Модел |
MDTS-WT2200 |
Брой оси на изтъняване |
2 |
Брой работни маси |
3, Индексен метод |
Шпиндел на шлифовъчен диск |
Брой въздушни шпиндели: 2 Мотор на шпиндела: 7.5kW двигател с променлива честота Скорост: 0~6000rpm, плавно регулируема Спецификация на шлифовъчното колело: Φ203 mm Тип шлифовъчен диск: диамантен шлифовъчен диск |
Система за подаване на шлифовъчен диск |
Количество: 2 комплекта Метод на управление на захранващата система: LM водеща релса и сферичен винт съчетание Задвижващ двигател: серво мотор Минимална скорост на подаване: 0.1um/sec Максимална скорост на подаване: 50мм/сек |
Workbench |
Количество: 3, Индексен режим Двигател на шпиндела: Серво мотор Скорост: 0~300rpm, плавно регулируема Метод на адсорбция: Вакуумна адсорбция |
Грамофон за работна маса |
Режим на задвижване: серво мотор Обхват на въртене: 0~240° Форма на позициониране: позициониране със сензор |
Автоматична дебелина измервателна система |
Метод на измерване: IPG контакт онлайн измерване в реално време Брой измервателни глави: 2 бр Сензор за измерване: 0.1um сензор за ниво |
Автоматично зареждане/ система за разтоварване |
Тип кутия: 6-8 инча касета, 25 слоя Автоматичен метод на товарене/разтоварване: използва се манипулатор за вафли, за да се гарантира, че тънките вафли се транспортират без повреди Дебелина на вафлата: 150um-1000um |
Функция за почистване на работния плот |
Метод на почистване: Полиране с маслен камък & DI вода+въздух с две течности |
Автоматично почистване/ система за сушене |
Почистване: DIW почистване на дюзи Метод на сушене: Издухване + сушене Скорост: max1000rpm безстепенно регулируема |
Система за елиминиране на статично електричество |
Йон бар орион вентилатор |
Шпинделен охладител |
Температура: 18-22 ° C Дебит: 4~8L/мин |
Система за контрол |
Система за управление: PC система за управление, сензорен екран 3-цветна алармена светлина Китайски/английски интерфейс човек-машина |
Максимален размер на вафлата |
Максимална съвместимост с 8 инча |
Диапазон на скоростта |
0 ~ 6000 RPM |
Движение по Z-ос |
160mm |
Скорост на подаване по Z-ос |
0.1~100um/сек |
Бърза скорост на прибиране на Z-ос |
Петстотинmm / сек |
Разделителна способност по Z-ос |
0.1um |
Онлайн диапазон за измерване на дебелината |
0 ~ 1800um |
Резолюция на онлайн измерване на дебелината |
0.1um |
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени