Оборудване CVD за графен и материалите от въглеродни нанотуби / Полупроводниковско оборудване , China Оборудване CVD за графен и материалите от въглеродни нанотуби / Полупроводниковско оборудване Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Оборудване за CVD за графен и материал от въглеродни нанотръби

Оборудването се използва основно за процесното облагане на графен и наноматериали; Дифузия, окисляване и анелация на поликристален кремниев и карбид на кремниев.

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment details

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment factory

Спецификация

структурен стил	Хоризонтален, единичен или многоцев системен автоматичен контрол
Подхожда за размер на плочките	2-8″
Метод за предаване и получаване на плочки	Автоматичен кантилеров квартзов push-pull бот, комбиниран с ръчно взимане и пускане на чипове.
Максимална температура	1050℃
Работна температура	400 ℃~850 ℃ непрекъснато регулируемо
Едноточкова температурна стабилност	400℃~850℃≤±0.5℃/24h
Системен граничен вакуум	По-добър от 1Pa
Скорост на насъзване	Време за насъзване до граничен вакуум < 15 мин
диапазон на работно налягане	От 5Pa до 1 × 105Pa непрекъснато регулируемо
Енергиен източник	3 фази 5-жилов 380В±10%, 50Hz
Хладна вода	2~4Кgf/см², 8Л/мин;

Упаковка и доставка

Фирмен профил

Имаме 16 години опит в продажбите на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за професионални машини за упаковка на полупроводници от начален до краен етап, произведени в Китай.