Vakuum mikrogolf plasma skoonmaak masjien Plasma Oppervlakte Behandeling Halfgeleier Verpakking oplossing IC TO pakket , China Vakuum mikrogolf plasma skoonmaak masjien Plasma Oppervlak Behandeling Halfgeleier Verpakking oplossing IC TO pakket Vervaardigers, Verskaffers, Fabriek

Produkte Beskrywing

Halfgeleierverpakkingsoplossing Mikrogolfplasmaskoonmaker

SPV-100MWR is 'n lae spanning mikrogolf plasma skoonmaak stelsel vir halfgeleiers. Deur mikrogolf met die frekwensie van 2.45GHz op die venster op die wand van die vakuumholte toe te pas, word 'n groot aantal deurlopende plasma gegenereer, en die skyfie word skoongemaak deur die holte binne te gaan.

Vakuum mikrogolf plasma skoonmaak masjien Plasma Oppervlakte Behandeling Halfgeleier Verpakkingsoplossing IC TO pakket verskaffer

Tegniese parameters

Vakuum plasma gasheer
Toerusting grootte	1230X1800X1100mm (breedte x hoogte x diepte)
gewig	450kg
vraag krag	AC380V, 50/60Hz, 5-draad, 30A
Plasmagenerator spesifikasies
Mikrogolf kragtoevoer	Power	0 ~ 1250W
		Frekwensie	2.45GHz
Vakuumstelsel
materiaal	Aluminiumlegering (aanpasbare vlekvrye staalkamer)
Dikte	25mm
Interne afmetings van die holte	480mmX470mmX480mm
werkruimtes	6 tydskrif afdelings
ECR	Slotted Magazine bied ECR verbeterde verwerkingseffek
Plasma vermoë
Verwerkingsvermoë	35um toonhoogte 40μm stamp 15X15mm Maksimum Die grootte