MDXN-31D4 Високопrecизиен Двустранен Машина за Фотолитографиране , China MDXN-31D4 Високопrecизиен Двустранен Машина за Фотолитографиране Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Това оборудване се използва предимно за разработка и производство на малки и средни интегрални кръгове, полупроводникови компоненти и повърхностни акустични вълнови устройства. Благодарение на modenото нивелиране и ниската сила на нивелирането, тази машина не само е подходяща за експозицията на различни видове субстрати, но и за експозицията на лесно счупливи субстрати като калиев арсенид и фосфатен оцет, както и за експозицията на неокръглите и малки субстрати.

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine details

Спецификация

Основни технически параметри

1. Вид експозиция: контактен тип, плочено съвпадане, двустранна едностранна експозиция
2. Зона за експозиция: 110X110мм;
3. Еднородност на експозицията: ≥ 97%;
4. Интензивност на експозицията: 0-30мв/см2 регулируема;
5. Ъгъл на ултравиолетовия лъч: ≤ 3 °
6. Централна дължина на вълната на ултравиолетовото светлина: 365нм;
7. Живот на източника на ултравиолетово светлина: ≥ 20000 часа;
8. Температура на работната повърхност: ≤ 30℃
9. Използване на електронен затвор;
10. Разрешаващата способност на експозицията: 1 μM (глъбочината на експозицията е около 10 пъти по-голяма от ширината на линията)
11. Режим на експозиция: Двустранна едновременна експозиция
12. Област за подравняване: x: ± 5мм Y: ± 5мм
13. Точност при подравняване на плоча: 2 μm
14. Област за ротация: Ротационна корекция в Q-посока ≤ ± 5 °
15. Микроскопска система: двойна система с поле на видимост CCD, обектни лещи 1.6X~10X, компютърна система за обработка на изображения, 19" LCD монитор; Обща увеличаваща сила 91-570x
16. Размер на маска: Поддържа вакуумно абсорбиране на квадратни маски с размер 5", без специални изисквания за толщината на маската (от 1 до 3мм).
17. Размер на субстрата: Подхожда за субстрати с размер 4", с толщина на субстрата между 0.1 и 2мм.
18. При поръчка няма специални изисквания, а стандартна е полицата 5" X5; могат да се персонализират полици под 5" X5:

Упаковка и доставка

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine manufacture

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine factory

Фирмен профил

Имаме 16 години опит в продажбите на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за професионални машини за упаковка на полупроводници от начален до краен етап, произведени в Китай.