Размер на wafer
|
4”~ 8” таблетка
|
Толщина на таблетката
|
100~750 микрона
|
Вид таблетка
|
Si, SiC, GaN или други материали
|
Тип филм
|
Синя плевка, УФ плевка
Широчина: 230 ~ 300 мм Дължина: 100 м Дебелина: 0.05 ~ 0.2 мм |
Кръг за пренос на кристали
|
6”, 8” DISCO
|
Метод за зареждане и изваждане
|
Ръчно поставяне и премахване на кристал/кръг
|
Прегласност при позиционирането на плевката
|
±0.5мм
Стандартни таласи за 6” и 8” за таласи от 6” и 8” |
Вакуумна помпа
|
Minder-Hightech
|
Антистатичен контрол
|
Деионизационен вентилатор
|
Контролна единица
|
Базиран на PLC контрол, с 10” държателен екран
|
Защитна безопасност
|
Конфигуриран с защита чрез световна завеса и бутон за аварийна спирка
|
Напрежение на източника за электропитание
|
Еднофазова алтернативна токова 220В, 16А
|
Сжат въздух
|
0.45~0.6МПа, приток 70Л/мин
|
Корпус на машина
|
Бял пластмасен метален корпус
|
Обем
|
850мм (широчина)*1750мм (дълбочина)*1970мм (височина)
|
Нетно тегло
|
480кг
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved