Това оборудване се използва главно за разработване и производство на малки и средни интегрални схеми, полупроводникови компоненти и устройства с повърхностни акустични вълни. Благодарение на усъвършенствания нивелиращ механизъм и ниската нивелираща сила, тази машина е подходяща не само за експониране на различни видове субстрати, но и за експониране на лесно фрагментирани субстрати като калиев арсенид и фосфатна стомана, както и експониране на не кръгли и малки субстрати.