Вакуумен плазмен хост(200) | ||||
Размер на оборудването | 1050 × 1700 × 1050 мм (ширина, височина и дълбочина) | |||
тегло | 800Kg | |||
изисква мощност | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Спецификации на плазмения генератор | ||||
мрежово захранване | радиочестотна | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Честота на захранване | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Вакуумна система | ||||
Вакуумна помпа | Еднополюсна помпа Feiyue VSV100+Both Roots помпа BSJ70 | |||
вакуумна линия | Всички тръби от неръждаема стомана и високоякостни вакуумни силфони | |||
материал | алуминиева сплав | |||
дебелина | 25mm | |||
стегнатост | Военен клас заварен печат | |||
Вътрешни размери на кухината | 600 × 600 × 600 мм (Ш × В × Д) | |||
Ефективен размер на електродната плоча | 472 X 451 мм (Ш×Д) | |||
свободно място | 35mm | |||
Оформление на електродната плоча | Хоризонтална електродна плоча | |||
работна тава | Един комплект е стандартен, а материалът е по избор (алуминий, стоманена мрежа) | |||
Работно пространство | 8 етажа | |||
Процесен газ | ||||
Диапазон на потока | 0~300 SCCM | |||
Верига на технологичен газ | Оборудван с трипътен газ O2, Ar, N2 | |||
Система за контрол на | ||||
управление на системата | контрол PC | |||
интерактивен режим | Windows интерфейс |
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени