MCXJ-MLS8 Система за безмаскова литография , China MCXJ-MLS8 Система за безмаскова литография Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Проба:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Диаграма на конструкцията на оборудването

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Спецификация

Диаграма за конструкцията на основния модул за експозиция

структура	дайте пример
Експониране на масата	Площ за експозиция: маса, площ за поставяне на субстрат
Оптична система	Област за изсвирване на лазер
Система за контрол на околната среда	Контролира вътрешната температура и положителното налягане на устройството
Система за платформа	Контролира движението на масата за експозиция, за да завърши операцията по пътя на експозицията
Контролна система	Система за управление на цялото оборудване

Бележка: Поради модернизацията на машината, визуалният вид може да се промени. Специфичното се отнася до реалния продукт.

Не.	Околна среда	Изискват
1	Светлинна среда	Жълто светлина
2	Температура	22℃±2℃
3	Влажност	50%±10%
4	Чистота	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, сух, чист въздух
6	Енергиен източник	220~240В, 50/60Hz, 2.5КВт; Заземлението трябва да е заземено,
7	Хладна вода	Температура: 10℃~ 20℃ Налягане: 0.3МПа ~ 0.5МПа Препълнение: 20Л/мин Разлика в налягането: 0.3МПа и повече Диаметър на връзката: Rc3/8
8	Място за провеждане	ниво: ±3мм/3000мм трептение: VC-B Подшипник: 750кг/кв.м
10	Интернет	Един интернет порт
11	Размер на машината	130011002100мм
12	Тегло на устройството	1500кг

Не.	Проект	Спецификация.	Забележка
1	Резолюция	0.6мкм/или друго изискване	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1мкм
3	Толщина на субстрата	0.2мм~4мм
4	Точност на датова мрежа	60нм
5	Наслоение	±500нм	130mmx130mm
6	Точност на шейване	±200nm	AZ703
7	Максимален размер на експозиция	190X190mm
8	Пропускана способност	≥300mm2/min	≤50mj/cm2;
9	източник на светлина	LD 375nm
10	свързана мощност	6W
11	Енергийна равномерност	≥95%
12	жизнен циклус на светлината	10000hr

Упаковка и доставка

Фирмен профил

Имаме 16 години опит в продажбите на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за професионални машини за упаковка на полупроводници от начален до краен етап, произведени в Китай.