Фотолитография с машина за подравняване/подравняване, Китай Фотолитография с машина за подравняване/подравняване Производители, доставчици, фабрика

Описание на продуктите

Литографска машина за подравняване на маски

Mask Aligner се използва главно в разработването и производството на малки и средни интегрални схеми, полупроводникови компоненти, оптоелектронни устройства, устройства с повърхностни акустични вълни, тънкослойни вериги и силови електронни устройства
Mask Aligner Известен също като: експонираща машина за подравняване на маска, система за експониране, литографска система и т.н., е основното оборудване за производство на чипове. Той използва технологията, подобна на фотопечата, за да отпечата фините шарки върху маската върху силиконовата пластина чрез излагане на светлина
Основно се състои от: работна маса за високо прецизно подравняване, вертикален микроскоп с бинокулярно разделено зрително поле, хоризонтален микроскоп с бинокулярно разделено зрително поле, цифров фотоапарат, компютърна система за памет за изображения, многоточков източник на светлина (око на муха) експонираща глава, PLC система за управление, пневматична система, вакуумна система, директно свързана вакуумна помпа, вторична антивибрационна работна маса и кутия за аксесоари

Производство на фотолитографска машина за подравняване/подравняване

Фабрика за фотолитография на Aligner / Alignment Machine

Характеристика

1. Висока еднородност на експонираща глава с око за муха / механизъм за изравняване на въздушната флотация / надеждно експониране на вакуумно затягане. висока резолюция.
2. Методът на подравняване чрез маска поддържа стабилно и захранване на субстрата, което гарантира постоянството на направляващата гравитация и силата.
3. Използване на прав водач без пропуски, висока точност, бърза скорост.
4. Всички модели са подходящи за работа с всички стандартни фоторезисти. като AZ, Shipley, SU 8.
5. Всички модели. Качеството на шаблона, прехвърлено от системата към субстрата 5, трябва да бъде същото като качеството на шаблона след прилагането на първата маска.
6. Времето на експозиция, регулируемо между 1 секунда и 1 час. Точност на подравняване 1 µm

Доставчик на фотолитография на машина за подравняване/подравняване

Детайли за фотолитография на машина за подравняване/подравняване

Спецификация

Модел	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Тип експозиция	Една страна			Двустранно подравняване и двустранно излагане
Режим на експозиция	Контактна твърда, мека и безконтактна близост
Количество на експозиционната глава	1 Глава за експозиция			2 Глава за експозиция
Тип източник на светлина	Сферична живачна лампа GCQ350						LED UV експонираща глава
метод за охлаждане	Въздушно охлаждане
Зона на експониране	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
Режим на експозиция	Съвместим с контакт твърд, мек
Неравномерност на експозицията	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Разделителна способност на експозицията	2μm	1 рт
Интензитет на лъча (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Нехомогенност на лъча	≤ ± 4%	≤ ± 3%
Максимален ъгъл на отклонение на UV светлината	4 °	3 °
Обхват на осветление	≤Φ117 мм	Φ117mm	≤Φ117 мм		Отпред и отзад ≥ Φ115 mm
Режим на компенсиране на клинова грешка	Автоматична полусферична компенсация			Автоматично елиминиране		3-точкова автоматична компенсация
Ходът на осите X и Y	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 мм
Пътуването на θ	± 3 °	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
Разделителна способност на изместване на субстрата XYZ	0.5μm	0.3μm	0.3μm		0.01μm
Микроскопска система	Два едноцевни микроскопа / Две CCD камери
размер на дисплея	15 инча
Разделителна способност на системата за изображения	2μm	1.5μm	1.5μm		1.5μm
Маска и разстояние за измерване на субстрата	0.5 μm	0.3 μm
Диагонален размер на целевата повърхност на CCD	1/3,（6mm）						40 мм ~ 110 мм
Настройка на размера на масата	≤ Квадрат 5*5 инча (спецификации с възможност за персонализиране)
Размер на субстратите	Φ 100 mm или 100 * 100 mm квадрат	60*49.5 мм квадрат	2 "-4"		1"x1"-5"x5"
Дебелина на основата	1-3mm	≤ 5 мм	1-3mm		≤ 5 мм
Вакуумна помпа	Заглушаване без масло（-0.07～－0.08MPα）
Чист въздух под налягане	≥0.4MPα
Захранване	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Клас чиста стая	Class 100
Чиста стайна температура	25 ℃ ± 2 ℃
Относителна влажност на чистата стая	≤60%
Амплитуда на вибрациите на чиста стая	≤4μm
Размер на оборудването	1300 × 720 × 1600 мм				1500 × 800 × 1600 мм
Тегло на оборудването	200kg				280kg

Производствената високопрецизна система за подравняване трябва да има почти перфектен прецизен механичен процес. Друг технически проблем на системата за подравняване е подравняващият микроскоп. За да подобрят зрителното поле на микроскопа, много литографски машини от висок клас използват LED осветление. Има два комплекта система за подравняване с функция за фокусиране. Състои се главно от две очи и две зрителни полета, насочени към основното тяло на микроскопа, един чифт окуляри и един чифт обективни лещи (литографската машина обикновено осигурява окуляр и обектив с различно увеличение за потребителите). Функцията на CCD системата за подравняване е да увеличи маркировките за подравняване на маската и пробата и да ги изобрази на монитора.

Етапът на обработвания детайл е ключова част от литографската машина, която се състои от етапа на цялостно движение на пробата на маската (XY), етапа на относително движение на пробата на маската (XY), етапа на въртене, механизма за нивелиране на пробата, механизма за фокусиране на пробата , етапа на пластината, скобата на маската и етапа на издърпващата се маска. Механизмът за нивелиране на пробата се състои от сферична опора и полусфера. В процеса на нивелиране, първо, въздух под налягане се прилага към седалката на топката и полусферата, а след това седалката на топката, полусферата и частта за проба се движат нагоре през фокусиращото ръчно колело, така че частта от пробата да може да се нивелира спрямо маската, и след това двупозиционният трипътен електромагнитен вентил превключва сферичната седалка и полусферата към вакуум за заключване, за да се поддържа нивото на нивелиране.

Minder-Hightech ви предлага усъвършенствана технология за фотолитография чрез машина за подравняване/подравняване.

Борите ли се с недостатъчна точност, докато печатате вериги на вашите електронни продукти? С машината за подравняване/подравняване на Minder-Hightech можете да си починете, знаейки, че ще постигнете високо ниво на прецизност при производството на вашите печатни платки.

С този революционен артикул можете безпроблемно да прехвърлите изображение с висока разделителна способност върху продукт с помощта на фотолитография. Тази машина гарантира точност чрез оперативна система за подравняване на материала спрямо изображението.

След като снимките са отпечатани и качени, машината изчислява необходимото количество експозиция и как материалът е подравнен със споменаването на снимките. Това изчисление се прави с помощта на най-новия компютърен софтуер, който може да се актуализира, за да отговаря на технологичното развитие в производствената индустрия.

Това ще ви позволи да направите широка гама, включително микросхеми, радиочестотни (RF) вериги и вградени вериги. Устройството може да произведе най-добрата дълбочина на ецване, ширина на следата и подравняване слой към слой чрез добавяне на различни допълнителни процедури, като химическо ецване и галванопластика.

Предимството на нашия продукт се крие в способността му да произвежда високо подравняване, което гарантира, че шарките са разположени с голяма прецизност върху материала. Можете удобно да отпечатате много сложни дизайни без никакви деформации.

Той е удобен за употреба, компактен и ефективен, което го прави подходящ за различни производствени мощности или големина на компанията. Освен това нашето устройство се предлага с ръчна поддръжка и обучение на място с нашия екип от персонал за техническа поддръжка.

Машината за подравняване/подравняване на Minder-Hightech използва фотолитографска технология, за да ви помогне да постигнете най-добри резултати, докато печатате вашите схеми. Изпитайте ново ниво на технология, което ви предлага висока точност и прецизност, които не могат да бъдат съпоставени с традиционните методи за печат. Машината за подравняване/подравняване на Minder-Hightech е това, от което се нуждае вашата производствена компания, за да бъде крачка пред конкуренцията. Свържете се с нас днес, за да се насладите на предимствата на най-добрата технология за подравняване/машина за подравняване на пазара.