MDXN-31D4 Високопрецизна двустранна литографска машина, Китай MDXN-31D4 Високопрецизна двустранна литографска машина Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

Това оборудване се използва главно за разработване и производство на малки и средни интегрални схеми, полупроводникови компоненти и устройства с повърхностни акустични вълни. Благодарение на усъвършенствания нивелиращ механизъм и ниската нивелираща сила, тази машина е подходяща не само за експониране на различни видове субстрати, но и за експониране на лесно фрагментирани субстрати като калиев арсенид и фосфатна стомана, както и експониране на не кръгли и малки субстрати.

MDXN-31D4 Подробности за високопрецизна двустранна литографска машина

Спецификация

Основни технически параметри

1. Тип експозиция: тип контакт, подравняване на плочата, двустранна единична експозиция
2. Зона на експозиция: 110X110mm;
3. Еднородност на експозицията: ≥ 97%;
4. Интензитет на експозиция: 0-30mw/cm2 регулируем;
5. Ъгъл на UV лъча: ≤ 3 °
6. Централна дължина на вълната на ултравиолетовата светлина: 365nm;
7. Продължителност на живота на източника на UV светлина: ≥ 20000 часа;;
8. Температура на работната повърхност: ≤ 30 ℃
9. Приемане на електронен затвор;
10. Разделителна способност на експозицията: 1 μM (дълбочината на експозицията е около 10 пъти ширината на линията)
11. Режим на експозиция: Двустранна едновременна експозиция
12. Диапазон на подравняване: x: ± 5 mm Y: ± 5 mm
13. Точност на подравняване на плочата: 2 μm
14. Диапазон на въртене: Регулиране на въртене в посока Q ≤ ± 5 °
15. Микроскопична система: CCD система с двойно зрително поле, обектив 1.6X~10X, компютърна система за обработка на изображения, 19" LCD монитор; Общо увеличение 91-570x
16. Размер на маската: Възможност за вакуумно абсорбиране на 5" квадратни маски, без специални изисквания за дебелината на маската (вариращи от 1 до 3 mm).
17. Размер на субстрата: Подходящ за 4" субстрати, като дебелината на субстрата варира от 0.1 до 2 мм.
18. При поръчка няма специални изисквания и рафт 5" X5 е стандартен; можете да персонализирате рафтове под 5" X5:

Опаковане и доставка

MDXN-31D4 Производство на високопрецизна двустранна литографска машина

MDXN-31D4 Фабрика за високопрецизна двустранна литографска машина

Профил на компанията

Имаме 16 години опит в продажбата на оборудване. Ние можем да ви предоставим професионално решение за полупроводникови предни и задни пакетни линии от Китай.