Чистач с плазма от ново поколение микровълнова плазмена система за чистване оборудване за упаковка на полупроводници , China Чистач с плазма от ново поколение микровълнова плазмена система за чистване оборудване за упаковка на полупроводници Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Микроволнов очистител с плазма

SPV-100MWR е система с ниско напрежение за микроволнова плазмена чистка на полупроводници. Чрез прилагане на микровълни с честота 2,45GHz към прозореца в стената на вакуумната камера се генерират големи количества непрекъснато Плазма и чипът се чисти чрез влизането в камерата.

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment manufacture

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment supplier

Приложения

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment factory

Спецификация

Вакуумен плазмен хост
Размер на оборудването	1230X1800X1100mm (широчина x височина x дълбочина)
Тегло	450kg
Мощност на търсенето	AC380V, 50/60Hz, 5-жил, 30A
Спецификации на плазмен генератор
Пълнител за микровълнова енергия	Мощност	0~1250W
		Честота	2.45GHz
Вакуумна система
Материал	Алюминиев сплав (по желание камера от неръжавеща оцел)
Дебелина	25mm
Вътрешни размери на каверната	480mmX470mmX480mm
Работни пространства	6 магазинни секции
ECR	Слотовият магазин осигурява подобрено ECR ефект при обработката
Възможности за плазма
Възможности за обработка	35микронов Разстояние 40μм Вдигнала се част 15X15mm Максимален Размер на Чипа