Enkelvoudige holte, tweetalige holte en vierholte Sterk prosesvermoë, in staat om toepassings soos Wafer Start en prosesreiniging te ondersteun Goede konsistensie van inter-chip tegnologie van toerusting
Aansoekvelde
Oppervlakpartikelverwydering van 4-8 duim silikoongebaseerde en samestelling gebaseerde wafers
Tegniese parameters
4-duim, 6-duim, 8-duim borstelholte Spinner spoed tot 4000RPM Dubbel-arm borstelkamer, beskikbaar in Borstel, AS, JET, Megasoniek reinigingsmetodes Kan vloeistofreinigingsfunksie ondersteun
LoadPort-eenheid, laai-eenheid
LoadPort is die laai-eenheid van hierdie toestel
In staat tot Wafer Mapping Uitrustings met Wafer-gleufdeteksie
Oormeks Robot eenheid
Dubbel Blade Robot, opsioneel met vout of bakkie tipe Blades.
Uitlijning en omdraai eenheid
Kan vlakke rande uitlineer en plaas Wafer kan omgedraai word om die kristal rug te skrob
Borsel eenheid
Borsel Arm Aantal * 2 Wafer handvat: Chuck klem of suksie tipe Borsel, AS, JET, Megasonics skuimings modusse, ondersteun farmasiekuiming
1. Ondersteun Wafer invoer en uitvoer gelyktydig, sowel as A invoer en B uitvoer modusse 2. Kan die voorste deel van kamer A en die agterkant van kamer B borstel. 3. Kan dubbelkamers parallel skoonmaak ondersteun.
Beskrywing van Borsteleenheid
Soos in die figuur getoon Wafer vasgemaak bo-op die Spinner.
Arm1&Arm2 kan saam met verskeie borstelmetydes gebruik word. soos vroeër beskryf om wafers te skoonmaak.
Ná skoonmaking draai die Spinner op hoë snelheid om die wafer te wentel en droog te maak.
Uitlijning en omdraai eenheid
Wafer kan vir woonsdoeleindes en vlakking gebruik word.
Wafer kan omgedraai word.
Toestelgrootte: 160x150x220 (mm). Inlading- en afladingmetodes: dieselfde in en uit & A in en B uit. Aantal borstel-eenhede: 2 Borstelmodusse: Borstel, AS, JET, Megasonics skoonmaakmetodes, ondersteun farmasie-tipe skoonmaak
Verpaking & Levering
Bedryfsprofiel
VRG
1. Oor Prys: Al onze pryse is mededingend en onderhandelbaar. Die prys wissel afhanklik van die konfigurasie en aanpassingskompleksiteit van jou toestel.
2. Oor Steekproef: Ons kan steekproefproduksiedienste vir jou verseker, maar jy moet moontlik sommige rekeninge betaal.
3. Oor Betaling: Nadat die plan bevestig is, moet jy ons eers 'n voorschot betaal en die fabriek sal begin om die goeder te voorberei. Nadat die toerusting gereed is en jy die balans betaal, sal ons dit verstuur.
4. Oor Levering: Nadat die toerustingvervaardiging voltooi is, sal ons jou die akseptasievideo stuur, en jy kan ook na die plek kom om die toerusting te inspekteer.
5. Installasie en Afsteling: Nadat die toerusting by jou fabriek aangekom het, kan ons ingenieurs uitstuur om die toerusting te installeer en af te stem. Ons sal jou 'n aparte offerte vir hierdie diensreeks verskaf.
6. Oor Garantie: Ons toerusting het 'n 12-maande garantieperiode. Na die garantieperiode, as enige onderdele geskade is en vervang moet word, sal ons slegs die kosteprys vra.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
