Die wydverspreide toepassing van plasma-skoonmaakmasjiene in die halfgeleierbedryf

Die toepassing van plasma-skoonmaakmasjiene in die halfgeleierbedryf is baie omvattend, hoofsaaklik weerspieël in die volgende aspekte:

▘ Oppervlak-aktivering skoonmaak: Vir oppervlak aktivering skoonmaak van wafers, IC skyfies, halfgeleier silikon wafels, ens., plasma skoonmaak tegnologie het die funksie om oksied films, organiese stowwe, maskers, ens. van die wafel oppervlak te verwyder, suiwer behandeling en oppervlak aktivering , en vermy virtuele soldeerverskynsel.

▘Naverpakkingsverwerking: Nadat die skyfieverpakking voltooi is, word die verpakkingsmateriaal skoongemaak om sweisreste en kontaminante wat tydens die verpakkingsproses gegenereer word, te verwyder, om produkkwaliteit te verseker. Plasma-skoonmaakmasjiene kan besoedelingvrye behandeling bereik terwyl die gebruik van skadelike oplosmiddels wat menslike gesondheid kan benadeel, vermy word.

▘Verwydering van fotoresistresidu: Word gebruik in die fotolitografieproses van halfgeleiervervaardiging om die patroon van toerusting te definieer. Nadat litografie voltooi is, kan die plasma-skoonmaakmasjien vinnig en deeglik fotoresistresidu verwyder om die akkuraatheid van die patroon en die betroubaarheid van die toerusting te verseker.

▘Voorbehandeling van filmafsetting: Tydens die filmafsettingsproses moet die oppervlak hoogs skoon gehou word om die adhesie en eenvormigheid van die film te verseker. Plasma-skoonmaak kan besoedelende stowwe en oorblyfsels effektief verwyder voor afsetting, en sodoende die kwaliteit van dun films verbeter.

▘ Oppervlakteverandering: Plasmabehandeling word nie net vir skoonmaak gebruik nie, maar kan ook oppervlakmodifikasie bewerkstellig. Deur die gassamestelling en verwerkingsparameters aan te pas, kan plasmategnologie die hidrofilisiteit of hidrofobisiteit van materiale verbeter, die werkverrigting en stabiliteit van toestelle verbeter.

▘ Verbeter adhesie: Plasma-skoonmaakmasjiene kan gebruik word om verpakkingsmateriaal, soos plastiek, keramiek, ens., skoon te maak, om die adhesie en betroubaarheid van verpakkingsmateriaal te verbeter; Verbeter die adhesieprestasie tussen korrel en pad geleidende gom, soldeerpasta-infiltrasieprestasie, verbeter die bindingspanning van leidings en verbeter die betroubaarheid van verpakte toestelle.