MDPS-560 Pyriform двукамерна система за разпръскване / Оборудване за полупроводникова промишленост, Китай MDPS-560 Pyriform двукамерна разпрашваща система / Оборудване за полупроводникова промишленост Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

MDPS-560 Pyriform двукамерна система за разпръскване

Използва се за приготвяне на едно-/многослойни функционални нанофилми, включително различни твърди, метални, полупроводникови и диелектрични филми за университети и научни институции.

Вакуумна камера за разпрашаване, мишена за магнетронно разпрашаване, въртяща се маса за нагряване на субстрата с водно охлаждане, камера за инжектиране на проба, камера за проба, устройство за отгряване, мишена за обратно промиване, механизъм за изпращане на магнитна проба, газова верига, помпена система, система за измерване на вакуум, електрическа система за управление и монтажна основа.

Спецификация

Тип			MDPS-560 II
Основна камера за разпръскване			пириформена вакуумна камера, размер: Φ560×350 mm
Камера за инжектиране на проби			цилиндричен и хоризонтален тип, размер: Φ250mm×420mm
Помпена система			независима комбинирана молекулярна помпа и механичен помпен комплект за основната камера за разпръскване и камерата за инжектиране на проби.
Крайна вакуум	Основна камера за разпръскване	≤6.67 × 10-6Pa (след изпичане и дегазиране)
Крайна вакуум		Камера за инжектиране на проби	≤6.67 × 10-4Pa (след изпичане и дегазиране)
Възстановете времето за вакуум	Основна камера за разпръскване	6.6×10-4Pa след 40 минути (изпомпване след кратко излагане на въздух и напълнено със сух азот)
Възстановете времето за вакуум		Камера за инжектиране на проби	6.6×10-3Pa след 40 минути (изпомпване след кратко излагане на въздух и напълнено със сух азот)
Магнетронен целеви модул			5 мишени с постоянен магнит; размерΦ60 mm (една от мишените може да разпръсква феромагнитен материал). Всички мишени могат да разпръскват RF и DC разпръскване съвместимо; и разстоянието между целта и пробата, регулируемо от 40 mm до 80 mm.
Таблица на оборотите на нагряване на субстрата с водно охлаждане	Структура на субстрата	Шест станции, нагревателна пещ, инсталирана на една станция, а другите са станция за водно охлаждане на субстрата.
		Размер	Φ30 мм, шест снимки.
		Режим на движение	0-360°, възвратно-постъпателно.
		Отопление	Макс. Температура 600℃±1℃
		Отрицателно отклонение на субстрата	-200V
Газова система			2-посочен регулатор на масовия поток (MFC)
Камера за инжектиране на проби	Камера за проби	Шест прости наведнъж
		Отгряващ апарат	Макс. температура на нагряване 800℃±1℃
		Resputtering Target Module	Повторно почистване
Система за изпращане на проби с магнит			Използва се за транспортиране на проби между камерата за разпръскване и камерата за инжектиране на проби.
Компютърна система за управление			Въртене на пробата, отваряне и затваряне на преградата и контрол на целевата позиция
Етажът е зает	Основен комплект	2600 × 900 мм2
Етажът е зает		Електрически кабинета	700 × 700 mm2 (два комплекта)

Опаковане и доставка

MDPS-560 Pyriform двукамерна система за разпръскване / Фабрика за оборудване за полупроводникова индустрия

Профил на компанията

Имаме 16 години опит в продажбата на оборудване. Ние можем да ви предоставим професионално решение за полупроводникови предни и задни пакетни линии от Китай.