MDXN-25D Масков алигнър , China MDXN-25D Масков алигнър Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Това оборудване е прецизен литографски апарат, разработен от нашата фирма специално за използването на Characteristics на литографските машини в различни университети и научни институции. Той се използва предимно за разработка и производство на малки и средни интегрални схеми, компоненти на полу проводниците, оптоелектронни устройства и устройства с повърхностни акустични вълни.
Под предпоставката да се запазят основните технически показатели на оборудването, ние сме оптимизирали някои конструкции и компоненти на оборудването, сме намалили някои ненужни механични действия и сме гарантирали, че точките на повреда на оборудването са минимизирани колкото е възможно, а операцията на оборудването е изключително стабилна и надеждна.

Спецификация

Основни технически параметри

1.Тип експозиция: единобок.
2.Експозиционна площ:110×110мм.
3.Нееднородност на експозиционното осветление: ≤±3%.
4.Интензитет на експозицията:0-30mw/см2 регулируем.
5.Угъл на ув лъч: ≤3°.
6.Централна дължина на вълната на ув светлината:365нм.
7.Живот на ув източника на светлина: ≥500 часа.
8.Прилагане на електронно затворче.
9.Експозиционна резолюция:1 μm;
10.Микроскопичен диапазон за сканиране: X: ±15мм Y: ±15мм;
11.Диапазон за подравняване: корекция по X,Y ±4мм; корекция в посока Q ±3°;
12.Точност на гравиране: 1 μ Точността на версията и чипа на потребителя трябва да отговаря на националните правила,
а средата, температурата, влажността и прахът могат да бъдат строго контролирани. Използва се импортен позитивен фоторезистент, а толщината на равномерния фоторезистент може да бъде строго контролирана. Освен това, предварителният и последващите процеси са напреднали;
13.Разделителна величина: регулируема между 0~50 μm;
14.Метод на експозиция: близка експозиция, която може да постигне твърдо сблъскване, меко сблъскване и микросилово сблъскване; 15.Формула за намиране на квадрат: въздушен

Упаковка и доставка

Фирмен профил

Имаме 16 години опит в продажбите на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за професионални машини за упаковка на полупроводници от начален до краен етап, произведени в Китай.