ASKING DESCUM премахване на фоторезист ICP Dry Plasma Photoresist Машина за премахване, Китай ASKING DESCUM фоторезист отстраняване ICP Dry Plasma Photoresist Машина за премахване Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

ICP машина за премахване на фоторезист със суха плазма

ICP суха плазмена машина за премахване на фоторезист се използва главно за отстраняване на полимери, ИЗПЕПЕЛЯВАНЕ, DESCUM, отстраняване на фоторезист след имплантиране на йони и отстраняване на повърхностни остатъци. Кухината е подходяща за проби от 4-8 инча, като 1-2 парчета се обработват в един процес.

ОПЕПЕЛЕНЕ
Отстраняване на полимер
Сухо отстраняване на твърдия слой маска
Премахване на фоторезистентност след имплантиране на йони
Отстраняване на фоторезистентност при BAW/SAW процес
Химическо почистване на антирефлексен графичен филмов слой
Отстраняване на повърхностни остатъци
Почистване на повърхността след ецване
ДЕКУМ

ПИТАЙТЕ Подробности за премахване на фоторезист DESCUM за машина за премахване на фоторезист от суха плазма ICP

ПИТАНЕ DESCUM отстраняване на фоторезист Фабрична машина за премахване на фоторезист от суха плазма ICP

Спецификация

ПЛАЗМА			RF	RF
Захранване	ICP	1000w	1000w
Захранване		BIAS	600w (опция)	600w (опция)
Приложим обхват			4~8 寸	4~8 寸
Брой срезове за единична обработка			1	2
Външни размери			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Системен контрол			Индустриална система за контрол	Индустриална система за контрол
Ниво на автоматизация			автоматичен	автоматичен