Модел |
MDTS-WT2200 |
Брой тонки оси |
2 |
Брой работни маси |
3, Индекс метод |
Вал на зърнестото колело |
Брой въздушен шпиндли: 2 Шпинделен мотор: 7.5кВт променлив фреквенционен мотор Скорост: 0~6000об/мин, безконтактно регулиране Спецификация на шлифовното колело: Φ203мм Тип шлифовно колело: диамантено шлифовно колело |
Система за подаване на шлифовното колело |
Количество: 2 комплекта Метод за управление на системата за подаване: Рейка LM и винт с кълбо комбинация Двигател за привод: серво мотор Най-малка скорост на подаване: 0.1ум/сек Най-голяма скорост на подаване: 50мм/сек |
РАБОТНА ПЛОЩ |
Количество: 3, Индексен режим Двигател на спиралата: Серво мотор Скорост: 0~300об./мин, безконтактно регулируема Метод на абсорбция: Вакуумна абсорбция |
Ротационен стол |
Режим на управление: серво мотор Обхват на връщане: 0~240° Форма за позициониране: сензорно подкрепено позициониране |
Автоматично толщиномерение Мернa система |
Метод за измерване: IPG контактно онлайн реално време измерване Брой измерващи глави: 2 Измерващ сензор: сензор на ниво 0.1мкм |
Автоматична заредка\/ система за разтоваряне |
Тип кутия: 6-8 дюймов Касета, 25 слоя Метод за автоматично зареждане/изтегляне: използва се манипулатор за талasi, за да се гарантира, че таласите са транспортираните без повреди Дебелина на таласа: 150ум-1000ум |
Функция за чистене на работната маса |
Метод за чистене: полирване с абразив и DI вода+въздушно двойно промиване |
Автоматично чистене/ Система за сушене |
Чистене: чистене с душ DIW Метод за сушене: продъхване + сушене Скорост: максимум 1000 об. мин. стъпково регулируема |
Система за статично премахване |
Йонна ламелка или Orion вентилатор |
Хладилник за спейла |
Температура: 18-22°C Потокова скорост: 4~8Л/мин |
Контролна система |
Система за управление: PC система за управление, екран сензорен, 3-цвятна сигнализация Китайски/Английски интерфейс човек-машина |
Максимален размер на пластинка |
Максимално съвместимост с 8 инча |
Диапазон на скоростта |
0~6000 об/мин |
Пътуване по Z-оста |
160mm |
Скорост на подаване по Z-ос |
0.1~100мкм/сек |
Бърза скорост на оттегляне по ос Z |
50мм/сек |
Резолюция по ос Z |
0.1мкм |
Диапазон за онлайн измерване на дебелина |
0~1800um |
Резолюция на онлайн измерване на дебелина |
0.1мкм |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved