MDICP-5000F Пълноавтоматична ICP Етчинг Машина / Семикондукторно оборудване Индуктивно свързана плазма , China MDICP-5000F Пълноавтоматична ICP Етчинг Машина / Семикондукторно оборудване Индуктивно свързана плазма Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

MDICP-5000F Пълноавтоматична машина за етчинг с ICP

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Резюме

Оборудването е двубутиков вакуумен систем. Единият бут е инжекционната проба, а другият е етчинговият бут. Между инжекционната проба и етчинговият бут е инсталиран вакуумен замък, който превози пробите чрез манипулатор.
Оборудването се състои предимно от вакуумна система, газова система, електрическа система, контролна система, охлаждаща система, механизми за подаване и прием на филм, сигнален систем и др.

Вакуумна система

Системата се състои от молекулен насос с производителност 600 Л/с + импортен вакумен сух насос с производителност Л/с, които пумпват етчинговата камера до висок вакуум. Между молекуления насос и етчинговата камера е инсталиран електричен регулатор на даванието. Импортният сух насос е предварителният насос на етчинговата камера и първият насос на молекулярния насос. Използва се друг механичен насос с производителност Л/с за вакуумиране на пробната камера. За свързване между механичния насос, вакуумната камера и молекулярния насос се използват нержавещи метални бели. Инсталиран е електромагнитен пневматичен блок-кран.

Система за константно управление на даванието

Оборудването е укомплектвано с система за регулиране на постоянн постоянното налягане в долния поток, а в пиплайнът за извличане на въздух е инсталиран elektricески регулируем клапа. Чрез измерването на филмовия манометър (импортни части) се контролира регулируемият клапа, за да се достигне постоянното налягане в вакуумната камера, което подобрява процесната стабилност.

Система за константно управление на даванието

Газова система

Две комплекта РЧ питание с автоматично съобразяване.

Система за сигнализиране

Охранни изисквания за оборудването.

Спецификация

Име	Спц	Марка	Номер/Комплект	Забележка
Ерозионна камера, пиплайн за извличане на въздух, наблюдателно прозорче, резервен интерфейс и т.н.	Стандарт	JSWN	1	Антikорозионен
Рама, електрическа кабина, пломби, стандартни части и тн.	Стандарт	JSWN	1
Система за издигане на покривката на камера за етчинг	Стандарт	JSWN	1	Антikорозионен
Електрод за етчинг и система за охлаждане	Стандарт	JSWN	1	Антikорозионен
Молекулен насос (със скорост на откачване 600 Л/с)	FF620/150	KYKY	1	Антikорозионен
Входен сух насос (със скорост на откачване 9 Л/с)	XDS-35I	Едуардс	1	Антikорозионен
Механичен насос (със скорост на откачване 9 Л/с)	TRP-36	BWVAC	1
Електрическа регулираща врата-клапан	DCQ-150	JSWN	1	Антikорозионен
Пневматичен мешан клапан за спиране	KF40	JSWN	3	Антikорозионен
Филмов състав	KF16	INFICON	1	Антikорозионен
Контролер за масов поток	D07	Sevenstar	4	Антikорозионен
Пневматичен мембранен клапан	1⁄4″VCR	-	4	Антikорозионен
Стainless steel pipe, pipe joint, etc	1⁄4″VCR	-	4	Антikорозионен
RF мощностно осигуряване / автоматично съвпадение	-	Китай(ОпционаленCROWN1310)	1
RF мощностно осигуряване / автоматично съвпадение	-	Китай(ОпционаленCROWN1310)	1
Композитен вакуумен манометър	ZDF	RB	1
ipc	2U	Китай	1
LCD сензорен екран	17 инча.	Китай	1
Система за управление с PLC	S7-200	Сименс	1
Система за управление на електрическия двигател	Стандарт	JSWN	1
Система за детекция на охлаждаща вода и пipelines	Стандарт	JSWN	1
Система за детекция на компресиран въздух и пipelines	Стандарт	JSWN	1
Машина за охлаждане с циркулираща вода	HX	Китай	1
Камера за инжекция при етчинг	Стандарт	JSWN	1
Вакуумен замък	SMC	SMC	1
Система за управление на манипулятор	SMC	SMC	1

Технически параметри по имейл

1. Граница на вакуума: Етчинг камера 9.0×10-5Па (Вътрешна влажност≤55%)
Камера за инжекция и проби 6.0×10-1Па
2. Етчинг материал: Ⅲ,Ⅴ Материал, Si, SiO2 и т.н.
3. Скорост на етчинг: ~ 1μ/мин
4. Еднородност на етчинг: ≤±5％(обхват φ125mm)
6. Размер на електрода: φ200mm

Упаковка и доставка

За да осигурим по-добра безопасност на вашите стоки, ще бъдат предоставени професионални, екологично чисти, удобни и ефективни услуги за опаковане.

Фирмен профил

Имаме 16 години опит в продажбите на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за професионални машини за упаковка на полупроводници от начален до краен етап, произведени в Китай.