Зърнеста плоча |
Размер |
Инчове |
4,5,6,8 |
Касета за плочки |
Номер |
- |
2 |
Лъжеещият начин |
- |
Вертикално погружно зърнесто метод |
|
Вал на зърнестото колело |
Типове |
- |
Въздушни подлаги |
Количество |
- |
2 |
|
Скорост |
об/мин |
0~5000 |
|
Изходна мощност |
KW |
5.5/7.5 |
|
Ход |
мм |
150 |
|
Скорост на подаване |
ум/с |
0.01~100 |
|
Скорост на ускорен превод |
mm/min |
300 |
|
Резолюция |
um |
0.1 |
|
Оста на деталта |
Тип |
- |
Кугелни лежайки |
Количество |
- |
3 |
|
Тип Сасактивна Чаша |
- |
Микропорозен керамичен материал |
|
Метод за притегляне на wafer |
- |
Вакуумна абсорбция |
|
Скорост |
об/мин |
0~300 |
|
Трансфер на wafer |
- |
Ръка на робот |
|
- |
Завъртяващ диск |
||
Други функции |
Центриране на wafer |
- |
Подравняване на мобилни пинове |
Очистване на wafer |
- |
Очистване с вода и въздух, центрифужно изсъхване |
|
Чистене на всмукателните чашки |
- |
Очистване с абразивна пластинка |
|
ШЛИФОВКА |
мм |
φ200 |
|
НА ЖИВО измерване |
Диапазон на измерване |
um |
0~1800 |
Резолюция |
um |
0.1 |
|
Повторете точността |
um |
±0,5 |
|
Обработка точност |
Вътрешна точност на плоча (TTV) |
um |
≤2 |
Междуплочна точност (WTW) |
um |
±3 |
|
Повърхностна грубост (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Външен вид |
Оцветяване на външния вид |
um |
Оранжево подобие |
Размери(Ш×Д×В) |
мм |
1200×2750×1950 |
|
Тегло |
кг |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved