Презисна гриндираща и полирваща машина MDAM-CMP100/150, основният блок и всички запасни части са направени от материали с висока корозионна устойчивост. Цялата машина е корозионно-устойчива, стабилна, износостойка и противоржавна, подходяща за химико-механичното гриндиране и полирване на различни полу проводникови материали. Работното пространство е разделено от областта за показване и контрол и се управлява цифрово чрез сензорен систем за управление. Тя е CNC управлявана, може да съхранява и възстановява данни.
Системата на устройството разполага с функция за таймер, която може да работи непрекъснато през 10 часа и да контролира скоростта на полирващия диск. Панелът за управление е поставен извън работната зона, за да се предотврати пръскането на абразивното решение върху панела за управление. Всички параметри на основното устройство могат да бъдат настроени чрез сензитивния екран. Процесните параметри на основното устройство разполагат с функции за съхраняване и възстановяване, които гарантират последователност и повторяемост на процеса. Пробата от пластинка е абсорбирана на долната повърхност на фиксатора чрез вакуумна насочвана подкачка, оснащена с безмазен вакуумен насос, и разполага с независима функция за противодействие на обратното притегляне.
Системата за хоризонтална ротация на конфигурацията на фиксатора има функция заoscлиране, с oscлиращ обхват от 0-100% регулируем. Амплитудата и честотата наoscлирането могат да бъдат точно зададени чрез контролната панел. Фиксаторът е укомплектован с независима система за ротационен привод, с регулируем обхват на скоростта от 0-120 обр./мин. Този функционален дизайн гарантира пълноoscлиращо полирване на пробата по време на процесите на гратеене и полирване, което значително повишава капацитета и ефикасността на оборудването.
Фиксаторът е укомплектован с цифров таблица за мониторинг на дебелината с точност на мониторинг от 1 μ m. Натискът на фиксатора върху кристалната проба е постоянно регулируем, с обхват на натиск от 0-3.5кг и точност от 2г/см², и е укомплектован с устройство за измерване на натиск.
Работата на шлифовачния и полирващ диск се контролира от главния привод, а скоростта на диска може да се регулира от 0 до 120 оборота в минута. Този диапазон на промяна на скоростта ефективно гарантира скоростта на шлифуване и полирване на проби с различна твърдост и размер на материалите, постигайки по-високи технологични показатели. Замяната на шлифовачни и полирващи дискове е проста и бърза, с вградени дискове, които позволяват на оборудването да премине бързо от процеса на шлифуване към полирване, значително намалявайки времето на процеса. Шлифовачният диск е оснащен с блок за ремонтиране на диска, който гарантира добър равенство на шлифовачния диск.