Единица за хост на вакуумен плазмен (150) |
||||
Размер на оборудването |
Д 1100×Ш 940×В 1755мм |
|||
тегло |
600 кг |
|||
Изискване за електроподхранване |
AC380V, 50/60Hz, 5 жири, 25A (общо отворен тип над C) |
|||
Спецификация на плазмен генератор |
||||
мощност |
радиочестота |
промежност частота |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
частота на подаване |
13,56 mhz |
40 К Hz |
||
Вакуумна система |
||||
вакуумна помпа |
Помпа Leap монопол VSV 65 + Помпа Bowse Lots BSJ 70 |
|||
вакуумна тръбопроводна линия |
Цяла линия от неръжавеща оцел, както и вакуумни гъвкави трубоconductори с висока прочност |
|||
качество на материала |
алуфер |
|||
дебелина |
25mm |
|||
герметичност |
Военен стандарт за сваряване и запечатване |
|||
Вътрешни размери на каверната |
500*500*600mm (Широчина * височина * дълбочина) |
|||
Ефективен размер на електрическия плите |
372(W) X 451(D)мм |
|||
Пространство за налично място |
24мм |
|||
Аранжим електроплати |
Хоризонтална електродна плоча |
|||
сандъци |
Стандартен набор, материал по избор (алюминий, стомана мрежа) |
|||
работно пространство |
8 слоя |
|||
Процесен газ |
||||
Обхват на потока |
0~300SCCM |
|||
Маршрутизация на процесния газ |
Стандартен с две възможности, може да се персонализира. Процесната газова магистралa е направена от ферофлон. |
|||
Контролна система |
||||
SC |
Контрол с ПК |
|||
интерактивен режим |
Интерфейс на Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved