MDXN-25D Машина за подравняване на маски, Китай MDXN-25D Система за подравняване на маски Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

Това оборудване е прецизна литографска машина, разработена от нашата компания специално за характеристиките на употреба на литографски машини в различни колежи и изследователски институции. Използва се главно за разработване и производство на малки и средни интегрални схеми, полупроводникови компоненти, оптоелектронни устройства, и устройства с повърхностни акустични вълни.
При предпоставката за поддържане на оригиналните основни технически показатели на оборудването, ние оптимизирахме някои структури и компоненти на оборудването, намалихме някои ненужни механични действия и гарантирахме, че точките на повреда на оборудването са сведени до минимум, доколкото е възможно, и работата на оборудването също е много стабилно и надеждно.

MDXN-25D Фабрика за подравняване на маски

Спецификация

Основни технически параметри

1.Тип експозиция: едностранна.
2. Зона на експониране: 110 × 110 мм.
3. Неравномерно осветление на експозицията: ≤±3%.
4. Интензитет на експозиция: 0-30mw/cm2 регулируем.
5.UV ъгъл на лъча: ≤3°.
6. Централна дължина на вълната на ултравиолетовата светлина: 365 nm.
7. Продължителност на живота на източника на UV светлина: ≥500 часа.
8. Приемане на електронен затвор.
9. Резолюция на експозицията: 1 μm;
10. Диапазон на микроскопско сканиране: X: ± 15 mm Y: ± 15 mm;
11. Диапазон на подравняване: X, Y настройка ± 4 mm; Q-посока настройка ± 3 °;
12. Точност на гравиране: 1 μ Точността на "версията" и "чипа" на потребителя трябва да отговарят на националните разпоредби,
и околната среда, температурата, влажността и прахът могат да бъдат строго контролирани. Използва се внесен положителен фоторезист и дебелината на еднородния фоторезист може да бe строго контролиран. В допълнение, предните и задните процеси са напреднали;
13. Количество на разделяне; 0 ~ 50 μm регулируемо;
14. Метод на експозиция: близка експозиция, която може да постигне твърд контакт, мек контакт и експозиция на контакт с микро сила; 15. Формула за намиране на квадрат: въздух

Опаковане и доставка

MDXN-25D Детайли за подравняване на маска

MDXN-25D Доставчик на маски за подравняване

Профил на компанията

Имаме 16 години опит в продажбата на оборудване. Ние можем да ви предоставим професионално решение за полупроводникови предни и задни пакетни линии от Китай.