|
проект
|
Характеристики
|
бележки
|
||
|
1 |
Преглед на оборудването |
Име на оборудването: Напълно автоматична машина за проявяване на еднородно лепило
|
||
|
Модел на оборудването: MD-2C2D6
|
||||
|
Спецификации за обработка на вафли: съвместим с 4/6-инчови стандартни вафли
|
||||
|
Поток на процеса на равномерно лепило: Нарязване на кошница за цветя → центриране → равномерно лепило (капене → равномерно лепило → премахване на ръбове, гръб
измиване) → котлон → студен плот → поставяне на кошница Процес на развитие: Нарязване на кошница с цветя → центриране → развитие (разтвор за проява → дейонизирана вода, обратно измиване → сушене с азот) → гореща плоча → студена плоча → поставяне на кошница |
||||
|
Общ размер (приблизително): 2100 мм (Ш) * 1800 мм (Д) * 2100 мм (В)
|
||||
|
Размер на химическия шкаф (приблизително): 1700 (Ш) * 800 (Д) * 1600 мм (В)
|
||||
|
Общо тегло (приблизително): 1000 кг
|
||||
|
Височина на работната маса: 1020 ± 50 мм
|
||||
|
2 |
Касетъчен блок
|
Количество: 2
|
||
|
Съвместим размер: 4/6 инча
|
||||
|
Откриване на касета: откриване на микропревключвател
|
||||
|
Разпознаване на изплъзване: Да, отразяващ сензор
|
||||
|
3 |
робот |
Количество: 1
|
||
|
Тип: Робот за вакуумна адсорбция с двойна ръка
|
||||
|
Степен на свобода: 4-ос (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Материал на пръстите: керамика
|
||||
|
Метод за фиксиране на субстрата: метод на вакуумна адсорбция
|
||||
|
Функция за картографиране: Да
|
||||
|
Точност на позициониране: ± 0.1mm
|
||||
|
4 |
Центриращо устройство
|
Брой: 1 набор
|
Опционално оптично подравняване
|
|
|
Метод на подравняване: механично подравняване
|
||||
|
Точност на центриране: ± 0.2mm
|
||||
|
5 |
Униформа за лепило |
Количество: 2 комплекта (следните са конфигурации за всяка единица)
|
||
|
Скорост на въртене на шпиндела: -5000rpm~5000rpm
|
носещ безделник
|
|||
|
Точност на въртене на шпиндела: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Минимална настройка на скоростта на въртене на шпиндела: 1rpm
|
||||
|
Максимално ускорение на въртене на шпиндела: 20000rpm/s
|
носещ безделник
|
|||
|
Капещо рамо: 1 комплект
|
||||
|
Маршрут на фоторезистната тръба: 2 маршрута
|
||||
|
Диаметър на дюзата за фоторезист: 2.5 мм
|
||||
|
Изолация от фоторезист: 23 ± 0.5 ℃
|
по избор
|
|||
|
Овлажняваща дюза: Да
|
||||
|
RRC: Да
|
||||
|
Буфер: Да, 200 мл
|
||||
|
Метод на пускане на лепило: пускането в центъра и пускането при сканиране не са задължителни
|
||||
|
Рамо за отстраняване на ръбове: 1 комплект
|
||||
|
Диаметър на дюзата за отстраняване на ръбове: 0.2 мм
|
||||
|
Мониторинг на потока течност за отстраняване на ръба: поплавъчен разходомер
|
||||
|
Диапазон на потока на течността за отстраняване на ръбове: 5-50 ml/min
|
||||
|
Тръбопровод за обратно промиване: 2 начина (4/6 инча всеки с 1 канал)
|
||||
|
Мониторинг на обратния поток: поплавъчен разходомер
|
||||
|
Диапазон на потока на течността за обратно промиване: 20-200 ml/min
|
||||
|
Метод за фиксиране на чипа: вакуумна адсорбция с малка площ, патронник
|
||||
|
Аларма за вакуумно налягане: цифров сензор за вакуумно налягане
|
||||
|
Материал на патронника: PPS
|
||||
|
Материал на чашата: PP
|
||||
|
Мониторинг на изпускателната чаша: цифров сензор за налягане
|
||||
|
6 |
Развиваща единица |
Затвор: да
|
||
|
Количество: 2 комплекта (следните са конфигурации за всяка единица)
|
||||
|
Скорост на въртене на шпиндела: -5000rpm~5000rpm
|
носещ безделник
|
|||
|
Точност на въртене на шпиндела: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Минимална настройка на скоростта на въртене на шпиндела: 1rpm
|
||||
|
Максимално ускорение на въртене на шпиндела: 20000rpm/s
|
носещ безделник
|
|||
|
Развиваща ръка: 1 комплект
|
||||
|
Тръбопровод за проявяване: 2-посочен (ветрилообразна/колонна дюза)
|
||||
|
Филтриране на проявителя: 0.2 um
|
||||
|
Температурен контрол на проявителя: 23 ± 0.5 ℃
|
по избор
|
|||
|
Диапазон на потока на проявяващия разтвор: 100~1000ml/min
|
||||
|
Режим на движение на развиващата се ръка: фиксирана точка или сканиране
|
||||
|
Изпичащо рамо: 1 комплект
|
||||
|
Тръбопровод за дейонизирана вода: 1 верига
|
||||
|
Диаметър на дюзата за дейонизирана вода: 4 мм (вътрешен диаметър)
|
||||
|
Диапазон на потока на дейонизирана вода: 100~1000 ml/min
|
||||
|
Тръбопровод за сушене на азот: 1 верига
|
||||
|
Диаметър на дюзата за азот: 4 mm (вътрешен диаметър)
|
||||
|
Диапазон на потока на азот: 5-50L/min
|
||||
|
Проявител, дейонизирана вода, мониторинг на потока азот: поплавков разходомер
|
||||
|
Тръбопровод за обратно промиване: 2 начина (4/6 инча всеки с 1 канал)
|
||||
|
Мониторинг на обратния поток: поплавъчен разходомер
|
||||
|
Диапазон на потока на течността за обратно промиване: 20-200 ml/min
|
||||
|
Метод за фиксиране на чипа: вакуумна адсорбция с малка площ, патронник
|
||||
|
Аларма за вакуумно налягане: цифров сензор за вакуумно налягане
|
||||
|
Материал на патронника: PPS
|
||||
|
Материал на патронника: PPS
|
||||
|
Материал на чашата: PP
|
||||
|
Мониторинг на изпускателната чаша: цифров сензор за налягане
|
||||
|
7 |
Лепкава единица |
Количество: 2
|
по избор
|
|
|
Температурен диапазон: стайна температура~180 ℃
|
||||
|
Равномерност на температурата: Стайна температура ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Отстранете 10 мм от ръба, с изключение на отвора за щифта на изхвърлящия тел) |
||||
|
Минимална стойност на регулиране: 0.1 ° C
|
||||
|
Метод за контрол на температурата: PID настройка
|
||||
|
Диапазон на височината на PIN: 0-20 mm
|
||||
|
ПИН материал: тяло SUS304, капачка на ПИН щифта PI
|
||||
|
Разстояние при печене: 0.2 мм
|
||||
|
Аларма за прегряване: положителна и отрицателна аларма за отклонение
|
||||
|
Метод на подаване: Барботиране, 10 ± 2 ml/min
|
||||
|
Работен вакуум на камерата: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Модул за котлон |
Количество: 10
|
||
|
Температурен диапазон: стайна температура~250 ℃
|
||||
|
Равномерност на температурата: Стайна температура ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ 180.1 ℃ ~ 250 ℃ ± 2.0 ℃ (Отстранете 10 мм от ръба, с изключение на отвора за щифта на изхвърлящия тел) |
||||
|
Минимална стойност на регулиране: 0.1 ℃
|
||||
|
Метод за контрол на температурата: PID настройка
|
||||
|
Диапазон на височината на PIN: 0-20 mm
|
||||
|
ПИН материал: тяло SUS304, капачка на ПИН щифта PI
|
||||
|
Разстояние при печене: 0.2 мм
|
||||
|
Аларма за прегряване: положителна и отрицателна аларма за отклонение
|
||||
|
9 |
Устройство за студена плоча
|
Количество: 2
|
||
|
Температурен диапазон: 15-25 ℃
|
||||
|
Метод на охлаждане: охлаждане с циркулационна помпа с постоянна температура
|
||||
|
10 |
Доставка на химикали |
Съхранение на фоторезист: пневматична помпа за лепило * 4 комплекта (допълнителен резервоар или електрическа помпа за лепило)
|
||
|
Обем на дозиране на лепило: максимум 12 ml на сесия, точност ± 0.2 ml
|
||||
|
Премахване на ръбове/задно измиване/RRC доставка: 18L резервоар под налягане * 2 (автоматично попълване)
|
||||
|
Премахване на ръбове/задно измиване/RRC мониторинг на нивото на течността: фотоелектричен сензор
|
||||
|
Мониторинг на нивото на фоторезистната течност: фотоелектричен сензор
|
||||
|
Изпускане на еднаква отпадъчна течност от лепило: 10L резервоар за отпадъчна течност
|
||||
|
Консумативи за проявителя: 18L резервоар под налягане * 4 (Съхранява се в химическия шкаф извън машината)
|
||||
|
Дейонизирано водоснабдяване: фабрично директно захранване
|
||||
|
Разработване на мониторинг на нивото на течността: фотоелектричен сензор
|
||||
|
Изхвърляне на отпадъци от разработчика: изхвърляне на отпадъци от завода
|
||||
|
Доставка на лепило: 10L резервоар под налягане * 1, 2L резервоар под налягане * 1
|
||||
|
Следене на нивото на лепило: фотоелектричен сензор
|
||||
|
11 |
контролна система |
Метод на управление: PLC
|
||
|
Интерфейс за работа човек-машина: 17-инчов сензорен екран
|
||||
|
Непрекъсваемо захранване (UPS): Да
|
||||
|
Задайте разрешения за криптиране за оператори на устройства, техници, администратори
|
||||
|
Тип сигнална кула: червена, жълта, зелена 3 цвята
|
||||
|
12 |
Показатели за надеждност на системата
|
Време на работа: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500h
|
||||
|
MTTR: ≤ 4ч
|
||||
|
MTBA: ≥24 часа
|
||||
|
Скорост на фрагментиране: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Други функции
|
Жълта светлина: 4 комплекта (позиция: над модула за смесване и проявяване на лепило)
|
||
|
THC: Да, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
по избор
|
|||
|
FFU: Клас 100, 5 комплекта (процесен модул и РОБОТ зона)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
