Вакуумно плазмен хост(200) |
||
Размер на оборудването |
1050× 1700 × 1050 мм (ширина, височина и дълбочина) |
|
тегло |
800Kg |
|
изисква мощност |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Спецификации на плазмения генератор |
||
мрежово захранване |
радиочестотна |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Честота на захранване |
13.56MHz |
40 KHz |
Вакуумна система |
||
Вакуумна помпа |
Еднополюсна помпа Feiyue VSV100+Both Roots помпа BSJ70 |
|
вакуумна линия |
Всички тръби от неръждаема стомана и високоякостни вакуумни силфони |
|
материал |
алуминиева сплав |
|
дебелина |
25mm |
|
стегнатост |
Военен клас заварен печат |
|
Вътрешни размери на кухината |
600 × 600 × 600 мм (Ш × В × Д) |
|
Ефективен размер на електродната плоча |
472 X 451 мм (Ш×Д) |
|
свободно място |
35mm |
|
Оформление на електродната плоча |
Хоризонтална електродна плоча |
|
работна тава |
Един комплект е стандартен, а материалът е по избор (алуминий, стоманена мрежа) |
|
Работно пространство |
8 етажа |
|
Процесен газ |
||
Диапазон на потока |
0~300 SCCM |
|
Верига на технологичен газ |
Оборудван с трипътен газ O2, Ar, N2 |
|
Система за контрол на |
||
управление на системата |
контрол PC |
|
интерактивен режим |
Windows интерфейс |
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени