Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Начална страница
За нас
MH Equipment
Решение
Потребители от чужбина
Видео
Свържете се с нас
Начало> Маска за алтерация
  • MDLB-ASD2C2D Автоматична Машина за Облагане и Разработка
  • MDLB-ASD2C2D Автоматична Машина за Облагане и Разработка

MDLB-ASD2C2D Автоматична Машина за Облагане и Разработка

Описание на продукта

MDLB-ASD2C2D Автоматична Машина за Облагане и Разработка

Оборудването използва рама от неръжавеща стомана, а вътрешните и външните метални панели са от огледална неръжавеща стомана. Долната част на оборудването е укомплектована с мобилни колела и функция за хоризонтална регулировка. Върху него е инсталирана трицветна сигналенаБашня с бузер. Горната част на оборудването съдържа контролната система и FFU, средната част е процесната единица, а долената част е химическият пипелайнов систем. Всички части, които се сържат директно с химикали, са направени от корозионностойки материали като SUS304, PP, PTFE и др. Пневматичните пипелайнове са от PU тръби, а химическите пипелайнове са от корозионностойки PFA тръби. Човеко-машинното операционно интерфейс на устройството е 17-инчов тач скрийн, който може да постигне функции като управление на устройството, задаване на формули и търсене на журнали. SPIN единицата и другите процесни камери са укомплектовани.
Жълт свет за лесно поддържане на оборудването. Външният вид на оборудването е показан на фигура 1.1.1, а разположението на оборудването е показано на фигура 1.1.2.
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine supplier
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details
Спецификация
проект
Спецификации
забележки


1


Общ преглед на оборудването
Име на оборудването: Пълен автоматичен равnomерен машин за обработка с клей
Модел на оборудването: MD-2C2D6
Спецификации за обработка на кръгове: съвместими с 4/6-инчови стандартни кръгове
Технологичен процес за равnomерен клей: Разсечени корзини → центриране → равnomерен клей (изсипване → равnomерен клей → премахване на ръбове, задна страна
мийка) → гореща плоча → студена плоча → поставяне в корзина
Технологичен процес за развитие: Разсечени корзини → центриране → развитие (разтвор за развитие → деионизирана вода, задна мийка →
азотно сушене) → гореща плоча → студена плоча → поставяне в корзина
Обща размерност (приблизително): 2100mm (Ш) * 1800mm (Д) * 2100mm (В)
Размерност на химическия шкаф (приблизително): 1700(Ш) * 800(Д) * 1600mm (В)
Общ вес (приблизително): 1000кг
Височина на работната маса: 1020 ± 50мм


2
Касетова единица
Количество: 2
Съвместим размер: 4/6 дюйма
Детекция на касета: детекция с микропреход
Детекция при изваждане: Да, рефлективен сензор


3


робот
Количество: 1
Тип: Робот с двойна ръка и вакуумно притегляне
Степени на свобода: 4-осов (R1, R2, Z, T)
Материал на пръстен: керамика
Метод за фиксация на субстрата: метод на вакуумно абсорбция
Функция за мапинг: Да
Точност на позициониране: ± 0,1мм


4
Единица за центриране
Количество: 1 Комплект
Опционално оптично подравняване
Метод за подравняване: механическо подравняване
Точност на центриране: ± 0,2мм


5


Единица за равномерно нанасяне на лев
Количество: 2 комплекта (следното са конфигурации за всяка единица)
Скорост на врътене на веретеното: -5000об/мин~5000об/мин
носач-катер
Точност на врътене на веретеното: ± 1об/мин (50об/мин~5000об/мин)
Минимална корекция на скоростта на врътене на веретеното: 1об/мин
Максимално ускорение на врътене на веретеното: 20000об/мин/с
носач-катер
Капаеща ръка: 1 комплект
Маршрут за фоторезистентна тръба: 2 маршрута
Диаметър на насоса за фоторезистент: 2.5мм
Изолация на фоторезистента: 23 ± 0.5 ℃
по избор
Увлажняващ насос: Да
RRC: Да
Буфер: Да, 200мл
Метод за капане на липица: центрирано капане и сканиращо капане са опционални
Ръка за премахване на края: 1 комплект
Диаметър на дюза за премахване на края: 0.2мм
Мониторинг на потока на течността за премахване на края: плутащ манометър
Обхват на потока на течността за премахване на края: 5-50мл/мин
Трубопровод за обратна споласкване: 2 начина (по 4/6 инча, всеки с по 1 канал)
Мониторинг на потока при обратното споласкване: плутащ манометър
Обхват на потока на течността при обратно споласкване: 20-200мл/мин
Метод за фиксация на чипа: вакуумна адсорбция на малка площ
Вакуумно налягане: цифров вакуумен датчик за налягане
Материал на Чък: PPS
Материал на чаша: PP
Мониторинг на вентилацията на чашата: цифров датчик за налягане


6


Юнит за разработка
Заслонка: да
Количество: 2 комплекта (следното са конфигурации за всяка единица)
Скорост на врътене на веретеното: -5000об/мин~5000об/мин
носач-катер
Точност на врътене на веретеното: ± 1об/мин (50об/мин~5000об/мин)
Минимална корекция на скоростта на врътене на веретеното: 1об/мин
Максимално ускорение на врътене на веретеното: 20000об/мин/с
носач-катер
Ръка за разработване: 1 комплект
Транспортна линия за разработване: 2-посочна (вентилна/стълбова муфта)
Филтриране на разработващото: 0.2um
Контрол на температурата на разработчик: 23 ± 0,5 ℃
по избор
Диапазон на потока на разработващото решение: 100~1000мл/мин
Режим на движение на разработващата ръка: фиксирана точка или сканиране
Ръка за спечелване: 1 комплект
Трубопровод за деионизирана вода: 1 циркулация
Диаметър на насоса за деионизирана вода: 4мм (вътрешен диаметър)
Диапазон на потока на деионизираната вода: 100~1000мл/мин
Трубопровод за сушка с азот: 1 циркулация
Диаметър на насоса за азот: 4мм (вътрешен диаметър)
Диапазон на потока на азот: 5-50Л/мин
Разработчик, деионизирана вода, мониторинг на азотния поток: плъзгащ се расходометър
Трубопровод за обратна споласкване: 2 начина (по 4/6 инча, всеки с по 1 канал)
Мониторинг на потока при обратното споласкване: плутащ манометър
Обхват на потока на течността при обратно споласкване: 20-200мл/мин
Метод за фиксация на чипа: вакуумна адсорбция на малка площ
Вакуумно налягане: цифров вакуумен датчик за налягане
Материал на Чък: PPS
Материал на Чък: PPS
Материал на чаша: PP
Мониторинг на вентилацията на чашата: цифров датчик за налягане


7


Единица за такифициране
Количество: 2
по избор
Температурен диапазон: стаяна температура~180 ℃
Температурна равномерност: Стаяна температура~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃
(Премахване на 10мм от края, освен дупката за изхвърлящия пин)
Минимално количество за корекция: 0.1 ° C
Метод за контрол на температурата: Корекция по PID
Диапазон на височината на PIN: 0-20mm
Материал на PIN: корпус SUS304, кап на пин PI
Пространство за печене: 0.2мм
Аларм при надtemperature: аларм при позитивно и негативно отклонение
Метод на снабдяване: Презръстване, 10 ± 2мл/мин
Вакуум в камера: -5-20КПа


8


Единица за гореща плоча
Количество: 10
Диапазон на температурата: стаяна температура~250 ℃
Температурна равномерност: Стаяна температура~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃
(Премахване на 10мм от края, освен дупката за изхвърлящия пин)
Най-малка корекция: 0.1 ℃
Метод за контрол на температурата: Корекция по PID
Диапазон на височината на PIN: 0-20mm
Материал на PIN: корпус SUS304, кап на пин PI
Пространство за печене: 0.2мм
Аларм при надtemperature: аларм при позитивно и негативно отклонение


9
Единица за студена плоча
Количество: 2
Обхват на температурата: 15-25 ℃
Метод за охлаждане: охлаждане с константно температурен циркулиращ насос


10


Химически доставки
Съхранение на фотоуслонител: пневматичен клеен насос * 4 комплекта (Опционален резервоар или електричен клеен насос)
Количество клея за разпространяване: максимум 12мл на сесия, точност ± 0.2мл
Премахване на края/обратна промивка/Доставка на РRC: 18л натисков резервоар * 2 (автоматично попълване)
Мониторинг на нивото на течността за премахване на края/обратна промивка/РRC: fotoelektrichen сензор
Мониторинг на нивото на фотоуслонителя: фотоелектричен сензор
Изхвърляне на отпадъчната течност от равномерния клей: 10л резервоар за отпадъчни течности
Доставка на разработчик: 18л натисков резервоар * 4 (Съхранявани в химически кабинет извън машината)
Подаване на деионизирана вода: директно от завод
Мониторинг на нивото на разработващата течност: fotoelektričeski senzor
Отхвърляне на разработващата течност: отвод завод
Подаване на такификатор: 10л натискова цистерна * 1, 2л натискова цистерна * 1
Мониторинг на нивото на такификатор: fotoelektričeski senzor


11


контролна система
Метод за управление: PLC
Интерфейс за операция човек-масина: 17 инчов дотичен екран
Резервно източник за электричество (UPS): Да
Задаване на криптиране на права за устройството за оператори, техници, администратори
Тип сигнален тур: червен, жълт, зелен 3 цвета


12
Показатели за надеждност на системата
Време на работа: ≥95%
MTBF: ≥ 500ч
MTTR: ≤ 4ч
MTBA: ≥24ч
Коefициент на фрагментация: ≤ 1/10000


13
Други функции
Жълти светлини: 4 комплекта (положение: над клеевата смеся и единицата за разработка)
THC: Да, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
по избор
FFU: Клас 100, 5 комплекта (процесна единица и областта на ROBOT)
Упаковка и доставка
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture
Фирмен профил
Имаме 16 години опит в продажбите на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за професионални машини за упаковка на полупроводници от начален до краен етап, произведени в Китай.

Запитване

Запитване Email WhatsApp Top
×

Свържете се