Автоматичен едноплатен хемиално-механичен полир на кристали CMP , China Автоматичен едноплатен хемиално-механичен полир на кристали CMP Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

ATOM CMP с една платформа

Характеристики на машината

Устройството е гъвкаво и може да поддържа няколко главки.
Процесните способности на оборудването са близки до нивото на основния модел на продуктите от същия размер.
Добра последователност между устройствата при процеса.

Области на приложение

оглаждане на 4-8 инчови STI, ILD/IMD, TSV, TGV и повърхностно оглаждане на съставни материали като SiC, LT, LN, GaAs и др.

Технически параметри

4-инчови, 6-инчови, 8-инчови глави с многозоново управление
Вид на плейт Φ20 инча 508MM
Точност на контрола на натискът на главата <0.05PSI
Точност на контрола на скоростта на въртене на главата и плейта <2RPM

1. Единица LoadPort

Портът може да се обърне, за да се измакне Касетата в Qtank, предотвратявайки образуването на кристали от Slurry върху
оглажданата повърхност на Уаfer. Оснащена е с функцията Cassette Mapping.

2. Единица за изтегляне на материал от робот

Оснащена с 4-осен робот, който автоматично прехвърля уафъри от Касетата към единицата за оглаждане.

3. Полирачна единица

Тази единица е оснащена с Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 и EPD краева детекция
може да постигне автоматична зареждане и изваждане на wafer, контрол на многозоновата глава, промяна на точката за Slurry
съгласно Recipe настройките, краева детекция и други функции.

CMP Полирачна Глава

Полирачните глави, конфигурирани в този апарат, са напълно разработени, проектираните и произведени от нашата компания.
От тях, 4-инчовата 3-камерна Глава е уникален продукт, създаден от нашата компания, което запълва празнината за липса на многокамерни 4-инчови Глави в Китай. Нашата компания може бързо да модифицира или да подреди Главата според характеристиките на продукта на клиента. При развитието на TGV тънки филми (200um) продукти, вътрешната структура на Главата беше модифицирана, за да отговори на изискванията за полиринг на тънки филми. През процеса на разработка на технологията за полирене на LN повърхност OX, нашата компания дълбоко обнови 6-инчовата Глава и успешно отговори на изискванията на продукта на клиента.

Приложения

Традиционен процес на полирване за плоскостна иконизация (IC);

Процес TGV/TSV;

Smart Cut и CMP предварително свързване;

Полирване на субстрат от SIC/галей арсенيد.

Спецификация

Порт	Количество * 1, с Q-бак
Робот	Количество * 1, за прехвърляне на пластини
HCLU	Количество * 1, за автоматично зареждане и изваждане на пластини
Полировачна глава	Количество * 13 камери контрол, контролна точност от 0.1PSI, може да поддържа операции с пластини от 400-1200 МИКРОМЕТРА.
Скорост на полирото голова	5-150Об/мин
Полироща диска	Количество * 1 Полироща диска с размер 508мм, Скорост на полирошащия пад 10-150об/мин.
Подреждащ ръкав	Количество * 1 полирошащ пад. Полирошащият пад може да подрежда онлайн (едновременно) или офлайн (след полирене). Подреждащият ръкав е укомплектуван с подреждаща ос, която може да върти и да се движи нагоре и надолу, а скоростта и натискът могат да бъдат контролирани. Подреждащият инструмент е инсталиран на подреждащата ос и може да бъде бързо премахнат. Според различните видове полирошащи падове се конфигурират различни видове обработващи инструменти, включително обработващи щетки, диамантни пръстени и диамантни дискове.
Контролен модул за въздушното налягане на полиращата глава UPA	Количество * 13 Зона за регулиране за по-добър ефект на плоскостна полирање
Насос за снабдяване с полираща течност	Количество * 2. Перисталтични насоси се използват за снабдяване с течност, като има 2 перисталтни насоса, конфигурирани да доставят различни полиращи течности до полиращия диск. Всеки насос може да се използва на всеки етап от процеса. течины към полиращия диск. Всеки насос може да се използва на всеки етап от процеса.
Ръка за суспензия	Количество * 1 може да контролира точката на приземяване на суспензиите и може да чисти полиращата падина.
Системата за оперативно управление позволява управление на ниво потребител, като режим на оператор, режим на поддръжка и технически режим, а различните режими се контролират чрез пароли. Системното програмное обезпечение може да редактира параметрите на процеса за всеки етап на процеса и да полира тонката филма на повърхността на чипа според програмата. Може да монитори работното състояние на оборудването, да монитори различни режими се контролират чрез пароли. Системното програмно осигуряване може да редактира параметрите на процеса за всеки етап на процеса и да полира тонката филма на повърхността на чипа според програмата. Може да монитори работното състояние на оборудването, да монитори работното състояние на оборудването, да монитори обработва параметрите на процеса в реално време, а софтуера автоматично съхранява различни данни от процеса. Оснащен е с бутон за аварийна спирка, който се използва за незабавна спирка на оборудването и изключване на контролното напрежение.

Упаковка и доставка

Фирмен профил

ЧЗВ

1. За цена:
Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:
Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. За плащане:
След потвърждаване на плана, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоките. След това,
когато оборудването е готово и платите остатъка, ние ще го изпратим.

4. За доставка:
След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:
След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:
Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.

Начална страница

За нас

MH Equipment

Решение

Потребители от чужбина

Видео

Свържете се с нас

Автоматичен едноплатен хемиално-механичен полир на кристали CMP

Характеристики на машината

Области на приложение

Технически параметри

1. Единица LoadPort

2. Единица за изтегляне на материал от робот

3. Полирачна единица

Още продукти

Серия MD-FS Капациторна машинка за намотка

Серия MD-FDS Автоматична капациторна машинка за намотка

Серия MD-EFS Капациторна машинка за намотка

Серия MD-EDFS Филмова капациторна машинка за намотка

Запитване

Articles

Products

Get In Touch