Автоматичен cmp след почистване , Китай Автоматичен cmp след почистване Производители, доставчици, фабрика- Гуанджоу minder-hightech co., ltd.

Описание на продукта

Cleaning Equipment after Wafer Chemical Mechanical Polishing

CMP Post Chean

Елементи на машината

Strong process capability
Dual chamber brushing, with a wide range of process applicability
The equipment occupies a small area, with dimensions of 2200 * 800 * 2200 (mm)

Приложни полета

6-8 inch CMP after brushing
Cleaning after grinding SIC or other substrates

Технически параметри

Cleaning after 4-inch and 6-inch CMP
Dual chamber design, independent chamber operation Wet in and dry out or dry in and dry out
High speed spin dry SRD

LoadPort единица, зареждаща единица

LoadPort е зареждащата единица на това устройство

Wet Cassette feeding
Has spray moisturizing function

Brush unit, Wafer cleaning unit

Dual chamber unit, capable of supporting two different cleaning solutions
The brushing position can be adjusted according to the recipeBelt Conveyor

SRD unit, Wafer drying unit

Wafer clamp type spin drying, with a maximum speed of 4000RPM
Can perform AS cleaning on wafer surface and spray DIW

UNLOAD unit, cutting unit

The UnLoad unit has an independent FFU to ensure the cleanliness of wafer output

Транспортни

Wet area is belt conveyor

Dry area for Robot teleportation

Описание на четката

As shown in the left figure, the brush unit of this device consists of two brushing units, namely BU1 BU2.

The brush pressure of each unit can be adjusted separately (as specified in the recipe), and each brush blade unit can be washed with different chemical cleaning solutions separately.

The brush of the machine adopts PVA brush, which is a commonly used type in the market.
The transmission between cavities is belt conveyor. There is a DIW RINSE inside the cavity

SRD unit

The SRD unit is equipped with a clamping CHUCK and an AS ARM, which can further physically clean and spin dry the wafer surface.

Спецификация

Размер на оборудването:	2200 * 800 * 2200 (мм)
Loading and unloading methods	dry in/wet in/dry out
Number of brushing units	2
Number of SRD units	1
Метод на транспортиране	Wet zone belt transport, dry zone robot transport
The size of the equipment with a brushing chamber of 1 is 1850 * 800 * 2200

Опаковане и доставка

Профил на компанията

Често задавани

1. За цената:
Всички наши цени са конкурентни и по договаряне. Цената варира в зависимост от конфигурацията и сложността на персонализиране на вашето устройство.

2. За пробата:
Можем да предоставим услуги за производство на проби за вас, но може да предоставите някои такси.

3. Относно плащането:
След като планът бъде потвърден, първо трябва да ни платите депозит и фабриката ще започне да подготвя стоките. След като
оборудването е готово и вие плащате остатъка, ние ще го изпратим.

4. Относно доставката:
След като производството на оборудването приключи, ние ще ви изпратим видеозаписа за приемане и можете също да дойдете на обекта, за да инспектирате оборудването.

5. Инсталиране и отстраняване на грешки:
След като оборудването пристигне във вашата фабрика, можем да изпратим инженери за инсталиране и отстраняване на грешки в оборудването. Ние ще ви предоставим отделна оферта за тази такса за услугата.

6. Относно гаранцията:

Нашата техника е с 12 месеца гаранционен срок. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат сменени, ние ще таксуваме само себестойността.