MDLB-MC200 Чистач за фотомаски , China MDLB-MC200 Чистач за фотомаски Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Очистващ апарат за фотомаски

Очистващ модул:

Чистящата камера е обработена с материал, устойчив към корозията, който има гладка повърхност и лесно се чисти. Има отводен порт за отпадъци в дна на вътрешното пространство, който използва гравитацията, за да позволява на отпадничите течности да се отвеждат в канализационната система на фабриката. Вътре в полето има всмукван порт, който може да изважда атмосферата от полето. Оснащена е с 3 автоматични разкачващи ръце, които могат да постигнат автоматично чистване.

Табlica c конфигурационни параметри:

Не.	Проект	Спецификации	Забележки
1	Общ преглед на оборудването	Име на устройството: Чистач за фотомаски
		Модел на оборудването: MDLB-MC200
		Общи размери (приблизително): 1300мм (Ш) * 1000мм (Д) * 1950мм (В)
		Тегло на цялата машина (приблизително): 300КГ
		Височина на операционния масив: 900 ± 50мм
		Нормативи за размера на субстрата: подходящи за квадратни маски с размер 2/4/5/6/8 инча
		Процесен поток: ръчно поставяне на пластината → чистване (щетка, чистеща течност → високоусоред водопроводна вода → мегасонова вода → деионизирана вода → сушене с азотен газ) → ръчно премахване на пластината
		Тип оборудване: полуавтоматично, ръчно зареждане и изнасяне
2	Конструкция на оборудването	Корпус: нержавеща оцел, гладка, корозионно устойчива, лесно за чистене
		Чистяща камера: ПП, гладка, корозионно устойчива, лесно за чистене
		Тръбопровод: се използва тръбопровод от ПУ/ПФА
		Осветление при работа: противокорозионно жълто осветление
		Начин на отваряне на вратата: Двойна врата с функция за сигнализация при отваряне
		Тач скрийн: 10-ти инчов пълен цвятен тач скрийн * 1
		FFU: Клас 100
		Поддържка с преванително дъно: налична
3	Сервомотор с висока прецизност	Количество: 1
		Скорост: -3000~3000об/мин	Празен ход
		Максимално ускорение на врътене на спирала: 3000об/с	Празен ход
		Точност на скоростта: ± 1об/мин (50об/мин~3000об/мин)
		Резолюция на скоростта: 1об/мин
4	Автоматична разкачваща се ръка	Количество: 3
4	Автоматична разкачваща се ръка	Скорост на разкачващата се ръка: 1~30 °/с
5	Единица за чистене	Чистяща ротационна рамка: 1 канал дезioniрана вода, 1 канал азотен газ Мегасонна рамка: 1 мегасонно, 1 високотоณженска вода Рамка за щетки: 1 щетка, 1 вода, 1 чистеще средство
		Метод за чистене: автоматично чистене
		Функция за изсмукване на дезioniрана вода: налична
		Обратно промиване (дезioniрана вода): 1 път
		Метод на доставка: Чистещо средство: Диафрагменен насос Дезioniрана вода: доставяне директно от фабриката
		Цистерна с детектор на нивото на течност
6	Щетка	Количество: 1 (с функция за самозачистване)
		Скорост: до 1000об/мин, регулируема скорост
		Височината се регулира ръчно
7	Подавателна тарелка	Количество: 5
		Материал: PPS+нержавееща стомана
		Големина: Подходяща за квадратни маски с размер 2/4/5/6/8 инча
		Метод за закрепяване на субстрата: Метод с грифи за закрепяване
8	Контролна система	Контролнa система: Използва PLC контрол
		Програма: 100 групи, всяка група съдържа 100 стъпки, с максимално време на една стъпка от 3000.0 секунди Разрешение: 0.1S
		Програмата може да бъде запазена, извикана, променена и изтрита
		Задаване на права за шифроване: за оператори на устройството, техници, администратори и производители съответно
		Тип сигнален тур: червен, жълт, зелен 3 цвета