Cassette-tipe Batch plasma PR-verwyderaar vanlyn masjien Photoresist Residual Removal besonderhede

proses

Halfgeleierindustrie Cassette tipe Batch plasma PR remover off line masjien Photoresist Residual Removal verskaffer

Halfgeleier-industrie Cassette-tipe Batch plasma PR-verwyderaar vanlyn masjien Fotoresist Residual Removal vervaardiging

Halfgeleier-industrie Cassette-tipe Batch plasma PR-verwyderaar vanlyn masjien Photoresist Residual Removal Factory

Voordeel:

Kernvoordeel

Hoë degummingtempo: Hoëdigtheid plasma, vinnige degummingtempo
Stabiliteit: Na plasmabehandeling, hoë reproduceerbaarheid
Afgeleë plasma: Afgeleë plasma, lae ioonskade aan wafer
Uitgestalte sagteware: onafhanklike navorsing en ontwikkeling van sagteware, intuïtiewe prosesanimasie, gedetailleerde data en rekords
Eenvormigheid: Plasma kan druk en temperatuur deur vlinderklep beheer
Veiligheidsfaktor: Lae plasma verminder skade aan produkontlading.
Na-verkope diens: Vinnige reaksie en voldoende voorraad
Stofbeheer: Voldoen aan klantvereistes.
Kerntegnologie: Met byna 40% van die R&D-spanlede

Kassetplatform (MD-ST 6100/620)

1. 4 Wafer Carriers
2. Hoë verenigbaarheid: die buigsaamheid van wafer grootte keuse bring hoë koste en oplossing doeltreffendheid
3. Hoë stabiliteit vakuum oordrag kamer:
Die volwasse en stabiele vakuumtransmissie-ontwerp word al baie jare volwasse in die mark toegepas en word goed deur kliënte erken.
Draaitafelontwerp, kompakte ruimte, wat die risiko van PARTICAL aansienlik verminder
4. Gehumaniseerde sagteware-bewerkingskoppelvlak:
Intuïtiewe gehumaniseerde sagteware-bewerkingskoppelvlak, intydse monitering van masjien wat loop Status;
Omvattende alarm en fool-proof funksies om verkeerde werking te voorkom.
Kragtige data-uitvoerfunksie, rekords van verskeie prosesparameters en uitvoer van produkproduksierekords.

Robot

1. Eenmalige dubbele wafer kies en plaas ontwerp bring hoë produktiwiteit
2. Verbeter ruimtedoeltreffendheid.

Verhittingsplaat

1. Hoë-presisie temperatuur beheer wafer plaat
Wafelverhittingsplaat van kamertemperatuur tot 250°C, temperatuurbeheer akkuraatheid ±1°C
Wafer verwarming plaat is gekalibreer deur professionele instrumente, en die eenvormigheid. Binne ±3°C, verseker die eenvormigheid van gomverwydering
2. Enkelkamer dubbelwafelverwerking
Enkelkamer dubbelwafelontwerp;
Onafhanklike krag ontlading ontwerp vir elke wafer, om te verseker dat elke wafer. Ronde PR verwydering effek;
Onder die uitgangspunt om UPH-doeltreffendheid te verseker, verminder produkkoste. Sterk verenigbaarheid
3. Produksie kapasiteit: dubbel-stuk ontwerp reaksie kamer, hoë produksie doeltreffendheid.

Spesifikasie

PLASMA bron	RF	mikrogolf
Power	1000w	1250w
Toepaslike omvang	4~8寸	4~8寸
Enkele verwerking sny telling	4-6 duim = 50 stukke/8 duim = 25 stukke	4-6 duim = 50 stukke/8 duim = 25 stukke
Uiterlike afmetings	1000x850x1700mm	1000x850x1700mm
Stelselbeheer	PC	PC
Outomatisering vlak	handleiding	handleiding

Hardeware vermoë
Optyd/beskikbare tyd	≧ 95%
Gemiddelde tyd om skoon te maak （MTTC）	≦ 6 uur
Gemiddelde tyd om te herstel（MTTR）	≦ 4 uur
Gemiddelde tyd tussen mislukkings (MTBF)	≧ 350 uur
Gemiddelde tyd tussen assistent (MTBA)	≧ 24 uur
Gemiddelde wafel tussen gebreek (MWBB)	≦ 1 uit 10,000 XNUMX wafers
Verhittingsplaatbeheer	50-250 °

Toetsverslag

Factory View

Verpakking en aflewering

Besigheids Profiel

Ons het 16 jaar ondervinding in toerustingverkope. Ons kan jou 'n eenstopoplossing vir halfgeleier-voorkant- en agterkantpakketlyntoerusting uit China bied!