MDAM-CMP100/150 прецизна шлифовъчна и полираща машина, основното устройство и всички резервни части са изработени от високоустойчиви на корозия материали. Цялата машина е устойчива на корозия, стабилна, устойчива на износване и ръжда, подходяща за химично механично шлайфане и полиране на различни полупроводникови материали. Работното пространство е отделено от зоната за управление на дисплея и се управлява цифрово чрез система за управление със сензорен екран. Той се управлява с ЦПУ, може да се съхранява и извлича.
Системата на устройството има функция за синхронизиране, която може да работи непрекъснато в продължение на 10 часа и да контролира скоростта на полиращия диск. Контролният панел се поставя извън работната зона, за да се предотврати пръскането на абразивен разтвор върху контролния панел. Всички параметри на хоста могат да се регулират на сензорния екран. Параметрите на хост процеса имат функции за съхранение и извличане, за да осигурят последователност и повторяемост на процеса. Пробата от вафли се адсорбира върху долната повърхност на приспособлението чрез вакуумно изпомпване, оборудвана с безмаслена вакуумна помпа и има независима функция против обратно засмукване.
Примерната задвижваща система за хоризонтално въртене на конфигурацията на приспособлението има функция за люлеене с диапазон на люлеене от 0-100% регулируем. Амплитудата на люлеене и честотната скорост могат да бъдат точно зададени чрез контролния панел. Приспособлението е оборудвано с независима задвижваща система за въртене, с регулируем диапазон на скоростта от 0-120rpm. Този функционален дизайн осигурява пълно полиране на пробата по време на процеса на шлайфане и полиране, което значително подобрява капацитета на полиране и ефективността на оборудването.
Приспособлението е оборудвано с цифрова таблица за наблюдение на дебелината с точност на наблюдение от 1 μm. Налягането на приспособлението върху пробата от вафла е непрекъснато регулируемо, с диапазон на налягане от 0-3.5 kg и точност от 2 g/cm² и е оборудвано с устройство за измерване на налягането.
Работата на диска за шлайфане и полиране се управлява от главното задвижване, а скоростта на диска може да се регулира от 0 до 120 оборота в минута. Този диапазон на промяна на скоростта ефективно осигурява скоростта на шлайфане и полиране на проби от материали с различна твърдост и размер, като по този начин се постигат по-високи показатели на процеса. Смяната на шлифовъчни дискове и полиращи дискове е лесна и бърза, с вградени дискове, които позволяват на оборудването бързо да премине от процеси на шлайфане към процеси на полиране, което значително намалява времето за процеса. И шлифовъчният диск е оборудван с блок за ремонт на дискове, за да се гарантира, че шлифовъчният диск има добра плоскост.