MDXN-25D4 Масков алигнър с висока прецизност , China MDXN-25D4 Масков алигнър с висока прецизност Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Това оборудване се използва предимно за разработка и производство на малки и средни интегрални кръгове, полупроводникови компоненти и повърхностни акустични вълнови устройства. Благодарение на modenото нивелиране и ниската сила на нивелирането, тази машина не само е подходяща за експозицията на различни видове субстрати, но и за експозицията на лесно счупливи субстрати като калиев арсенид и фосфатен оцет, както и за експозицията на неокръглите и малки субстрати.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

Спецификация

Основни технически параметри

1. Тип на експозицията: едностранна експозиция
2. Зона за експозиция: 110X110мм;
3. Еднородност на експозицията: ≥ 97%;
4. Интензивност на експозицията: 0-30мв/см2 регулируема;
5. Ъгъл на ултравиолетовия лъч: ≤ 3 °
6. Централна дължина на вълната на ултравиолетовото светлина: 365нм;
7. Живот на източника на ултравиолетово осветление: ≥ 20000 часа;(гаранция 2 години)
8. Използване на elektronen шатер;
9. Разрешаване на експозицията: 1 μM
10. Обхват на камера за наблюдение: ± 15мм Y: ± 15мм
11. Обхват на подравняването: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Точност на подравняването: 1ум (при добри условия в средата).
13. Обхват на разделянето: 0-50ум, регулируемо.
14. Метод на експозиция: контактна експозиция (твърда/мека/микро докосване).
15. Метод за балансиране: Въздушна плутене.
16. Микроскопска система: двойна система с поле за гледане CCD, обектив 1.6X~10X, компютърен систем за обработка на изображения, монитор LCD 19"; Обща увеличителна сила 91-570x. Разстояние на обекта: 50-120mm.
17. Размер на маска: 127*127mm; 102*102mm
18. Размер на субстрата: Φ102mm; Φ76mm
19. Дебелина на субстрата: ≤1mm
20. Време на експозиция: 0-999.9 секунди, регулируемо.
21.Мощност: 220В 50Hz 1.5кв.
22.воздухоснабдение?0.4Мпа
23.Вакуумна степен: -0.07MPa~-0.09Mpa

Упаковка и доставка

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory

Фирмен профил

Имаме 16 години опит в продажбите на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за професионални машини за упаковка на полупроводници от начален до краен етап, произведени в Китай.