Vakuum mikrogolfplasma-reinigingsmasjien Plasma Oppervlak Behandeling Halwgeleier Verpakking oplossing IC TO verpakking , China Vakuum mikrogolfplasma-reinigingsmasjien Plasma Oppervlak Behandeling Halwgeleier Verpakking oplossing IC TO verpakking Manufacturers, Suppliers, Factory

Produkte Beskrywing

Halbleiter Verpakkingoplossing Mikrogolf Plasma Reiniger

SPV-100MWR is 'n lae spanning mikrogolf plasma-reinigingstelsel vir halbleiders. Deur mikrogolwe met 'n frekwensie van 2.45GHz toe te pas op die venster aan die wand van die vakuumholte, word 'n groot getal kontinue Plasma voortgebring, en die chip word gereinig deur in die holte te gaan.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

Tegniese parameters

Vakuumplasma gasheer
Toerustinggrootte	1230X1800X1100mm (wydte x hoogte x diepte)
Gewig	450KG
Energiebehoeftes	AC380V, 50/60Hz, 5-draad, 30A
Plasma Generator Spesifikasies
Mikrogolfkragsvoorsiening	Krag	0~1250W
		Frekwensie	2.45GHz
Vakuumstelsel
Materiaal	Aluminiumliggaam (aanpasbare roestvrystaaikamer)
Dikte	25mm
Interne afmetings van die holte	480mmX470mmX480mm
Werkruimtes	6 magasynafdelings
ECR	Geslotte tydskrif verskaf ECR verbeterde verwerkingseffek
Plasma vaardigheid
Verwerking vaardigheid	35um Pitch 40μm Bump 15X15mm Maksimum Ster grootte