PECVD Плазмено подобрено оборудване за химическо отлагане на пари / Високотемпературен PECVD процес , Китай PECVD Плазменно подобрено оборудване за химическо отлагане на пари / Високотемпературен PECVD процес Производители, доставчици, Фабрика

Описание на продукта

PECVD Плазмено усилено оборудване за химическо отлагане на пари

◆ Напълно автоматично управление на времето на процеса, температурата, газовия поток, действието на клапана и налягането в реакционната камера се осъществява от
индустриален компютър.
◆ Приети са внесена система за контрол на налягането и затворена система с висока стабилност.
◆ Използват се вносни тръбни фитинги и клапани от устойчива на корозия неръждаема стомана, за да се осигури херметичността на газовата верига.
◆ Има перфектна алармена функция и защитно блокиращо устройство.
◆ Има аларма за свръхвисока температура и аларма за ниска температура, аларма MFC, аларма за налягане в реакционната камера, RF аларма, аларма за ниско налягане на сгъстен въздух, аларма за ниско налягане на N2 и аларма за нисък поток на охлаждаща вода.
◆ Съществуващият PECVD има функцията за отглеждане на SiO2 филм след надграждане, което решава проблема с PID на модула на батерията. Филмът SiNxOy може да се отглежда (процес на обратно пасивиране), което може значително да подобри ефективността на преобразуване на батерията.

PECVD Плазмено подобрено оборудване за химическо отлагане на пари / подробности за процеса на PECVD при висока температура

PECVD Плазмено подобрено оборудване за химическо отлагане на пари / Високотемпературна фабрика за PECVD процеси

Тип

◆ Количество за зареждане: 384 бр./лодка (125 * 125); 336 части/лодка (156*156)
◆ Чистота на таблицата за пречистване: Клас 100 (Растение клас 10000)
◆ Степен на автоматизация: автоматичен контрол на температурата и процеса.
◆ Режим на изпращане и вземане на чипове: тип меко кацане, със стабилни и надеждни характеристики, без пълзене, точно позициониране, голяма носеща способност и дълъг експлоатационен живот.

Спецификация

Максимално натоварване на тръба	384 части/лодка（125125） 336 части/лодка（156156）
Индекс на процеса	± 3% в таблетка, ± 3% между таблетки, ± 3% между партиди
работна температура	200 500 ℃ ~
Точност и дължина на температурната зона (статичен тест със затворена тръба)	1200mm±1℃
Точност на газовия поток	± 1% FS
Херметичност на системата за въздушна верига	1×10-7Pa.m³/S
контрол	Напълно внесена автоматична система за регулиране на налягането със затворен цикъл, прецизен контрол на реакционния вакуум; 40KHz високочестотна мощност доставка; Меко кацане на плавателна лодка; Пълно цифрово управление, перфектна и безопасна защита на контрола на процеса.
1 тръба, 2 тръби, 3 тръби и 4 тръби са по избор; Манипулаторът за автоматично зареждане е по избор, а производителността на оборудването и производителността на процеса може да бъде сравнима с най-доброто подобно оборудване в света.

Опаковане и доставка

PECVD Плазмено подобрено оборудване за химическо отлагане на пари / Производство на високотемпературен PECVD процес

За да гарантирате по-добре безопасността на вашите стоки, ще бъдат осигурени професионални, екологични, удобни и ефективни услуги за опаковане.

Профил на компанията

Имаме 16 години опит в продажбата на оборудване. Ние можем да ви предоставим професионално решение за полупроводникови предни и задни пакетни линии от Китай.