Вакуумен плазмен хост (200) |
||
Размер на оборудването |
1050×1700×1050мм(ширина, височина и дълбочина) |
|
Тегло |
800kg |
|
товаществено напрежение |
AC380V,50/60Hz,5жилови, 30A |
|
Спецификации на плазмен генератор |
||
магистрално напрежение |
радиочестота |
ако |
0~1000W |
0-2000W |
|
Честота на мощността |
13,56 mhz |
40 KHz |
Вакуумна система |
||
Вакуумна помпа |
Еднополюсна помпа Feiyue VSV100+Двата коренни насоса BSJ70 |
|
вакуумна линия |
Всички стоманени тръби и високопрочни вакуумни колана |
|
Материал |
Алуминиева сплав |
|
Дебелина |
25mm |
|
герметичност |
Запаен военен клас заплътване |
|
Вътрешни размери на камерата |
600×600×600мм(Ш×В×Г) |
|
Ефективен размер на електродната плоча |
472 X 451мм (Ш×Г) |
|
разполагаемо пространство |
35mm |
|
Разположение на електродната плоча |
Хоризонтална електродна плоча |
|
работен поднос |
Едно комплектче е стандартно, а материалът е по избор (алюминий, стоманен мрежовина) |
|
работно пространство |
8 етажа |
|
Процесен газ |
||
Обхват на потока |
0~300SCCM |
|
Циркулация на процесния газ |
Оснащено с O2, Ar, N2 тройни газове |
|
Контролна система |
||
Контрол на системата |
Контрол с ПК |
|
интерактивен режим |
Интерфейс на Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved