Уред за вакуумен плазмен (150) |
||
Размер на оборудването |
Д 1100×Ш 940×В 1755мм |
|
Тегло |
600 кг |
|
Изискване за електроподхранване |
AC380V, 50/60Hz, 5 жири, 25A (общо отворен тип над C) |
|
Спецификация на плазмен генератор |
||
Мощност |
радиочестота |
промежност частота |
0~1000W |
0-2000W |
|
частота на подаване |
13,56 mhz |
40 К Hz |
Вакуумна система |
||
Вакуумна помпа |
Помпа Leap монопол VSV 65 + Помпа Bowse Lots BSJ 70 |
|
вакуумна тръбопроводна линия |
Цяла линия от неръжавеща оцел, както и вакуумни гъвкави трубоconductори с висока прочност |
|
Качество на материала |
алуфер |
|
Дебелина |
25mm |
|
герметичност |
Военен стандарт за сваряване и запечатване |
|
Вътрешни размери на каверната |
500*500*600mm (Широчина * височина * дълбочина) |
|
Ефективен размер на електрическия плите |
372(W) X 451(D)мм |
|
Пространство за налично място |
24мм |
|
Аранжим електроплати |
Хоризонтална електродна плоча |
|
сандъци |
Стандартен набор, материал по избор (алюминий, стомана мрежа) |
|
работно пространство |
8 слоя |
|
Процесен газ |
||
Обхват на потока |
0~300SCCM |
|
Маршрутизация на процесния газ |
Стандартен с две възможности, може да се персонализира. Процесната газова магистралa е направена от ферофлон. |
|
Контролна система |
||
SC |
Контрол с ПК |
|
интерактивен режим |
Интерфейс на Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved