Предмет |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Размер на продукта |
≤6 дюйма |
≤8 дюйма |
≤8 дюйма |
||
RF мощностен източник |
0-300W/500W/1000W Настройяем, автоматично споразумяване |
||||
Молекулен насос |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
Антисептичен 620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
|||
Помпа Foreline |
Механична помпа\/суха помпа |
Суха помпа |
|||
Процесно налягане |
Неконтролирано налягане\/0-1Torr контролирано налягане |
||||
Вид газ |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (До 9 канала, без корозивни и токсични газове) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(До 9 канала) |
|||
газов диапазон |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom |
||||
LoadLock |
Да/Не |
Да |
|||
Пробен температурен контрол |
10°C~Стаяна температура/-30°C~100°C/По желание |
-30°C~100°C/По желание |
|||
Задно хелиево охлаждане |
Да/Не |
Да |
|||
Облицовка на процесната камера |
Да/Не |
Да |
|||
Температурен контрол на стените на камерата |
Не/Стаяна температура~60/120°C |
Стаяна температура-60/120°C |
|||
Контролна система |
Автоматично/По желание |
||||
Етчинг материал |
Силиконов: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Магнитни материали/съюзни материали Метален материал: Ni/Cr/Al/Au. Органичен материал: PR/PMMA/HDMS/Органичен филм. |
Силиконов: Si/SiO2/SiNx. III-V(прим.3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (прим.3): CdTe. Магнитни материали/съюзни материали Метален материал: Ni/Cr/Al/Au. Органичен материал: PR/PMMA/HDMS /органичен филм. |
Подходящ за микровълнови устройства, мощни устройства и т.н.
Машината Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) е най-новото досега технологическо решение, което може да гравира и анализира различни видове материали с изключителна прецизност. Тази машина е проектирана за употреба в различни индустрии, където микропроизводството или гравиренето е необходимо регулярно. Тя е направена от висококачествени материали, които я правят прочна, надеждна и способна да произвежда отлични резултати.
Оснащена с RF плазмен генератор е ефективна. Системата RIE използва индуктивно свързване, за да създаде плазма от горивното хранително вещество. Тази техника създава плазма с висока щънка, която увеличава скоростта на гравиране, свързана с продукта. Процесът на гравиране на машината RIE е ефективен, точен и много контролируем, позволявайки определена дълбочина да бъде постигната. Тази функция я прави уникална и отличен избор за научни изследвания или индустриални работи.
Машината има широк диапазон на приложения, включително микроелектроника, производство на MEMS и производство на полупроводници. Тази машина играе важна роля при етчинга и микромеханоправката на полупроводникови материали като силиций, галium арсенيد и германий в полупроводниковията индустрия. Устройството Minder-High-tech RIE е също така използвано в MEMS индустрията за производство на меки и твърди материали като полиимида, силицин двуоксид и силицин нитрид. Освен това то може да се използва за анализ на неуспехи в индустриите, свързани с електронни продукти和服务.
Включва функции, които разнообразни го правят лесен за използване. Програмното обеспечение е потребителско дружелюбно и предоставя на оператора пълен контрол върху параметрите за етчинг, използвани в устройството. Настройките на машината се запазват в нейната вътрешна памет и могат да се съхраняват повече от 100 набора настройки. Това има сензорен екран, който позволява на оператора да задава параметри като газов поток, мощностна плътност и притискане. Машината Minder-High-tech RIE също има функция за контрол на температурата, която гарантира, че материалите се етчират при правилната температура и спира повредата им.
Идеален за firми, които изискват надежден и ефективен апарат, който може да осигури точни и прецизни резултати. Този апарат е проектиран с топ-клас технология и много високо ниво. Неговата универсалност и потребителските му функции го правят много добър избор за научни изследвания и индустриални приложения в различни сектори.
Той разполага с ефективна система за анализ на неуспехи, която позволява на машината да открива и коригира всички механични проблеми възможно най-бързо. Тази система гарантира, че машината RIE поддържа високо качество и надеждност през целия си жизнен цикъл. За всяка индустрия, която изисква прецизно и ефективно етчинг или микропроизводство, машината Minder-High-tech RIE е идеалното решение.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved