Система за реактивно йонно ецване
Професионално предоставяне на персонализирани решения за клиенти
Двукамерна RIE (Cl₂) персонализация
През февруари 2024 г. получихме заявка от клиент за 100 mm пластина с хлорен процес.
Това е интересно приложение за нас, тъй като необходимият технологичен газ съдържа токсични газове Cl2 и BCl3. Трябва да подобрим всички конфигурации на машината, за да избегнем проблеми с безопасността, и специално проектирана двукамерна структура на камерата за обработка и камерата за прехвърляне, за да защитим перфектно оператора, като същевременно отговаряме на изискванията на процеса.
След около 5 месеца проектиране и производство, ние проведохме множество пробни тестове и производствени симулации във вътрешната лаборатория на компанията и бързо доставихме оборудването, след като преминахме одобрението на клиента.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
