Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Получи Оферта

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Начална страница
За нас
MH Equipment
Решение
Потребители от чужбина
Видео
Свържете се с нас
Начало> MH Equipment> Стъклополирващ агрегат
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP
  • Автоматично чистене след CMP

Автоматично чистене след CMP

Получавайте безплатна оферта
Описание на продукта

Аparatura za promivka sled himiko-mehanichnoto polirvane na wafer

CMP Post Chean

Характеристики на машината

Силна процесна способност
Двойна камера за махало, с широк диапазон от процесна приложимост
Оборудването заема малка площ, с размери 2200 * 800 * 2200 (mm)

Области на приложение

промивка след CMP за wafer от 6-8 дюйма
Очистване след градене на SIC или други субстрати

Технически параметри

Очистване след 4-инчов и 6-инчов CMP
Двукамерен дизайн, независимо функциониращи камери. Мокро влизане и сухо излизане или сухо влизане и сухо излизане
Високоскоростно въртяне за сушка SRD

LoadPort единица, зареждаща единица

LoadPort е зареждащата единица на този апарат
Мокро подаване на касети
Има функция за спрейово увлажняване

Единица за чистене с щетки, единица за чистене на Wafer

Двукамерна единица, способна да поддържа две различни решения за чистене
Позицията за чистене може да се регулира според рецепта - транспортен ремен

Единица SRD, единица за сушене на wafer

Тип хващане на wafer с ротационно сушене, с максимална скорост 4000 об. мин.
Може да извършва AS чистене на повърхността на wafer и да разсейва DIW

Единица за изтегляне (UNLOAD), единица за отрязване

Единицата за изтегляне разполага с независим FFU, за да гарантира чистотата при изхода на wafer

Конвейер

Мокрият участък е транспортен ремен
Сух участък за телепортация на робот

Описание на единицата за чистене

Както е показано в лявата фигура, единицата за чистене на този апарат се състои от две чистещи единици, а именно BU1 и BU2.
Налягането на щетите на всеки един модул може да се регулира отделно (както е посочено в рецепта), а всяка щетна лезия може да се промива с различни химически чистящи течности поотделно.
Щетата на машината е от тип PVA, който е често използван вид на пазара.
Трансмисията между камерите е ременен конвейор. Вътре в камерата има DIW RINSE

Единица SRD

Единицата SRD е оснащена с зажимен ЧУК и АС РЪК, които могат да очистят физически и да изсушат повърхността на пластинката.
Спецификация
Размери на оборудването:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Методи за зареждане и разареждане
сух вход/мокър вход/сух изход
Брой щетни единици
2
Брой на единиците SRD
1
Метод за транспорт
Транспорт с ремен в мокрия район, транспорт с робот в сушия район
Размерът на оборудването с чистяща камера от 1 е 1850 * 800 * 2200
Упаковка и доставка
Фирмен профил
ЧЗВ
1. За цена:
Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:
Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. За плащане:
След потвърждаване на плана, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоките. След това,
когато оборудването е готово и платите остатъка, ние ще го изпратим.

4. За доставка:
След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:
След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:

Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.

Още продукти

Запитване

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Политика за поверителност

Запитване Email WhatsApp Top
×

Свържете се