Алайнер/Машина за алайнент фотолитография , China Алайнер/Машина за алайнент фотолитография Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продуктите

Маскиран aligner Машина за фотолитография

Маскиран aligner се използва основно при разработването и производството на интегрални схеми малък и среден мащаб, полупроводникови компоненти, оптоелектронни устройства, повърхностни акустични вълнови устройства, тънки пленови кръгове и електронни устройства
Маска за съгласуване, известна още като: машина за съгласуване на маски, експозиционна система, литографска система и т.н., е основното оборудване за производство на чипове. Използва технология, подобна на фотопечатането, за да отпечатва микроскопичните образци от маската на кремиковия пластик чрез светлина.
Основно се състои от: прецизен работен стол за съгласуване, бинокулен разделен поле за гледане вертикално микроскоп, бинокулен разделен поле за гледане хоризонтално микроскоп, цифров камера, компютърен системен модул за изображения и памет, многоточкова светлина (fly eye) експозиционна глава, PLC контролна система, пневматична система, вакуумна система, директно свързан вакуумен насос, вторичен антивибрационен работен стол и аксесоарна кутия.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Характеристика

1. Висока равномерност на експозиционната глава fly-eye / аеродинамично плутащ механизъм за нивелиране / надежден вакуумен зажим за експозиция. висока резолюция.
2. Метод за съгласуване чрез маска, която поддържа стабилност при подаването на субстрата, което гарантира последователността на водещата гравитация и силата.
3. Използване на безшовен линейен ръководител, висока прецизност, бърза скорост.
4. Всички модели са подходящи за работа с всички стандартни фотоуслонения, като AZ, Shipley, SU 8.
5. Всички модели: Качеството на образца, пренесен от системата към субстрата след 5 приложения на маска, трябва да бъде същото като качеството на образеца след първото приложение на маската.
6. Времето на експозиция може да се регулира между 1 секунда и 1 час. Точност на подравняване 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Спецификация

Модел	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Тип експозиция	едината страна			Подравняване и експозиция от двете страни
Режим на експозиция	Контактен твърд, мек и непряко контактно приближение
Количество експозиционни глави	1 Експозиционна глава			2 Експозиционни глави
Вид източник на светлина	GCQ350 сферична ртънова лампа						LED UV експозиционна глава
Метод за охлаждане	Продукти за охлаждане с въздух
Експозиционна площ	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Режим на експозиция	Съвместимо с твърди и меки контакти
Нееднородност на експозицията	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
Разрешаваща способност на експозицията	2μm	1 μm
Интензитет на лъч (365 нм)	≥6мВт/см²	≤40мВт/см²	≥5мВт/см²		0~30мВт/см²
Нееднородност на лъча	≤±4%	≤±3%
Максимален отклоняващ ъгъл на УВ светлина	4°	3°
Обхват на осветляване	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Спред и зад ≥ Φ115mm
Режим за компенсация на грешките при клина	Куполообразна автоматична компенсация			Автоматично eliminиране		Автоматична компенсация с 3 точки
Пътят на X и Y осите	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
Пътят на Ѳ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Резолюция на преместването на XYZ платката	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Микроскопна система	Два еднобарелови микроскопа / Две CCD камери
Размер на дисплея	15 инча
Резолюция на системата за снимане	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Разстояние за измерване на маската и дължавния лист	0.5 µm	0.3 µm
Диагонална размерност на CCD целева повърхност	1/3, (6мм)						40мм～110мм
Размер на подадената маса	≤ Квадрат 5*5 инча (Подредени спецификации)
Размер на субстратите	Φ 100мм или 100*100мм квадратен	60*49.5мм квадратен	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Толщина на субстрата	1-3 мм	≤5 мм	1-3 мм		≤5 мм
Вакуумна помпа	Масло свободен мълчаз(-0.07～－0.08MPα)
Чист comprimirovan въздух	≥0.4MPα
Енергиен източник	AC 220В±10% 50ХЦ 1.5КВ
Клас на чист стая	Клас 100
Температура на чиста стая	25℃±2℃
Относителна влажност на чистата стая	≤60%
Амплитуда на вибрацията на чистата стая	≤4μm
Размер на оборудването	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Тегло на оборудването	200KG				280kg

Производството на системи за високопrecизно подравняване изисква почти съвършена прецизiona механическа обработка. Друг технически проблем на системата за подравняване е микроскопът за подравняване. За да се увеличи полето на видимост на микроскопа, много висококласни литографски машини използват LED осветление. Има две системи за подравняване с функция за фокусиране. Те се състоят главно от два ока и два поля за видимост, насочени към тялото на микроскопа, по един двойник и по един обектен лещ (литографските машини обикновено предлагат на потребителите двойници и обектни лещи с различно увеличение). Функцията на CCD системата за подравняване е да увеличава марките за подравняване на маската и пробията и да ги изображава на монитора.

Стадията на обработването е ключова част от литографската машина, която се състои от стадия за общо движение на маската и пробата (XY), стадия за относително движение на маската и пробата (XY), врътлива стадия, механизъм за нивелиране на пробата, механизъм за фокусиране на пробата, стадия за таласи, зажим за маска и извличаща стадия за маска. Механизмът за нивелиране на пробата се състои от куляшна седалка и полукълба. През процеса на нивелиране първо се прилага компресиран въздух към куляшната седалка и полукълбата, след което куляшната седалка, полукълбата и пробното тяло се движеят нагоре чрез фокусиращия ръчник, така че пробното тяло да бъде нивелирано срещу маската, след това тройният електромагнитен клапан превключва куляшната седалка и полукълбата към вакуум за блокиране, за да се поддържа нивелираното състояние.

Minder-Hightech ви предлага напреднала технология за фотолитография чрез Aligner/Alignment Machine.

Задържате ли се пред проблема с недостатъчна точност при отпечатването на циркуита върху вашите електронни продукти? С машината за подравняване на Minder-Hightech можете да бъдете сигурни, че ще постигнете висока точност при производството на отпечатвани циркуити.

С този революционен продукт можете лесно да прехвърлите високоразрешително изображение на продукт чрез фотолитографски процес. Тази машина гарантира точност благодаря на операционна система за подравняване на материал спрямо изображението.

След като снимките са отпечатани и качени, машината изчислява необходимото ниво на експозиция и начина, по който материала е подравнен спрямо снимките. Това изчисление се прави чрез най-новия компютърен софтуер, който може да се актуализира, за да следва технологичното развитие в производствената индустрия.

Ще ви позволи да изготвяте широк спектър, включително микрокръгове, радиочестотни (RF) кръгове и интегрирани кръгове. Устройството може да постигне най-добрата ерозия, ширина на писта и съответствие между слоевете чрез добавянето на различни допълнителни процедури, като химическа ерозия и електрооблагане.

Преимуществото на нашия продукт е в неговата способност да произвежда висока прецизност при съответствието, което гарантира, че моделите са разположени с голяма точност върху материалите. Можете удобно да отпечатвате много сложни дизайни без никакви деформации.

Той е потребителски дружелюбен, компактен и ефективен, което го прави подходящ за различни производствени facilites или размер на фирма. Освен това, нашето устройство се осигурява с ръчно поддръжка и обучение на място от нашия екип техническа поддръжка.

Устройството за подравняване Aligner/Alignment Machine на Minder-Hightech използва технологията на фотолитографията, за да ви помогне да постигнете най-добри резултати при печатането на вашите циркуита. Изживейте нов ниво на технология, която ви предлага висока точност и прецизност, които не могат да бъдат достигнати от традиционните методи за печат. Устройството за подравняване Aligner/Alignment Machine на Minder-Hightech е това, от което производствената ви фирма има нужда, за да остане напред едно крачка преди конкуренцията. Свържете се с нас днес, за да насладите предимствата на най-добрата технология за устройство за подравняване/pодравняващ машин в пазара.