Автоматична машина за химическо полиране с единична плоча за вафли CMP, Китай Автоматична машина за химическо механично полиране с една плоча за вафли CMP Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

ATOM CMP с една плоча

Елементи на машината

Устройството е гъвкаво и може да поддържа множество глави.
Възможностите за обработка на оборудването са близки до нивото на масовия модел на продукти със същия размер.
Добра последователност на процеса между устройствата.

Приложни полета

4-8 инча STI, ILD/IMD, TSV, TGV полиране и повърхностно полиране на съединения като SiC, LT, LN, GaAs и др.

Технически параметри

4-инчови, 6-инчови, 8-инчови глави, многозоново управление
Тип Φ20 инча 508MM плоча
Точност на контрол на налягането в главата <0.05PSI
Точност на контрол на скоростта на въртене на главата и плочата <2RPM

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-53

1. LoadPort модул

Портът може да се обърне, за да се потопи касетата в Qtank, като се избягва образуването на суспензионни кристали върху
полирана повърхност на Wafer. Оборудван с функция за картографиране на касети.

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-54

2. Роботизирано звено за извличане на материали

Оборудван с 4-осов робот, той може автоматично да прехвърля вафли от касетата към полиращия модул.

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-55

3. Полиращ модул

Това устройство е оборудвано с пластина * 1, глава * 1, компютър *
1, суспензия * 1, HCLU * 1 и EPD крайна точка
откриване. Може да постигне автоматично зареждане и разтоварване на вафли, многозоново управление на главата, суспензия
промяна на точката на кацане с настройки на рецепта, откриване на крайна точка и други функции.

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-56

Глава за полиране на CMP

Всички полировъчни глави, конфигурирани на това устройство, са независимо разработени, проектирани и произведени от нашата компания.
Сред тях 4-инчовата глава с 3 кухини е уникален продукт, създаден от нашата компания, запълвайки празнината на 4-инчовата глава с много кухини в Китай. Нашата компания може бързо да модифицира или персонализира главата според характеристиките на продукта на клиента. При разработването на продукти с тънък филм TGV (200 um), вътрешната структура на главата беше модифицирана, за да отговори на изискванията за полиране на тънък филм. По време на процеса на разработване на технологията за полиране на повърхността LN OX, нашата компания надгради дълбоко 6-инчовата глава и успешно изпълни изискванията на клиента към продукта.

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-57

Приложения

Традиционен процес на полиране на планаризация на IC；

TGV/TSV процес；

Smart Cut и CMP за предварително залепване;

SIC полиране на субстрат/полиране с галиев арсенид.

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-58

Спецификация

порт	Количество * 1, с Q-резервоар
робот	Количество * 1, за вафлен трансфер
HCLU	Количество * 1, за автоматично зареждане и изваждане на вафли
Полираща глава	Количество * 13 контрол на кухината, точност на управление от 0.1 PSI, може да поддържа 400-1200 UM операции с вафли.
Скорост на полиращата глава	5-150RPM
Полиране на диск	Количество * 1 полиращ диск с размер 508 мм, скорост на полиращата подложка 10-150 об./мин.
Рамо за подстригване	Количество * 1 полиращ тампон. Подложката за полиране може да се полира онлайн (едновременно) или офлайн (след полиране). Подстригването рамото е оборудвано с вал за подстригване, който може да се върти и движи нагоре и надолу, а скоростта и силата на притискане могат да се контролират. The инструментът за подстригване е монтиран на вала за подстригване и може да бъде бързо отстранени. Според различните видове полиращи подложки се конфигурират различни видове инструменти за обличане, включително обличане четки, диамантени пръстени и диамантени дискове.
Блок за управление на въздушното налягане на полираща глава UPA	Количество * 13 Регулируеми зони за по-добър ефект на планаризиране на повърхността
Помпа за подаване на полираща течност	Количество * 2. Перисталтичните помпи се използват за доставяне на течност, като 2 перисталтични помпи са конфигурирани да доставят различно полиране течности към диска за полиране. Всяка помпа може да се използва във всяка стъпка от процеса.
Ръце за тор	Количество * 1 може да контролира точката на кацане на суспензията и може да почисти подложката за полиране.
Системата за контрол на работата може да постигне контрол на потребителско ниво, като режим на оператор, режим на поддръжка и технически режим, и вар тези режими се управляват с пароли. Системният софтуер може да редактира параметрите на процеса на всяка стъпка на процеса и да изравни и полирайте тънкия слой върху повърхността на чипа според програмата. Може да следи състоянието на работа на оборудването, да наблюдава параметри на процеса в реално време и софтуерът може автоматично да съхранява различни данни за процеса. Оборудван с авариен стоп бутон, използван за незабавно спиране на работата на оборудването и прекъсване на управляващото захранване.

Опаковане и доставка

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-59

продукт автоматична единична пластина вафла химическа механична полираща машина cmp-60

Профил на компанията

Често задавани

1. За цената:
Всички наши цени са конкурентни и по договаряне. Цената варира в зависимост от конфигурацията и сложността на персонализиране на вашето устройство.

2. За пробата:
Можем да предоставим услуги за производство на проби за вас, но може да предоставите някои такси.

3. Относно плащането:
След като планът бъде потвърден, първо трябва да ни платите депозит и фабриката ще започне да подготвя стоките. След като
оборудването е готово и вие плащате остатъка, ние ще го изпратим.

4. Относно доставката:
След като производството на оборудването приключи, ние ще ви изпратим видеозаписа за приемане и можете също да дойдете на обекта, за да инспектирате оборудването.

5. Инсталиране и отстраняване на грешки:
След като оборудването пристигне във вашата фабрика, можем да изпратим инженери за инсталиране и отстраняване на грешки в оборудването. Ние ще ви предоставим отделна оферта за тази такса за услугата.

6. Относно гаранцията:
Нашата техника е с 12 месеца гаранционен срок. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат сменени, ние ще таксуваме само себестойността.