MCXJ-MLS8 Безмаска литографска система, Китай MCXJ-MLS8 Безмаска литографска система Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

Пример:

MCXJ-MLS8 Производство на литографска система без маска

Структурна схема на оборудването

MCXJ-MLS8 Доставчик на система за литография без маска

Спецификация

Структурна диаграма на гостоприемник на експозиция

структура	илюстрирам
Излагане на плота	Зона на експозиция: плот, зона за поставяне на субстрата
Оптична система	Зона за формоване с лазерно излъчване
Система за контрол на околната среда	Контролирайте вътрешната температура и положителното налягане на устройството
Платформена система	Управлява движението на масата за експониране, за да завърши операцията по траекторията на експониране
Система за контрол	Система за управление на цялото оборудване

Забележка: Тъй като надграждането на машината може да промени действителния външен вид, конкретният предмет на действителния продукт.

Не.	Заобикаляща среда	Изискване
1	Среда на източник на светлина	Жълта светлина
2	температура	22 ℃ ± 2 ℃
3	Влажност	50% ± 10%
4	чистота	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa，200LPM, сух, чист въздух
6	Захранване	220~240V、50/60Hz、2.5KW；Заземителният проводник трябва да бъде заземен，
7	Охлаждаща вода	Температура: 10℃~ 20℃ Налягане: 0.3MPa ~ 0.5MPa Дебит: 20л/мин Разлика в налягането: 0.3MPa以上 Поемете калибър: Rc3/8
8	Място	ниво：±3mm/3000mm разклащане：VC-B лагер：750kg/㎡
10	Интернет	Един мрежов порт
11	размер Machine	1300 1100 * 2100mm
12	Тегло на устройството	1500kg

Не.	Проект	Spec.	Забележка
1	Резолюция	0.6 um/или друго изискване	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Дебелина на основата	0.2 мм ~ 4 мм
4	Точност на мрежата за дати	60nm
5	Подложка	± 500пМ	130mmx130mm
6	Точност на шиене	± 200пМ	AZ703
7	МАКСИМАЛЕН размер на експозицията	190X190mm
8	магистрала	≥300mm2/мин	≤50mj/cm2;
9	източник на светлина	LD 375 nm
10	светлинна мощност	6W
11	Енергийна еднородност	≥ 95%
12	лек живот	10000hr

Опаковане и доставка

Профил на компанията

Имаме 16 години опит в продажбата на оборудване. Ние можем да ви предоставим професионално решение за полупроводникови предни и задни пакетни линии от Китай.