1.Енергия, необходима за оборудването: Главен източник на енергия: 220В, 50Хц, мощност ≤1.5КВ;
2.Оснащена с вакуумна помпа с напрежение 220В;
3.Размер и тегло: Размер:1200(дължина)×720(широчина)×1500(височина). Тегло ≤170кг;
4.Поставете машината на специален работен стол;
5.Тип на експозицията: контактен тип, плочево съответствие, двустранна експозиция;
6.Експозиционна площ:φ100мм;
7.Неравномерност на експозицията: ≤±3%;
8.Интензивност на експозицията: ≥5мв/см2;
9.Разрешаване на експозиция: 2μm;
10.Режим на експозиция: Двустранна едновременна експозиция;
11.Обхват на подравняване: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Точност на гравиране: 2μm;
13.Обхват на врътене: Ротационна корекция в посока Q ≤±5°;
14.Микроскопична система: двойна система с поле за гледане CCD, обектна леща 1.6X~10X, компютърен системен модул за обработка на изображения, 19"LCD монитор;
15.Размер на маска: Поддържа вакуумно прихващане