Точка | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Размери на продукта | ≤6 инча | ≤8 инча | ≤8 инча | ||
RF източник на захранване | 0-300W/500W/1000W Регулируема, автоматично съвпадение | ||||
Молекулярна помпа | -/620(L/s)/1300(L/s)/По избор | Антисептично 620(L/s)/1300(L/s)/По избор | |||
Предна линия помпа | Механична помпа/суха помпа | Суха помпа | |||
Процесно налягане | Неконтролирано налягане/0-1 Torr контролирано налягане | ||||
Тип газ | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/По избор (До 9 канала, без корозивен и токсичен газ) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Газова гама | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Да не | Да | |||
Примерен тем контрол | 10°C~Стайна температура/-30°C~100°C/Персонализиран | -30°C~100°C /По избор | |||
Задно охлаждане с хелий | Да не | Да | |||
Облицовка на процесната кухина | Да не | Да | |||
Контрол на температурата на стената на кухината | Не/Стайна температура~60/120°C | Стайна температура-60/120°C | |||
Система за контрол на | Автоматично/по избор | ||||
Материал за ецване | На основата на силиций: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Магнитни материали/сплавни материали Метален материал: Ni/Cr/Al/Au. Органичен материал: PR/PMMA/HDMS/Органичен филм. | На основата на силиций: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Магнитни материали/сплавни материали Метален материал: Ni/Cr/A1/Au. Органичен материал: PR/PMMA/HDMS /органичен филм. |
Подходящ за микровълнови устройства, захранващи устройства и др.
Машината Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) е модерна технология, която може да ецва и анализира различни видове материали с невероятна прецизност. Тази машина е предназначена за използване в различни индустрии, където се изисква редовно микропроизводство или ецване. Изработен е от висококачествени материали, които го правят издръжлив, надежден и способен да дава отлични резултати.
Оборудван с RF плазмен генератор е ефективен. Системата RIE използва индуктивен съединител, за да получи плазма от подавания бензин. Тази техника създава плазма с висока плътност, която увеличава скоростта на ецване, свързана с продукта. Процесът на ецване на машината RIE е ефективен, точен и много контролируем, позволявайки постигането на специфична дълбочина. Тази функция е уникална и е чудесен избор за научни изследвания или индустриални работи.
Машината има широка гама, включително микроелектроника, производство на MEMS и производство на полупроводници. Тази машина играе важна роля в ецването и микрообработката на полупроводникови материали като силиций, галиев арсенид и германий в полупроводниковата индустрия. Устройството Minder-High-tech RIE допълнително е установено в MEMS индустрията за производство на меки и твърди материали като полиимид, силициев диоксид и силициев нитрид. Освен това, той е достъпен за анализ на неизправности в отрасли, свързани с услуги и продукти, които са електронни.
Включва различни функции, които го правят лесен за използване. Това е софтуер, който е удобен за потребителя и предоставя на оператора пълен контрол върху параметрите за ецване, използвани в устройството. Настройките на машината се записват във вътрешната й памет, тя може да съхранява над 100 комплекта настройки. Екранът има докосване, което позволява на оператора да задава параметри като движение на газ, дебелина на мощността и налягане. Машината Minder-High-tech RIE също има функция за контрол на температурата, която гарантира, че материалите са ецвани при правилната температура и спира увреждането им.
Перфектен за компании, които изискват надеждна и ефективна машина, може да осигури точни и прецизни резултати. Това устройство е проектирано с първокласна технология и нивото е много. Неговата гъвкавост и удобни за потребителя функции го правят избор за много добри изследователски и индустриални приложения в различни сектори.
Освен това има ефективна система за анализ на неизправности, която позволява на машината да открие и коригира всички механични проблеми възможно най-скоро. Тази система гарантира, че RIE машината поддържа високо качество и надеждност през целия си жизнен цикъл. За всяка индустрия, която изисква прецизно и ефективно ецване или микрофабрикация, машината Minder-High-tech RIE е идеалното решение.
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени