Хозе на вакуумен плазмен(200) |
||||
Размер на оборудването |
1050×1700×1050мм(ширина, височина и дълбочина) |
|||
тегло |
800kg |
|||
товаществено напрежение |
AC380V,50/60Hz,5жилови, 30A |
|||
Спецификации на плазмен генератор |
||||
магистрално напрежение |
радиочестота |
Ако |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Честота на мощността |
13,56 mhz |
40 KHz |
||
Вакуумна система |
||||
вакуумна помпа |
Еднополюсна помпа Feiyue VSV100+Двата коренни насоса BSJ70 |
|||
вакуумна линия |
Всички стоманени тръби и високопрочни вакуумни колана |
|||
материал |
Алуминиева сплав |
|||
дебелина |
25mm |
|||
герметичност |
Запаен военен клас заплътване |
|||
Вътрешни размери на камерата |
600×600×600мм(Ш×В×Г) |
|||
Ефективен размер на електродната плоча |
472 X 451мм (Ш×Г) |
|||
разполагаемо пространство |
35mm |
|||
Разположение на електродната плоча |
Хоризонтална електродна плоча |
|||
работен поднос |
Едно комплектче е стандартно, а материалът е по избор (алюминий, стоманен мрежовина) |
|||
Работно пространство |
8 етажа |
|||
Процесен газ |
||||
Обхват на потока |
0~300SCCM |
|||
Циркулация на процесния газ |
Оснащено с O2, Ar, N2 тройни газове |
|||
Контролна система |
||||
контрол на системата |
Контрол с ПК |
|||
интерактивен режим |
Интерфейс на Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved