MDHS-AL8 8" Напълно автоматична едностранна литографска машина, Китай MDHS-AL8 8" Напълно автоматична едностранна литографска машина Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

MDHS-AL8 8" Напълно автоматична едностранна литографска машина

1. Режим на работа: Зареждащият робот автоматично зарежда вафли от AB (рециклируема) кутия за вафли до предварително позициониране

работна маса и чрез настройката на пластината за позициониране на камерата и системата за автоматично завъртане се постига предварително позициониране на пластината; След това зареждащият робот зарежда предварително позиционираните вафли върху работната маса за подравняване. Чрез компютърно разпознаване на изображения и автоматично регулиране на системата за подравняване може да се постигне автоматично подравняване на графиките върху маската и пластините. Също така е възможно да завършите една експозиция без подравняване на графиките. След автоматично експониране от системата за свръхекспониране, роботът за разтоварване автоматично поставя вафлите в CD (рециклируема) кутия за вафли.
2. Зона на експозиция: 160 × 160 mm;
3. Неравномерна осветеност на експозицията: ≤ 3%;
4. Интензитет на експозиция: 0~≥ 40mw/cm2 регулируем (ъгъл на лъча 2 °);
5. Ъгъл на UV лъча: ≤ 3 °;
6. Централна дължина на вълната на ултравиолетовата светлина: 365nm;
7. Продължителност на живота на източника на UV светлина: ≥ 20000 часа;
8. Капацитет на разделяне: 0~≥ 1000um регулируем;
9. Точност на подравняване: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Точност на експозицията: Контактна експозиция ± 1 μm. Близко разделяне на експозицията от 20 μM ъгъл на лъча 2 ° ≤ ± 2 μM
11. Методи на експозиция: твърд контакт, мек контакт и експозиция от близост;
12. Режим на експозиция: Можете да избирате между еднократна експозиция или компенсирана експозиция
13. Система за разпознаване на изображения с предварително позициониране и автоматична ротация (включително работна маса за предварително позициониране): ъгъл на въртене Q ≥ ± 180 °, точност на въртене Q ≤ 0.01 °;
14. Система за разпознаване на изображения и автоматично подравняване (включително работна маса за подравняване на UVW): обхват на подравняване XY ≥ ± 5 mm, ъгъл на въртене Q ≥ ± 3 ° и две лещи на микроскопа се управляват от две XYZ електрически платформи.
15. Размер на маската: 5 " × 5 " и 7 " × 7 ";
16. Размер на вафлата: 4" и 6";
17. Работни станции за горна и долна филмова кутия: двойни работни станции;
18. Въздушна възглавница за крака
19. Роботизирана ръка с двойно рамо за товарене и разтоварване: Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Брой вафли във вафлената кутия: определя се на база броя на вафлите в вафлената кутия на клиента;
21. Повдигане на масата за позициониране: Z ≥ ± 25 mm;
22. Време на експониране: регулируемо от 0 до 999.9 секунди;
23. Производствен ритъм:>120 броя на час;
24. Захранване: монофазно AC220V 50Hz, консумирана мощност ≤ 3KW;
25. Налягане на чист въздух: ≥ 0.4MPa;
26. Степен на вакуум: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Размер: 1400 * 1000 * 2100 мм;
28. Тегло: Приблизително 400 кг

Тази машина се състои от LED ултравиолетова експонираща глава, система за разпознаване на изображения и автоматично завъртане, предварително позиционирана работна маса и системи за разпознаване и автоматично подравняване на картини, работни маси за подравняване, роботи за зареждане, роботи за разтоварване, стелажи и електрическо управление Състои се от оборудване , резервни аксесоари и др.

Спецификация

1. Глава за експозиция: Една LED глава за ултравиолетова експозиция (365n);
2. Работна маса за разпознаване на изображения и предварително подравняване:
1) 1 камера (1.3 милиона пиксела)
2) Приспособление за централно позициониране
3) 1 комплект въртяща се платформа (с помощта на серво мотор)
4) 1 комплект система за позициониране
3. Система за разпознаване на изображения и автоматично подравняване:
1) 2 камери (висока честота на кадрите от 5 милиона пиксела)
2) 2 лещи (4x обектив с висока разделителна способност)
3) Един индустриален компютър
4) Един контролер (управляван от PLC)
5) Един комплект платформа за подравняване (с помощта на 5-фазен стъпков двигател)
6) Комплект спортна система
7) Устройството на горната плоча приема двигател за повдигане и спускане
7) Софтуерът приема най-новата версия на LabVIEW Professional Edition
4. Механично рамо за товарене и разтоварване:
1) X Y. Комплект Z автоматичен механизъм за задвижване
2) Роботизирана ръка с двойна ръка (ръка за товарене и разтоварване)
5. Механизъм за фиксиране на вафлена кутия:
1) AB е фиксираното позициониране на кутията за подаване на филм
2) CD е фиксираното позициониране на кутията за рязане на филм
3) G е фиксираното позициониране на филмовата кутия за позициониране на NG
6. Фиксирана платформа на камерата:
7. Два комплекта YZ електрически механизми за регулиране (управлявани от серво мотори)
8. Рафт и електрическа конзола за управление:
1) 1 индустриален компютър
2) Един комплект PLC;
3) Един комплект електромагнитни клапани и система за управление
4) Комплект цифрови пневматични инструменти
5) Един комплект контролна конзола
8. Резервни приставки:
1) Трахея: 15 метра
2) 2 електромагнитни клапана
3) Вакуумна помпа: 1 бр
9. Технически данни:
1) Едно ръководство за потребителя
2) Един сертификат за съответствие
10. Допълнителни
Софтуерът на оборудването трябва да бъде оборудван с комуникационен протокол SECS и купувачът предоставя динамична библиотека с функция за докинг с MES системата на купувача, автоматично записване на номера на партидата на продукта, номера на заданието и състоянието на работа и тяхното качване. В същото време той има функцията да идентифицира QR кода на плочата на маската, да го сравнява с QR кода на плочата на маската на системата MES и да предотврати вземането на грешна плоча на маската.

Опаковане и доставка