1.Необходима енергия за оборудване: Захранване на мейнфрейм: 220V, 50HZ, консумация на енергия≤1.5KW;
2. Оборудвана с вакуумна помпа със захранване 220V;
3. Размер и тегло: Размер: 1200 (дължина) × 720 (ширина) × 1500 (високо). Тегло ≤170 кг;
4. Поставете корпуса на машината на специална работна маса;
5.Тип експозиция: тип контакт, подравняване на плочата, двустранна експозиция;
6. Зона на експозиция: φ100 mm;
7.Неравномерна експозиция: ≤±3%;
8. Интензитет на експозиция: ≥5mw/cm2;
9. Резолюция на експозицията: 2μm;
10. Режим на експозиция: Двустранна едновременна експозиция;
11. Диапазон на подравняване: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Точност на гравиране: 2μm;
13. Обхват на въртене: настройка на въртене в посока Q≤±5°;
14. Микроскопична система: CCD система с двойно зрително поле, обектив 1.6X~10X, компютърна система за обработка на изображения, 19"LCD монитор;
15.Размер на маската: Възможност за вакуумна адсорбция